适用于石英玻璃管、石英玻璃棒的卧式真空立装脱羟炉制造技术

本实用新型专利技术提供一种适用于石英玻璃管、石英玻璃棒的卧式真空立装脱羟炉，所述卧式真空立装脱羟炉的炉壳形状为方形，炉壳内部具有方形的隔热屏。还包括装料装置，所述装料装置包括底盘，所述底盘的四个角落竖直设置有四个立柱，相邻的两个立柱之间通过横梁连接，且相对的两个横梁之间设置有卡条。本实用新型专利技术要解决的技术问题是提供一种适用于石英玻璃管、石英玻璃棒的卧式真空立装脱羟炉，可以最大程度的利用空间，提高空间利用率，同时节约材料成本，提高产量，并且可以解决管材、棒材相互碰撞、粘黏的问题，提高生产产品的质量。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供一种适用于石英玻璃管、石英玻璃棒的卧式真空立装脱羟炉，所述卧式真空立装脱羟炉的炉壳形状为方形，炉壳内部具有方形的隔热屏。还包括装料装置，所述装料装置包括底盘，所述底盘的四个角落竖直设置有四个立柱，相邻的两个立柱之间通过横梁连接，且相对的两个横梁之间设置有卡条。本技术要解决的技术问题是提供一种适用于石英玻璃管、石英玻璃棒的卧式真空立装脱羟炉，可以最大程度的利用空间，提高空间利用率，同时节约材料成本，提高产量，并且可以解决管材、棒材相互碰撞、粘黏的问题，提高生产产品的质量。【专利说明】适用于石英玻璃管、石英玻璃棒的卧式真空立装脱羟炉
本技术专利涉及一种真空立装脱羟炉，具体涉及一种适用于石英玻璃管、石英玻璃棒的卧式真空立装脱羟炉。一种新型石英玻璃管、棒卧式真空立装脱羟炉，主要是一种在真空状态下采用新设计的炉型和装料方式，能够更好地解决传统方式对石英管棒质量的影响。
技术介绍
目前生产石英玻璃管及石英玻璃棒的立式脱羟炉普遍存在温差大、温度不均匀以及装配进出炉操作难度太大等缺点，并且，针对现有的立式脱羟炉只能采用的传统装料方式，然而传统装料方式普遍存在管棒及工装的自重产生的重力、应力对产品质量产生影响等缺点。采用现有的立式脱羟炉生产时，不仅存在生产产量低的问题，最重要的还存在生产成本高，且生产出来的石英玻璃管、石英玻璃棒产品存在缺陷较多的问题，因此设计开发一种能够解决生产成本较高的问题，同时还能使生产产品质量较高的立式脱羟炉，已成为生产半导体石英玻璃管、石英玻璃棒领域的技术难点，亟待技术人员开发设计。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种适用于石英玻璃管、石英玻璃棒的卧式真空立装脱羟炉，可以最大程度的利用空间，提高空间利用率，同时节约材料成本，提高产量，并且可以解决管材、棒材相互碰撞、粘黏的问题，提高生产产品的质量。本技术提供一种适用于石英玻璃管、石英玻璃棒的卧式真空立装脱羟炉，包括能够立式装料的装料装置，且所述卧式真空立装脱羟炉的炉壳形状为方形，炉壳内部具有方形的隔热屏。所述装料装置包括底盘，所述底盘的四个角落竖直设置有四个立柱，相邻的两个立柱之间通过横梁连接，且相对的两个横梁之间设置有卡条。所述横梁包括上横梁和下横梁，所有上横梁的设置高度均相等，所有下横梁的设置高度也均相等。所述卡条也对应包括上卡条和下卡条，所述上卡条对应设置于相对的两个上横梁之间，所述下卡条对应设置于相对的两个下横梁之间。所述上横梁和下横梁上设置有多个卡槽，所述上卡条和下卡条的两端容设于卡槽中，在横向和纵向方向上，所述装料装置通过多个上卡条和多个下卡条形成上下两层的多个方形孔。所述上卡条和下卡条在设置时使上下两层形成的方形孔相对应一致，所述石英玻璃管或石英玻璃棒从上至下设置于对应的两层方形孔中。本技术具有的优点在于:本技术要解决的技术问题是提供一种适用于石英玻璃管、石英玻璃棒的卧式真空立装脱羟炉，可以最大程度的利用空间，提高空间利用率，同时节约材料成本，提高产量，并且可以解决管材、棒材相互碰撞、粘黏的问题，提高生产产品的质量。【专利附图】【附图说明】图1是现有技术中卧式脱羟炉的结构示意图；图2是本技术提供的卧式真空立装脱羟炉的结构示意图；图3是本技术提供的卧式真空立装脱羟炉的装料装置的结构示意图；图4是本技术提供的卧式真空立装脱羟炉的装料装置中卡条的结构示意图。图中:1_炉壳;2_底盘;3_隔热屏;4_卡条;5_横梁;6_立柱。【具体实施方式】下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本技术的限定。本技术提供一种适用于石英玻璃管、石英玻璃棒的卧式真空立装脱羟炉，所述卧式真空立装脱羟炉融合了现有技术中卧式脱羟炉和立式脱羟炉的优点，将立式装管结构完美地在卧式脱羟炉中实现，克服了卧式脱羟炉不能立式装管的缺陷。本技术将卧式脱羟炉的真空室按照工件的要求重新进行设计，如图1和图2的对比所示，将现有卧式脱羟炉的炉壳I形状由圆形设计为方形。由于装料装置一般为方形结构，因此，当方形的装料装置置于方形的炉壳I内部时，可以最大程度的利用空间，减少卧式圆形脱羟室中无法利用到的无效空间，使空间利用率提高至极致，不仅节约材料成本，并且由于无效空间的减小，在生产过程中的抽气、加热、冷却等环节的运行成本也在大幅度下降。同时由于炉壳设计为方形，而对应的处于炉壳I内部、装料装置外部的隔热屏3对应也设计为方形。对应图1的现有卧式脱羟炉来讲，其空间大且利用率低，而对应本技术提供的卧式真空立装脱羟炉来讲，其空间利用率高。对于相同直径的炉壳1，底盘2处于炉壳I内，本技术提供的卧式真空立装脱羟炉较传统型的真空脱羟炉的空间利用率可提高I倍，几乎没有无效空间。本技术提供的适用于石英玻璃管、石英玻璃棒的卧式真空立装脱羟炉还可以设计一种专用的装料装置，以满足立式装料的需求。如图3和图4所示，本技术的装料装置包括底盘2，所述底盘2上方对应四个角落竖直设置有四个立柱6，当然也可以在对应的底盘2边缘处增设立柱6，即，使四个立柱6之间还设置有立柱，但最少要求在四个角落处都有立柱6。所述相邻的两个立柱6之间连接有横梁5，使独立的四个立柱6相互通过横梁5连接围成一周，且围成一周的横梁5处于同一高度。优选的，可以围设有上下两层横梁，SP可以在立柱6的上段和下段分别围设上横梁和下横梁，这样可以使整个装置更加稳定，要求所有上横梁对应均处于同一高度，所有下横梁均处于同一高度。所述上横梁和下横梁上均布满卡槽，在卡槽中可以根据欲设置的石英玻璃管或石英玻璃棒的尺径来设置卡条4，对应上下两层横梁5，所述卡条4也对应设置两层，分别为上卡条和下卡条。将上卡条、下卡条架设于相对的两个上横梁、两个下横梁上。卡条4的两端处于卡槽中卡紧，这样处于四圈的横梁5可以通过横向和纵向设置的卡条4形成上下两层的多个方形孔。并且，通过卡条4形成的方形孔的形状以及大小可以根据欲装设的石英玻璃管或石英玻璃棒的尺寸或个数而设定，根据不同的规格，放置卡条4，达到固定管材或棒材的目的。上下两层卡条4横纵向交织设置完成后可以形成上下两层方形孔，管材或棒材从一侧开始，从上至下插入对应的方形孔中，依次放满。要求上下两层卡条4所形成的方形孔必须对应一致，即大小相同，且在横向上与立柱6和相邻的卡条之间的间距也相同，这样才能保证石英玻璃管或石英玻璃棒能够正常地、顺利地从上至下设置于方形孔中。例如，欲装设外径40mm的管材，可以先将卡条4对应放置在45mm的卡槽内，横向和纵向都取45mm的间距依次逐个安插卡条4,上横梁和下横梁的间距保持一致。卡条4安装结束后，形成上下两层正方形孔，将管材从一侧开始，从上至下插入正方形孔中，依次放满为止。本技术中立柱6采用螺纹拼接设置于底盘2中，替代直孔插接，不仅强度高、稳定性好，而且使用寿命长；并且由于结构稳定无间隙，管材的表面质量也得以提高。同时本技术中的底盘2以及横梁5、卡条4等材料采用CFC材料加工而成，不仅重量轻，而且强度大幅度提高，由于材料强度增加，尺寸减小，装管空间就可以加大，产量就可以大幅度提高，生产成本相本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种适用于石英玻璃管、石英玻璃棒的卧式真空立装脱羟炉，其特征在于，包括能够立式装料的装料装置，且所述卧式真空立装脱羟炉的炉壳形状为方形，炉壳内部具有方形的隔热屏；所述装料装置包括底盘，所述底盘的四个角落竖直设置有四个立柱，相邻的两个立柱之间通过横梁连接，且相对的两个横梁之间设置有卡条；所述横梁包括上横梁和下横梁，所有上横梁的设置高度均相等，所有下横梁的设置高度也均相等。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈士斌，周明强，宁井班，刘明伟，徐同根，
申请(专利权)人：江苏太平洋石英股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32