石英坩埚水冷管及具有该水冷管的石英坩埚遮热板制造技术

本实用新型专利技术涉及一种石英坩埚水冷管及具有该水冷管的石英坩埚遮热板，所述石英坩埚水冷管包括：中空的半透明石英玻璃管；以及穿设在所述半透明石英玻璃管内的不锈钢串水管。所述遮热板包括：不锈钢支架；固定在所述不锈钢支架上的第一组并排设置的水冷管；固定在所述不锈钢支架上的第二组并排设置的水冷管，与所述第一组水冷管之间留有空间；所述水冷管包括中空的石英玻璃管，以及穿设在所述石英玻璃管内的不锈钢串水管。采用石英玻璃管作为遮热主体，热膨胀系数低，不易氧化，热稳定性好；整体上结构简单，易安装，冷却效果好；同时热量不易散失，使得遮热效果改善；且脱落的附着物明显减少。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种遮热装置，特别是涉及一种在石英坩埚熔制过程中的水冷管及具有该水冷管的石英坩埚遮热板，属于石英坩埚熔制炉部件

技术介绍
随着大规模集成电路集成度的不断提高，单晶硅也向高纯度发展，从而对其在拉制过程中辅助性容器一石英坩埚的要求也越来越高。目前的石英坩埚大部分是采用电弧法来熔制，在熔制过程中通过电极放电产生高温电弧来熔化石英砂，电弧焰的高温会对石英坩埚熔制设备的其他部件产生副作用，因此需在模具上方需要加装遮热装置。遮热装置采用的多为内部中空结构，内部通有循环冷却水，金属材质。其中的遮热板由金属架、不透明石英板和石英布组成。具体而言，遮热板外围由金属架支撑，遮热板中间由两层半圆型的不透明石英板组合而成，其余部分由方型石英板构成，金属架由石英布包裹着，防止其氧化。目前的遮热板及遮热装置存在以下缺陷:I)熔制过程中石英板容易反应生成一层附着物。2)金属部位容易裸露在弧光之下会不断氧化，在熔制过程中氧化物会掉落正在熔制的坩埚中，从而影响坩埚的品质和使用效果。同时还会造成漏点、打火，焊点脱落，影响坩埚生产。3)由于金属架内有循环水，焊点脱落还将导致金属架漏水，水会直接掉落至本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石英坩埚水冷管，其特征在于，包括：中空的半透明石英玻璃管；以及穿设在所述半透明石英玻璃管内的不锈钢串水管。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：娄斌，李宗辉，王璐，
申请(专利权)人：圣戈班研发上海有限公司，圣戈班石英锦州有限公司，
类型：实用新型
国别省市：