【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种石英坩埚侧壁送料装置,其特征在于:包括无杆气缸(1)和安装在无杆气缸(1)的活塞输出端上且沿着无杆气缸(1)上下运动的喷砂枪,所述无杆气缸(1)的上端设置有气缸进气管(2),所述无杆气缸(1)的下端安装有与石英坩埚底部定位孔配合使用的定位端头(3)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:宋毅,王琦,李文辉,
申请(专利权)人:西安金诺光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。