石英坩埚侧壁送料装置制造方法及图纸

技术编号:8759914 阅读:150 留言:0更新日期:2013-06-06 20:00
本发明专利技术公开了一种石英坩埚侧壁送料装置,包括无杆气缸和安装在无杆气缸的活塞输出端上且沿着无杆气缸上下运动的喷砂枪,所述无杆气缸的上端设置有气缸进气管,所述无杆气缸的下端安装有与石英坩埚底部定位孔配合使用的定位端头。本发明专利技术结构简单、设计合理且使用效果好,能有效解决现有技术中人工涂覆质量不稳定和劳动强度大的问题,同时送料效率高。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种石英坩埚侧壁送料装置,其特征在于:包括无杆气缸(1)和安装在无杆气缸(1)的活塞输出端上且沿着无杆气缸(1)上下运动的喷砂枪,所述无杆气缸(1)的上端设置有气缸进气管(2),所述无杆气缸(1)的下端安装有与石英坩埚底部定位孔配合使用的定位端头(3)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:宋毅王琦李文辉
申请(专利权)人:西安金诺光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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