一种连熔法生产半导体技术用大口径透明石英玻璃管的方法，其特征在于，将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成大口径透明石英玻璃管；原料高纯石英砂在投入连熔炉后、加热熔融前，对高纯石英砂进行２００－２８０分钟的预热处理，将高纯石英砂预热至７５０－８５０℃，再进行加热熔融；所述的连熔炉钨钼坩锅上部为预热段，下部为熔融段，预热处理在连熔炉钨钼坩锅的预热段内进行；所述钨钼坩锅的直径为３４０－３６０ｍｍ，高度为１４００－１６００ｍｍ；连熔炉内的熔融温度为２１５０－２２５０℃；所述的成形器的直径为２３０－２６０ｍｍ；连熔炉的料台直径为２４４－２６４ｍｍ；熔融段通入连熔炉的电加热钼电极的电流为２１５－２２５Ａ，电压为１９－２０Ｖ。
Method for producing large caliber transparent quartz glass tube by using continuous melting process for semiconductor technology
A semiconductor production technology even melting method for large diameter transparent quartz glass tube, which is characterized in that the quartz glass raw materials of high purity quartz sand into the furnace even by electric heating, melting, melting quartz glass forming device, liquid material and machine drawn from the large diameter transparent quartz glass tube; the raw materials of high purity quartz sand in the furnace, even after heating and melting, the high pure quartz sand preheating 200 - 280 minutes, the high pure quartz sand is preheated to 750 to 850 DEG C, and then heated melting; the continuous melting furnace upper pre heat section of tungsten molybdenum crucible, the lower melting section. Preheat treatment in the preheating section of continuous melting furnace in the tungsten crucible; molybdenum crucible diameter is 340 360mm, the height is 1400 1600mm; even melting furnace Melting temperature is 2150 to 2250 DEG C; the former is a diameter of 230 260mm; even the furnace material table diameter 244 - 264mm; melting section current electric heating furnace for molybdenum electrodes 215 225A, voltage 19 20V.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种石英玻璃管的生产方法，特别是一种。
技术介绍
现有技术中的石英玻璃管的生产方法只能生产出直径约为80mm，壁厚为4mm的合格石英玻璃管，若要强行拉出直径稍大一些的石英玻璃管，则所拉出的石英玻璃管的气泡气线多，其质量与规格均不能满足半导体技术要求。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种新的连熔法生产透明石英玻璃管的方法，用该方法可生产适合半导体技术用的、大口径、气泡气线少的石英玻璃管。本专利技术所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现的。本专利技术是一种，其特点是，将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成大口径透明石英玻璃管；原料高纯石英砂在投入连熔炉后、加热熔融前，对高纯石英砂进行200-280分钟的预热处理，将高纯石英砂预热至750-850℃，再进行加热熔融；所述的连熔炉钨钼坩锅上部为预热段，下部为熔融段，预热处理在连熔炉钨钼坩锅的预热段内进行；所述钨钼坩锅的直径为340-360mm，高度为1400-1600mm；连熔炉内的熔融温度为2150-2250℃；所述的成形器的直径为230-260mm；连熔炉的料台直径为244-264mm；熔融段通入连熔炉的电加热钼电极的电流为215-225A，电压为19-20V。本专利技术所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现。以上所述的一种，其特点是，所述的钨钼坩锅的直径为350mm，高度为1500mm；连熔炉内的熔融温度为2200℃；成形器的直径为240mm；连熔炉的料台内孔直径为254mm；熔融段通入电加热钼电极的电流为220A，电压为19.5V。本专利技术所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现。以上所述的一种，其特点是，所述的预热处理时间为240分钟，将高纯石英砂预热至800℃。本专利技术所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现。以上所述的一种，其特点是，钨钼坩锅的预热段的高度为250-350mm。本专利技术所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现。以上所述的一种，其特点是，钨钼坩锅外围的发热体钨网高度为850-950mm，所述的钨网自钨钼坩锅底部开始，向上设置。本专利技术所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现。以上所述的一种，其特点是，生产时向石英连熔炉内所充入的保护气体为氢气和氮气，氢气和氮气的配比为5.0-6.0∶2.0-3.0，氢气和氮气的压力分别为5.0-6.0mpa和2.0-3.0mpa。这样，有利于提高成品石英玻璃管的透明度，并且很好地保护钨钼坩锅、钨网和钼电极，防止氧化并起到助燃和提高原料熔化质量的作用。本专利技术所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现。以上所述的一种，其特点是，所充入的氢气和氮气的配比为5.5∶2.5，且氢气和氮气的压力分别为5.5mpa和2.5mpa。与现有技术相比，本专利技术方法具有以下优点增加了预热工艺，改善了原料高纯石英砂的融熔条件，提高了产品的质量；增加了成形部位玻璃液的压力，加强了石英玻璃液体在成形中的脱气功能，达到了优化熔化、澄清、对流均化过程，减少和消除了气泡气线。用本专利技术方法能生产出大规格的石英玻璃管，其直径可达170-210mm，壁厚达6-10mm，其直径公差≤±2mm，壁厚公差≤20％，偏壁度≤15％，椭圆度≤1.5mm，热稳定性在1100℃恒温15分钟浸入20±5℃水中急冷，不缺口、不裂纹，在1200±10℃下保温24小时，其高温变形率≤3％，完全适用于半导体技术的要求。具体实施例方式下面进一步描述本专利技术的具体技术实施方案，以使本领域技术人员进一步理解本专利技术，而非对本专利技术的限制。实施例1。一种，将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成大口径透明石英玻璃管；原料高纯石英砂在投入连熔炉后、加热熔融前，对高纯石英砂进行200分钟的预热处理，将高纯石英砂预热至750℃，再进行加热熔融；所述的连熔炉钨钼坩锅上部为预热段，下部为熔融段，预热处理在连熔炉钨钼坩锅的预热段内进行；所述钨钼坩锅的直径为340mm，高度为1400mm；连熔炉内的熔融温度为2150℃；所述的成形器的直径为230mm；连熔炉的料台直径为244mm；熔融段通入连熔炉的电加热钼电极的电流为215A，电压为19V。实施例2。一种，将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成大口径透明石英玻璃管；原料高纯石英砂在投入连熔炉后、加热熔融前，对高纯石英砂进行280分钟的预热处理，将高纯石英砂预热至850℃，再进行加热熔融；所述的连熔炉钨钼坩锅上部为预热段，下部为熔融段，预热处理在连熔炉钨钼坩锅的预热段内进行；所述钨钼坩锅的直径为360mm，高度为1600mm；连熔炉内的熔融温度为2250℃；所述的成形器的直径为260mm；连熔炉的料台直径为264mm；熔融段通入连熔炉的电加热钼电极的电流为225A，电压为20V。实施例3。一种，将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成大口径透明石英玻璃管；原料高纯石英砂在投入连熔炉后、加热熔融前，对高纯石英砂进行240分钟的预热处理，将高纯石英砂预热至800℃，再进行加热熔融；所述的连熔炉钨钼坩锅上部为预热段，下部为熔融段，预热处理在连熔炉钨钼坩锅的预热段内进行；所述钨钼坩锅的直径为350mm，高度为1500mm；连熔炉内的熔融温度为2200℃；所述的成形器的直径为240mm；连熔炉的料台直径为254mm；熔融段通入连熔炉的电加热钼电极的电流为220A，电压为19.5V。实施例4。一种，将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成大口径透明石英玻璃管；原料高纯石英砂在投入连熔炉后、加热熔融前，对高纯石英砂进行220分钟的预热处理，将高纯石英砂预热至780℃，再进行加热熔融；所述的连熔炉钨钼坩锅上部为预热段，下部为熔融段，预热处理在连熔炉钨钼坩锅的预热段内进行；所述钨钼坩锅的直径为345mm，高度为1450mm；连熔炉内的熔融温度为2180℃；所述的成形器的直径为250mm；连熔炉的料台直径为250mm；熔融段通入连熔炉的电加热钼电极的电流为218A，电压为19V。实施例5。一种，将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成大口径透明石英玻璃管；原料高纯石英砂在投入连熔炉后、加热熔融前，对高纯石英砂进行260分钟的预热处理，将高纯石英砂预热至820℃，再进行加热熔融；所述的连熔炉钨钼坩锅上部为预热段，下部为熔融段，预热处理在连熔炉钨钼坩锅的预热段内进行；所述钨钼坩锅的直径为355mm，高度为1550mm；连熔炉内的熔融温度为2220℃；所述的成形器的直径为255mm；连熔炉的料台直径为260mm；熔融段通入连熔炉的电加热钼电极的电流为222A，电压为20V。实施例6。一种，将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种连熔法生产半导体技术用大口径透明石英玻璃管的方法，其特征在于，将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成大口径透明石英玻璃管；原料高纯石英砂在投入连熔炉后、加热熔融前，对高纯石英砂进行２００－２８０分钟的预热处理，将高纯石英砂预热至７５０－８５０℃，再进行加热熔融；所述的连熔炉钨钼坩锅上部为预热段，下部为熔融段，预热处理在连熔炉钨钼坩锅的预热段内进行；所述钨钼坩锅的直径为３４０－３６０ｍｍ，高度为１４００－１６００ｍｍ；连熔炉内的熔融温度为２１５０－２２５０℃；所述的成形器的直径为２３０－２６０ｍｍ；连熔炉的料台直径为２４４－２６４ｍｍ；熔融段通入连熔炉的电加热钼电极的电流为２１５－２２５Ａ，电压为１９－２０Ｖ。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：徐胜利，
申请(专利权)人：徐胜利，
类型：发明
国别省市：32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。