一种连熔法生产ＩＣ产业用大口径石英玻璃管的方法，其特点是，将高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成大口径石英玻璃管；连熔炉内的钨钼坩锅的直径为５３０ｍｍ，高度为１６００ｍｍ；发热体钨棒直径为４．５ｍｍ，长度１１００ｍｍ，钨棒根数为７２根，均匀设置；通入连熔炉的电加热钼电极的电流为２３５－２４５Ａ，电压为２０－２１Ｖ；熔融温度为２２００℃；所述成形器的直径为３４０－３５０ｍｍ；连熔炉的料台直径为３６５－３７５ｍｍ；连熔炉内芯杆的长度为１９００ｍｍ。它改善了生产工艺及设备中的多项技术参数，各技术参数之间相互关联、协同作用，提高了产品的质量与规格。
Method for producing large caliber quartz glass tube by continuous melting method for IC industry
A method of large caliber quartz glass tube used in the production of IC industry fusion method, which is characterized in that the high pure quartz sand into the furnace even by electric heating, melting, melting quartz glass forming device, liquid material and machine drawn into large caliber quartz glass tube; even in the furnace of tungsten and molybdenum the crucible diameter is 530mm, height is 1600mm; the heating body tungsten rod diameter 4.5mm, length 1100mm, tungsten rod root numbers of 72, uniformly arranged; current into the electric heating furnace for molybdenum electrodes 235 245A, voltage of 20 21V; the melting temperature is 2200 DEG C; the shape the diameter is 340 350mm; even the furnace material Taiwan diameter is 365 375mm; even the core rod furnace length is 1900mm. The utility model improves a plurality of technical parameters in the production process and equipment, and the technical parameters are interrelated and synergistic with each other, thereby improving the quality and specification of the product.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种石英玻璃管的生产方法，特别是一种连熔法生产IC产用业用大口径石英玻璃管的方法。技术背景现有技术中的石英玻璃管的生产方法只能生产出直径约为80mm，壁厚为4mm的合格石英玻璃管，若要强行拉出直径稍大一些 的石英玻璃管，则所拉出的石英玻璃管的气泡气线多。本专利技术人于 2007年申请了一项名称为"一种连熔法生产半导体技术用大口径透明 石英玻璃管的方法"的专利，专利申请号为200710020782.5、公开号 为CN101054260。但是这种方法也仅能生产直径210mm以下的石英 玻璃管，依然不能满足IC行业的对大口径石英玻璃管的需求。因此， 适合IC行业的超大口径石英玻璃管的生产一直是专利技术人研究的一个 难题。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种新 的连熔法生产石英玻璃管的方法，用该方法可生产适合IC产业用的、大口径、气泡气线少的石英玻璃管。本专利技术所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现的。本专利技术是一种，其特点 是，将Si02含量不小于99.998%、金属杂质含量不大于20ppm的高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形 器、料台及拉管机拉制成大口径石英玻璃管；连熔炉内的钩钼坩锅的 直径为530mm，高度为1600mm;连熔炉内的发热体鸨棒直径为 4.5mm，长度1100mm，钨棒根数为72根，均匀设置；通入连熔炉的 电加热钼电极的电流为235—245A，电压为20—21V;熔融温度为2200 °C;所述成形器的直径为340—350mm;连熔炉的料台直径为365— 375mm;连熔炉内芯杆的长度为1900mm。本专利技术技术方案中所述的金属杂质含量是指石英砂中所含的常规 金属杂质之和。本专利技术所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步 实现。以上所述的方法，其特点是，生产时向石英连熔炉内所充入的 保护气体为氢气和氮气，氢气和氮气的压力分别为6.1—6.5mpa和3.5 一4.5mpa。这样，有利于提高成品石英玻璃管的透明度，并且很好地 保护钨钼坩锅、钨网和钼电极，防止氧化并起到助燃和提高原料熔化 质量的作用。与现有技术相比，本专利技术方法具有以下优点本专利技术方法改善了 生产工艺及设备中的多项技术参数，各技术参数之间相互关联，互相 协同作用，合理改善了原料高纯石英砂的融熔条件，提高了产品的质 量与规格，合理协调了成形部位玻璃液的压力，加强了石英玻璃液在 成形中的脱气功能，达到了优化熔化、澄清、对流均化过程，减少和 消除了气泡气线。用本专利技术方法能直接生产出超大规格的石英玻璃 管，其直径可达200—300mm，壁厚达8—15mm，解决了现有技术中 难以解决的一大难题。本专利技术方法生产的石英玻璃管完全适用于IC 产业用大口径石英玻璃管的要求，经扩管后能够满足12英寸芯片和 硅片扩散、氯化、退火用的扩散管的技术要求。具体实施方式下面进一步描述本专利技术的具体技术实施方案，以使本领域技术人 员进一步理解本专利技术，而非对本专利技术的限制。实施例1。 一种连熔法生产IC产业用大口径石英玻璃管的方法，将Si02含量不小于99.998。/。、金属杂质含量不大于20ppm的高纯石英 砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、 料台及拉管机拉制成大口径石英玻璃管；连熔炉内的钨钼坩锅的直径 为530mm，高度为1600mm;连熔炉内的发热体钨棒直径为4.5mm， 长度1100mm，钨棒根数为72根，均匀设置；通入连熔炉的电加热钼 电极的电流为235A，电压为20V;熔融温度为2200'C;所述成形器 的直径为340mm;连熔炉的料台直径为365mm;连熔炉内芯杆的长 度为1900mm。实施例2。 一种连熔法生产IC产业用大口径石英玻璃管的方法， 将Si02含量不小于99.998%、金属杂质含量不大于20ppm的高纯石英 砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、 料台及拉管机拉制成大口径石英玻璃管；连熔炉内的钨钼坩锅的直径 为530mm，高度为1600mm;连熔炉内的发热体钨棒直径为4.5mm， 长度1100mm，钨棒根数为72根，均匀设置；通入连熔炉的电加热钼 电极的电流为245A，电压为21V;熔融温度为220(TC;所述成形器 的直径为350mm;连熔炉的料台直径为375mm;连熔炉内芯杆的长 度为1900mm。实施例3。 一种连熔法生产IC产业用大口径石英玻璃管的方法， 将Si02含量不小于99.998%、金属杂质含量不大于20ppm的高纯石英 砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、 料台及拉管机拉制成大口径石英玻璃管；连熔炉内的钨钼坩锅的直径 为530mm，高度为1600mm;连熔炉内的发热体钨棒直径为4.5mm， 长度1100mm，钨棒根数为72根，均匀设置；通入连熔炉的电加热钼电极的电流为240A，电压为20.5V;熔融温度为220(TC;所述成形器 的直径为345mm;连熔炉的料台直径为370mm;连熔炉内芯杆的长 度为1900mm。实施例4。在实施例1或2或3所述的方法中，生产时向石英连 熔炉内所充入的保护气体为氢气和氮气，氢气和氮气的压力分别为 6.1mpa禾口 3.5mpa。实施例5。在实施例1或2或3所述的方法中，生产时向石英连 熔炉内所充入的保护气体为氢气和氮气，氢气和氮气的压力分别为 6.5mpa禾口 4.5mpa。实施例6。在实施例1或2或3所述的方法中，生产时向石英连 熔炉内所充入的保护气体为氢气和氮气，氢气和氮气的压力分别为 6.25mpa禾口 4.0mpa。权利要求1、一种连熔法生产IC产业用大口径石英玻璃管的方法，其特征在于，将SiO2含量不小于99.998％、金属杂质含量不大于20ppm的高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成大口径石英玻璃管；连熔炉内的钨钼坩锅的直径为530mm，高度为1600mm；连熔炉内的发热体钨棒直径为4.5mm，长度1100mm，钨棒根数为72根，均匀设置；通入连熔炉的电加热钼电极的电流为235-245A，电压为20-21V；熔融温度为2200℃；所述成形器的直径为340-350mm；连熔炉的料台直径为365-375mm；连熔炉内芯杆的长度为1900mm。2、 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，生产时向石英连熔炉 内所充入的保护气体为氢气和氮气，氢气和氮气的压力分别为 6.1—6,5mpa禾卩3.5—4.5mpa。全文摘要一种连熔法生产IC产业用大口径石英玻璃管的方法，其特点是，将高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成大口径石英玻璃管；连熔炉内的钨钼坩锅的直径为530mm，高度为1600mm；发热体钨棒直径为4.5mm，长度1100mm，钨棒根数为72根，均匀设置；通入连熔炉的电加热钼电极的电流为235-245A，电压为20-21V；熔融温度为2200℃；所述成形器的直径为340-350mm；连熔炉的料台直径为365-375mm；连熔炉内芯杆的长度为1900mm。它改善了生产工艺及设备中的多项技术参数，各技术参数之间相互关联、协同作用，提高本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种连熔法生产ＩＣ产业用大口径石英玻璃管的方法，其特征在于，将ＳｉＯ↓［２］含量不小于９９．９９８％、金属杂质含量不大于２０ｐｐｍ的高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成大口径石英玻璃管；连熔炉内的钨钼坩锅的直径为５３０ｍｍ，高度为１６００ｍｍ；连熔炉内的发热体钨棒直径为４．５ｍｍ，长度１１００ｍｍ，钨棒根数为７２根，均匀设置；通入连熔炉的电加热钼电极的电流为２３５－２４５Ａ，电压为２０－２１Ｖ；熔融温度为２２００℃；所述成形器的直径为３４０－３５０ｍｍ；连熔炉的料台直径为３６５－３７５ｍｍ；连熔炉内芯杆的长度为１９００ｍｍ。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：徐胜利，
申请(专利权)人：徐胜利，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]
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