【技术实现步骤摘要】
一种安装在真空镀膜腔室上的可调节活动挡板
本技术涉及镀膜线生产配件领域，尤其是一种安装在真空镀膜腔室上的可调节活动挡板。
技术介绍
镀膜线的产品的成品率及装载率很大程度上取决于膜厚的均匀性，在靶材质地均匀的情况下，膜厚的均匀性主要影响因素为阴极磁场的均匀性和工艺气体的布气均匀性。目前为了解决膜厚均匀性问题，目前一般设备厂家提供的方法主要是可调磁场以及多段供气结合工艺气体闭环控制器(压电阀\SPPEDFL0等)。下面分别阐述:一、磁场调节:磁场调节就是通过调整磁钢整体向靶面靠近或远离来改变靶面磁场强度，从而调节整体膜厚至产品的要求，依靠磁轭的变形来调整局部位置的磁场强度非常有限，因此磁场调整不能完全解决磁钢列阵因单块磁钢强度不同引起的局部不均匀.也就是说，磁场调节主要解决的是成膜沉积率的问题，对磁场两端靠磁轭变形调整磁场非常有限；二、工艺气体调节:工艺气体调节通过的方式有多种，其中比较流行的就是二元制的多段供气(segment gas )，其原理就是根据镀膜线真空室内气流不同，为保证靶面工艺气体均布，对沿靶面方向布置得工艺气管分段供气，抽气快的地方供气多一点，尽量做到靶面气压相同，从而保证溅射的均匀性，至于以后匹配的工艺气体闭环控制调节器，皆因电子级的反馈速度与气体流量的机械控制，导致震荡式的不稳定调节而变成事后调节没有太大的生产实际意义。工艺气体调节有一定的调节作用，但因系统抽速的改变、工艺气管分段长度及供气口位置的局限以及摸索稳定参数耗时太多导致工艺气体调节仍然有一定的局限性。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种克服现有技术不足、结构简单、操作方便的可...
【技术保护点】
一种安装在真空镀膜腔室上的可调节活动挡板，其特征在于：在真空镀膜腔的侧壁上设有调节镀膜膜层厚度的调节手轮（1），调节手轮（1）包括设置在真空镀膜腔室内部或者外部的调节装置和内部的活动挡板（2），调节装置带动活动挡板（2）做往复运动。
【技术特征摘要】
1.一种安装在真空镀膜腔室上的可调节活动挡板，其特征在于:在真空镀膜腔的侧壁上设有调节镀膜膜层厚度的调节手轮(I )，调节手轮(I)包括设置在真空镀膜腔室内部或者外部的调节装置和内部的活动挡板(2)，调节装置带动活动挡板(2)做往复运动。2.根据权利要求1所述的一种安装在真空镀膜腔室上的可调节活动挡板，其特征在于:所述的活动挡板(2)为L形的折板，活动挡板(2)直角边的边长比为1:2到1:5之间，活动挡板(2)的左端伸出的宽度大小与对应的镀膜膜层厚度成反比。3.根据权利要求1所述的一种安装在真空镀膜腔室上的可调节活动挡板，其特征在于:所述的调节装置包括相互啮合...
【专利技术属性】
技术研发人员：闫乃明，朱世元，
申请(专利权)人：深圳市金耀玻璃机械有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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