下载一种安装在真空镀膜腔室上的可调节活动挡板的技术资料

文档序号:10203240

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本实用新型涉及一种安装在真空镀膜腔室上的可调节活动挡板,在真空镀膜腔室的侧壁上设有调节镀膜膜层厚度的调节手轮,调节手轮包括设置在真空镀膜腔室内部或外部的调节装置和内部的活动挡板,调节装置带动活动挡板做往复运动调节镀膜膜层厚度。本实用新型的有...
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