一种SF6开关柜的氦质谱检漏的方法技术

本发明专利技术公开了一种SF6开关柜的氦质谱检漏的方法，系统电气控制通过PLC来实现，将SF6开关柜置于真空箱内，连接好SF6开关柜的抽空管道，系统自动的完成对真空箱体、SF6开关柜的抽空，待抽空完成，氦气充注回收系统向SF6开关柜充注一定压力的氦气，SF6开关柜中的氦气充注氦气完成，开启检漏真空挡板阀，通过氦质谱检漏仪显示漏率变化，来判断SF6开关柜密封情况，从而判断被检SF6开关柜密封性是否合格。同时，采用真空箱抽空与SF6开关柜抽空同时进行，并实时监测箱体与SF6开关柜的压力，保证SF6内外压差在一定的范围内，从而确保了工件不会因为内外压差过大而造成损坏。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及SF6开关柜气密性检测
，尤其涉及一种SF6开关柜的氦质谱检漏的方法。
技术介绍
气体绝缘开关柜体积小、可靠性高、运行不受外部环境影响的突出优点越来越被国内用户所认同，但仍有许多影响产品长期运行可靠性的问题笈待解决，其中密封可靠性是充分发挥气体绝缘开关柜优势、保证气体绝缘开关柜长期运行可靠性的关键因素。对通过出厂绝缘试验的气体绝缘开关柜而言，设备的绝缘性能主要由充气单元内部气体绝缘介质的分子密度提供保障，在正常工况条件下，气体绝缘开关柜的内部气压要高于外部，在气压差的作用下，由于起绝缘作用的气体介质会通过各泄漏点向外泄漏，则充气隔室内气体绝缘介质的密度会不断降低，当降低到允许限值时就可能会引发绝缘事故。在SF6开关柜在出厂时，需要对开关柜的密封性进行检测，过去一直采用SF6扣罩法检漏，周期很长，准确率较低。特别是只有在充完SF6气体后，才能发现是否有气体泄漏的问题，这不仅导致返工和SF6气体的严重浪费，且生产周期受到很大影响。
技术实现思路
本专利技术目的就是为了弥补已有技术的缺陷，提供一种SF6开关柜的氦质谱检漏的方法。本专利技术是通过以下技术方案实现的：一种SF6开关柜的氦质谱检漏的方法，包括有真空箱部分、箱体抽空部分、工件抽空部分、氦质谱检漏部分、氦气充注回收系统和SF6充注系统，所述的真空箱部分由真空箱体与皮拉尼真空计组成，所述的箱体抽空部分由箱体抽空泵组、箱体抽空阀及用于连接的箱体抽空管道组成，用于对真空箱体的抽空，所述的氦质谱检漏部分由氦质谱检漏仪、检漏阀及用于连接管道组成，所述的工件抽空部分由工件抽空泵、工件抽空阀、用于监测工件内压力的压力传感器及工件抽空管道组成；所述的皮拉尼真空计安装在真空箱体上，SF6开关柜放在真空箱体的内部，真空箱体通过箱体抽空管道依次与箱体抽空阀和箱体抽空泵组连接，氦质谱检漏仪通过检漏阀和管道与箱体抽空管道连接，所述的真空箱体通过工件抽空管道依次与工件抽空阀和工件抽空泵连接，工件抽空阀连接在SF6开关柜的充气端口，压力传感器连接在工件抽空管道上，氦气充注回收系统通过氦气充注回收阀连接在工件抽空管道上，SF6充注系统通过SF6充注阀连接在工件抽空管道上，在氦质谱检漏仪的检漏口连接有吸枪，在真空箱体上安装有箱体放气阀；将SF6开关柜置于真空箱体中，连接好SF6开关柜的抽空管道，真空箱体关门，打开工件抽空阀、箱体抽空阀，分别对SF6开关柜与真空箱体抽空，压力传感器、皮拉尼真空计实时监测SF6开关柜与真空箱的压力，保证SF6开关柜的压差在允许范围内，确保SF6开关柜不至于压差过大变形损坏，待真空箱体内达到检漏压力、SF6开关柜达到抽空压力，关闭工件抽空阀，开启检漏阀，并同时开启氦气充注回收阀，对SF6开关柜充注氦气，待SF6开关柜达到氦气充注压力，关闭氦气充注回收阀，通过氦质谱检漏仪显示漏率情况来判断SF6开关柜的密封性，若SF6开关柜的密封性合格，关闭检漏阀、箱体抽空阀，开启氦气充注回收阀，对SF6开关柜中的氦气进行回收，待SF6开关柜中氦气达到回收压力时，关闭氦气充注回收阀，开启SF6充注阀、箱体放气阀，压力传感器、皮拉尼真空计实时监测SF6开关柜与真空箱的压力，保证SF6开关柜内外压差在允许范围内，待SF6开关柜充注SF6达到设置压力时，关闭SF6充注阀，真空箱体开门，取出已充注SF6的开关柜；若SF6开关柜的密封性不合格，关闭检漏阀、箱体抽空阀，开启氦气充注回收阀、箱体放气阀，分别对SF6开关柜中的氦气进行继续充注与真空箱体放气，实时保证SF6开关柜内外压差在允许范围内，待SF6开关柜中的氦气达到设定压力时，关闭氦气充注回收阀，开启真空箱体的箱门，取出充注氦气的SF6开关柜，使用吸枪寻找SF6开关柜的漏点。所述的箱体抽空阀、箱体抽空泵组、检漏阀、氦质谱检漏仪、SF6充注阀、SF6充注系统、氦气充注回收阀、氦气充注回收系统、压力传感器、工件抽空阀、工件抽空泵、皮拉尼真空计和吸抢均与PLC控制系统连接。本专利技术的优点是：本专利技术电气控制通过PLC来实现，只要将SF6开关柜置于真空箱中，系统自动完成对SF6开关柜密封性定量性检测，能快速、有效、准确检测SF6开关柜气密性。检测合格系统即可对SF6开关柜进行SF6的充注。在检测SF6的过程对使用的氦气实施回收，可以再次或多次使用，节约了能源，降低设备的使用成本。在系统检测运行时，箱体抽空与SF6开关柜抽空同时进行，并实时监测箱体与SF6开关柜的压力，保证SF6内外压差在一定的范围内（如：30000Pa内、50000Pa内），避免SF6开关柜在检测过程中出现超压变形损坏，做到无损检测。对于密封性不合格的SF6开关柜，使用吸枪进行查找并确定SF6开关柜的漏点。附图说明图1为本专利技术的工作原理图。具体实施方式如图1所示，一种SF6开关柜的氦质谱检漏的方法，包括有真空箱部分、箱体抽空部分、工件抽空部分、氦质谱检漏部分、氦气充注回收系统6和SF6充注系统7，所述的真空箱部分由真空箱体1与皮拉尼真空计14组成，所述的箱体抽空部分由箱体抽空泵组4、箱体抽空阀9及用于连接的箱体抽空管道15组成，用于对真空箱体1的抽空，所述的氦质谱检漏部分由氦质谱检漏仪5、检漏阀10及用于连接管道组成，所述的工件抽空部分由工件抽空泵3、工件抽空阀8、用于监测工件内压力的压力传感器13及工件抽空管道16组成；所述的皮拉尼真空计14安装在真空箱体1上，SF6开关柜2放在真空箱体1的内部，真空箱体1通过箱体抽空管道15依次与箱体抽空阀9和箱体抽空泵组4连接，氦质谱检漏仪5通过检漏阀10和管道与箱体抽空管道15连接，所述的真空箱体1通过工件抽空管道16依次与工件抽空阀8和工件抽空泵3连接，工件抽空阀8连接在SF6开关柜2的充气端口，压力传感器13连接在工件抽空管道16上，氦气充注回收系统6通过氦气充注回收阀11连接在工件抽空管道16上，SF6充注系统7通过SF6充注阀12连接在工件抽空管道16上，在氦质谱检漏仪5的检漏口连接有吸枪17，在真空箱体1上安装有箱体放气阀18；将SF6开关柜2置于真空箱体1中，连接好SF6开关柜2的抽空管道，真空箱体1关门，打开工件抽空阀8、箱体抽空阀9，分别对SF6开关柜2与真空箱体1抽空，压力传感器13、皮拉尼真空计14实时监测SF6开关柜2与真空箱1的压力，保证SF6开关柜2的压差在允许范围内，确保SF6开关柜2不至于压差过大变形损坏，待真空箱体1内达到检漏压力、SF6开关柜2达到抽空压力，关闭工件抽空阀8，开启检漏阀10，并同时开启氦气充注回收阀11，对SF6开关柜2充注氦气，待SF6开关柜2达到氦气充注压力，关闭氦气充注回收阀11，通过氦质谱检漏仪5显示漏率情况来判断SF6开关柜2的密封性，若SF6开关柜的密封性合格，关闭检漏阀、箱体抽空阀，开启氦气充注回收阀，对SF6开关柜2中的氦气进行回收，待SF6开关柜2中氦气达到回收压力时，关闭氦气充注回收阀11，开启SF6充注阀12、箱体放气阀18，压力传感器13、皮拉尼真空计14实时监测SF6开关柜2与真空箱1的压力，保证SF6开关柜2内外压差在允许范围内，待SF6开关柜2充注SF6达到设置压力时，关闭SF6充注阀12，真空箱体1开门，取出已充注SF6的开关柜；若S本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种SF6开关柜的氦质谱检漏的方法，其特征在于：包括有真空箱部分、箱体抽空部分、工件抽空部分、氦质谱检漏部分、氦气充注回收系统和SF6充注系统，所述的真空箱部分由真空箱体与皮拉尼真空计组成，所述的箱体抽空部分由箱体抽空泵组、箱体抽空阀及用于连接的箱体抽空管道组成，用于对真空箱体的抽空，所述的氦质谱检漏部分由氦质谱检漏仪、检漏阀及用于连接管道组成，所述的工件抽空部分由工件抽空泵、工件抽空阀、用于监测工件内压力的压力传感器及工件抽空管道组成；所述的皮拉尼真空计安装在真空箱体上，SF6开关柜放在真空箱体的内部，真空箱体通过箱体抽空管道依次与箱体抽空阀和箱体抽空泵组连接，氦质谱检漏仪通过检漏阀和管道与箱体抽空管道连接，所述的真空箱体通过工件抽空管道依次与工件抽空阀和工件抽空泵连接，工件抽空阀连接在SF6开关柜的充气端口，压力传感器连接在工件抽空管道上，氦气充注回收系统通过氦气充注回收阀连接在工件抽空管道上，SF6充注系统通过SF6充注阀连接在工件抽空管道上，在氦质谱检漏仪的检漏口连接有吸枪，在真空箱体上安装有箱体放气阀；将SF6开关柜置于真空箱体中，连接好SF6开关柜的抽空管道，真空箱体关门，打开工件抽空阀、箱体抽空阀，分别对SF6开关柜与真空箱体抽空，压力传感器、皮拉尼真空计实时监测SF6开关柜与真空箱的压力，保证SF6开关柜的压差在允许范围内，确保SF6开关柜不至于压差过大变形损坏，待真空箱体内达到检漏压力、SF6开关柜达到抽空压力，关闭工件抽空阀，开启检漏阀，并同时开启氦气充注回收阀，对SF6开关柜充注氦气，待SF6开关柜达到氦气充注压力，关闭氦气充注回收阀，通过氦质谱检漏仪显示漏率情况来判断SF6开关柜的密封性，若SF6开关柜的密封性合格，关闭检漏阀、箱体抽空阀，开启氦气充注回收阀，对SF6开关柜中的氦气进行回收，待SF6开关柜中氦气达到回收压力时，关闭氦气充注回收阀，开启SF6充注阀、箱体放气阀，压力传感器、皮拉尼真空计实时监测SF6开关柜与真空箱的压力，保证SF6开关柜内外压差在允许范围内，待SF6开关柜充注SF6达到设置压力时，关闭SF6充注阀，真空箱体开门，取出已充注SF6的开关柜；若SF6开关柜的密封性不合格，关闭检漏阀、箱体抽空阀，开启氦气充注回收阀、箱体放气阀，分别对SF6开关柜中的氦气进行继续充注与真空箱体放气，实时保证SF6开关柜内外压差在允许范围内，待SF6开关柜中的氦气达到设定压力时，关闭氦气充注回收阀，开启真空箱体的箱门，取出充注氦气的SF6开关柜，使用吸枪寻找SF6开关柜的漏点。...

【技术特征摘要】
1.一种SF6开关柜的氦质谱检漏的方法，其特征在于：包括有真空箱部分、箱体抽空部分、工件抽空部分、氦质谱检漏部分、氦气充注回收系统和SF6充注系统，所述的真空箱部分由真空箱体与皮拉尼真空计组成，所述的箱体抽空部分由箱体抽空泵组、箱体抽空阀及用于连接的箱体抽空管道组成，用于对真空箱体的抽空，所述的氦质谱检漏部分由氦质谱检漏仪、检漏阀及用于连接管道组成，所述的工件抽空部分由工件抽空泵、工件抽空阀、用于监测工件内压力的压力传感器及工件抽空管道组成；所述的皮拉尼真空计安装在真空箱体上，SF6开关柜放在真空箱体的内部，真空箱体通过箱体抽空管道依次与箱体抽空阀和箱体抽空泵组连接，氦质谱检漏仪通过检漏阀和管道与箱体抽空管道连接，所述的真空箱体通过工件抽空管道依次与工件抽空阀和工件抽空泵连接，工件抽空阀连接在SF6开关柜的充气端口，压力传感器连接在工件抽空管道上，氦气充注回收系统通过氦气充注回收阀连接在工件抽空管道上，SF6充注系统通过SF6充注阀连接在工件抽空管道上，在氦质谱检漏仪的检漏口连接有吸枪，在真空箱体上安装有箱体放气阀；将SF6开关柜置于真空箱体中，连接好SF6开关柜的抽空管道，真空箱体关门，打开工件抽空阀、箱体抽空阀，分别对SF6开关柜与真空箱体抽空，压力传感器、皮拉尼真空计实时监测SF6开关柜与真空箱的压力，保证SF6开关柜的压差在允许范围内，确保SF6开关柜不至于压差过大变形损坏，待真...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱长平，
申请(专利权)人：安徽皖仪科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34