一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件制造技术

一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件，包括装置本体、磁钢、靶管、磁钢芯轴、轴承、盖板、端头、第一传动部件、第二传动部件、靶管旋转传动件和磁钢摆动传动件；磁钢与靶管均转动设置在装置本体内部；装置本体设置在端头的上方；磁钢的底部与磁钢芯轴连接；磁钢芯轴转动安装在端头内部，磁钢芯轴外周设置有轴承；磁钢芯轴下部与第一传动部件传动连接；靶管设置在磁钢的外周，靶管的下部与第二传动部件传动连接；磁钢摆动传动件一端与第一传动部件传动连接，另一端与马达动力连接；靶管旋转传动件的一端与第二传动部件传动连接，另一端连接动力机构。本实用新型专利技术中，具有更好的靶材溅射沉积速率，以及更小的安装空间和更加优化的产线布局。

A kind of magnetic steel swing end assembly built in vacuum cavity

【技术实现步骤摘要】
一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件
本技术涉及磁控溅射镀膜的端头设备领域，尤其涉及一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件。
技术介绍
在旋转阴极连续镀膜生产线上，端头带动靶材旋转，在满足一定的工艺环境要求下，将靶材溅射到玻璃基片上，以获得符合产品要求的膜层。现有设备中，包括以下三种结构：1、端头内置于真空腔体且磁钢静止不动式；2、端头外置于真空腔体且磁钢静止不动式；3、端头外置于真空腔体且磁钢摆动式。如图1所示，为端头内置于真空腔体且磁钢静止不动式的结构，此端头结构主要缺点是：磁钢无法摆动，影响靶材溅射速率及成膜均一性。如图2所示，为端头外置于真空腔体且磁钢静止不动式的结构，此端头结构主要缺点是：磁钢无法摆动，端头外形尺寸稍大，占用较大空间。如图3所示，端头外置于真空腔体且磁钢摆动式的结构，此端头结构主要缺点是：端头外形尺寸较大，占用更多空间，不利于整线布局，使用较为不便。因此，如何获得更好的靶材溅射沉积速率以及更小的安装空间，以及如何优化产线布局，是需要解决的问题。>
技术实现思路
(本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件，其特征在于，包括装置本体(3)、磁钢(1)、靶管(2)、磁钢芯轴(6)、轴承(7)、盖板(4)、端头(5)、第一传动部件(8)、第二传动部件、靶管旋转传动件(9)和磁钢摆动传动件(10)；/n磁钢(1)与靶管(2)均转动设置在装置本体(3)内部；装置本体(3)设置在端头(5)的上方；盖板(4)设置在端头(5)的一侧；其中，盖板(4)朝向装置本体(3)与端头(5)的一侧为真空环境，盖板(4)另一侧为大气环境；/n磁钢(1)的底部与磁钢芯轴(6)连接；磁钢芯轴(6)转动安装在端头(5)内部，其中，磁钢芯轴(6)顶部和中部的外周均设置有轴承(7)，轴承(7...

【技术特征摘要】
1.一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件，其特征在于，包括装置本体(3)、磁钢(1)、靶管(2)、磁钢芯轴(6)、轴承(7)、盖板(4)、端头(5)、第一传动部件(8)、第二传动部件、靶管旋转传动件(9)和磁钢摆动传动件(10)；
磁钢(1)与靶管(2)均转动设置在装置本体(3)内部；装置本体(3)设置在端头(5)的上方；盖板(4)设置在端头(5)的一侧；其中，盖板(4)朝向装置本体(3)与端头(5)的一侧为真空环境，盖板(4)另一侧为大气环境；
磁钢(1)的底部与磁钢芯轴(6)连接；磁钢芯轴(6)转动安装在端头(5)内部，其中，磁钢芯轴(6)顶部和中部的外周均设置有轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱世元，闫乃明，
申请(专利权)人：深圳市金耀玻璃机械有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44