一种防腐可调磁钢制造技术

一种防腐可调磁钢，包括磁铁、磁轭和不锈钢方管；磁铁并排设置有三个，其中，位于中部的磁铁的磁极与位于两侧的两个磁铁的磁极相异；磁铁设置在不锈钢方管内部；不锈钢方管两端分别设置有用于密封不锈钢方管的两个密封件，不锈钢方管设置在磁轭上；磁轭上设置有用于调节磁轭位置的调节件。本实用新型专利技术具有防腐功能，能调整靶管表面的磁性大小，从而满足不同的工艺需要。

【技术实现步骤摘要】
一种防腐可调磁钢
本技术涉及磁控溅射镀膜设备
，尤其涉及一种防腐可调磁钢。
技术介绍
现有的靶管内径都是125mm规格，而磁钢也是针对这一规格来设计生产。市场上有部分厂家因生产要求，需要在镀膜设备上使用靶管内径为80mm的小规格靶管，目前没有针对靶管内径80mm规格的磁钢。由于磁钢是整体浸泡在冷却水中，而磁铁本身极易被水腐蚀。
技术实现思路
(一)技术目的为解决
技术介绍
中存在的技术问题，本技术提出一种防腐可调磁钢，磁钢为三磁道，中间为N极，两侧为S极；形成一个较窄的磁力线闭合环形区间；磁铁1设置在不锈钢方管3内部，不锈钢方管3两端有密封件4能使磁铁1与水严格隔离；调节件5用来调节磁轭2的位置。(二)技术方案本技术提供了一种防腐可调磁钢，包括磁铁、磁轭和不锈钢方管；磁铁并排设置有三个，其中，位于中部的磁铁的磁极与位于两侧的两个磁铁的磁极相异；磁铁设置在不锈钢方管内部；不锈钢方管两端分别设置有用于密封不锈钢方管的两个密封件，不锈钢方管设置在磁轭上；磁轭上设置有用于调节磁轭位置的调节件。优本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防腐可调磁钢，其特征在于，包括磁铁(1)、磁轭(2)和不锈钢方管(3)；/n磁铁(1)并排设置有三个，其中，位于中部的磁铁(1)的磁极与位于两侧的两个磁铁(1)的磁极相异；磁铁(1)设置在不锈钢方管(3)内部；不锈钢方管(3)两端分别设置有用于密封不锈钢方管(3)的两个密封件(4)，不锈钢方管(3)设置在磁轭(2)上；磁轭(2)上设置有用于调节磁轭(2)位置的调节件(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种防腐可调磁钢，其特征在于，包括磁铁(1)、磁轭(2)和不锈钢方管(3)；
磁铁(1)并排设置有三个，其中，位于中部的磁铁(1)的磁极与位于两侧的两个磁铁(1)的磁极相异；磁铁(1)设置在不锈钢方管(3)内部；不锈钢方管(3)两端分别设置有用于密封不锈钢方管(3)的两个密封件(4)，不锈钢方管(3)设置在磁轭(2)上；磁轭(2)上设置有用于调节磁轭(2)位置的调节件(5)。


2.根据权利要求1所述的一种防腐可调磁钢，其特征在于，密封件(4)为...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱世元，闫乃明，
申请(专利权)人：深圳市金耀玻璃机械有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44