【技术实现步骤摘要】
一种离子溅射镀膜机修正板机构
本技术涉及到电镀
，尤其涉及一种离子溅射镀膜机修正板机构。
技术介绍
在电镀
，因为不同产品，不同镀膜工艺，不同产品镀膜厚度不同，这样在电镀过程中就需要用到膜厚修正挡板。常见的市场现有技术方案修正装置与挡板装置是两个独立的机构，且需要利用传动结构进行传动，这样的设计经济成本上高，需要电机传动，需要消耗电能，同时占用电镀设备腔体空间。有鉴于上述的缺陷，本公司积极加以研究创新，以期创设一种离子溅射镀膜机修正板机构，该离子溅射镀膜机修正板机构的膜厚修正板的侧面直接通过修正板固定螺钉固定在阴极磁控靶上，无需电机带动转动，节省了空间。
技术实现思路
为了克服
技术介绍
中存在的缺陷，本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种离子溅射镀膜机修正板机构，包括阴极磁控靶和膜厚修正板，所述阴极磁控靶的上方设有膜厚修正板，所述膜厚修正板的侧面通过修正板固定螺钉固定在阴极磁控靶上，所述阴极磁控靶的横截面呈圆形。本技术所涉及的一种离子溅射镀膜机修正板机构，该离子溅射镀膜机修正板机构的膜厚修正板的侧面直接通过修正板固定螺钉固定在阴极磁控靶上，无需电机带动转动，节省了空间和电机的能量消耗，提高了膜厚修正的效率。此外，该离子溅射镀膜机修正板机构结构简单，对镀膜的厚度调节简单准确，适合推广使用。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术一种离子溅射镀膜机修正板机构的结构示意图；图2是本技术一种离子溅射镀膜机修正板机构的内...
【技术保护点】
1.一种离子溅射镀膜机修正板机构，包括阴极磁控靶（1）和膜厚修正板（2），其特征在于，所述阴极磁控靶（1）的上方设有膜厚修正板（2），所述膜厚修正板（2）的侧面通过修正板固定螺钉（3）固定在阴极磁控靶（1）上，所述阴极磁控靶（1）的横截面呈圆形。/n
【技术特征摘要】
1.一种离子溅射镀膜机修正板机构，包括阴极磁控靶（1）和膜厚修正板（2），其特征在于，所述阴极磁控靶（1）的上方设有膜厚修...
【专利技术属性】
技术研发人员：常洪兴，徐胜，
申请(专利权)人：杰莱特苏州精密仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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