高性能镀膜修正板制造技术

本发明专利技术公开了高性能镀膜修正板，包括真空腔和驱动电机，所述真空腔内腔底端面中部设置有蒸镀源，所述真空腔内腔顶端面中部设置有镀膜伞架，所述驱动电机设置于真空腔左端面中部，所述驱动电机的电机轴末端贯穿延伸至真空腔内腔并固定连接有连接盘，所述连接盘右端面上部固定连接有支撑板，所述支撑板下端面右侧设置有安装座，所述安装座内腔活动连接有第一修正板，所述第一修正板右侧设置有延伸装置，所述第一修正板下端面设置于支撑装置，所述支撑装置末端设置于连接盘右端面下部，该装置结构简单，操作方便，有效提高镀膜的质量。有效提高镀膜的质量。有效提高镀膜的质量。

【技术实现步骤摘要】
高性能镀膜修正板


本专利技术涉及镀膜修正板
，具体为高性能镀膜修正板。

技术介绍

在镀膜过程中，膜层的均匀性对于高产量是至关重要的，特别是在膜层要求变得更加严格和生产量增加以降低成本和保持竞争力的情况下。当腔室几何结构设计不足以达到足够的均匀性时，在基板前方放置膜厚修正板，以提高膜层的均匀性；这种现有技术方案在使用时还存在以下问题：1.镀膜不均匀；2.修正板无法调节长度；所以需要针对上述问题进行改进。

技术实现思路

本专利技术提供如下技术方案：本专利技术的目的在于提供高性能镀膜修正板，以解决上述
技术介绍
提出的目前镀膜不均匀且修正板无法调节长度的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：高性能镀膜修正板，包括：真空腔，所述真空腔内腔底端面中部设置有蒸镀源，所述真空腔内腔顶端面中部设置有镀膜伞架；驱动电机，所述驱动电机设置于真空腔左端面中部，所述驱动电机的电机轴末端贯穿延伸至真空腔内腔并固定连接有连接盘，所述连接盘右端面上部固定连接有支撑板，所述支撑板下端面右侧设置有安装座，所述安装座内腔活动连接有第一修正板，所述第一修正板右侧设置有延伸装置，所述第一修正板下端面设置于支撑装置，所述支撑装置末端设置于连接盘右端面下部。优选的，所述延伸装置包括限位凹槽、第二修正板、连接块和传动装置，所述第一修正板的横板上端面右侧开设有限位凹槽，所述限位凹槽内腔设置有第二修正板，所述第二修正板上端面左侧设置有连接块，所述第一修正板上端面中部设置有传动装置，所述传动装置与连接块连接。优选的，所述传动装置包括安装板、立板、驱动马达和丝杆，所述第一修正板上端面右侧固定连接有安装板，所述第一修正板上端面左左侧中部固定连接有立板，所述立板左端面中部固定连接有驱动马达，所述驱动马达的输出轴贯穿延伸至立板右侧并固定连接有丝杆，所述丝杆的末端贯穿连接块并活动连接于安装板的左端面。优选的，所述限位凹槽与第二修正板的截面均为梯形状，所述限位凹槽与第二修正板相匹配优选的，所述支撑装置包括连接座、电动伸缩杆和连接件，所述第一修正板的下部横板下端面与连接盘的右端面下部均固定连接有连接座，所述连接座内腔均活动连接有连接件，两组所述连接件的相对端面活动连接有电动伸缩杆。
优选的，所述第一修正板呈阶梯状，所述第一修正板的竖板左端面中部设置有橡胶垫，且橡胶垫左端面贴合支撑板右端面。优选的，所述连接盘左端面外圈均匀开设有凹槽，所述凹槽内腔设置有滚珠，所述滚珠外壁与真空腔内腔左端面相贴合。优选的，所述第一修正板与第二修正板位于蒸镀源和镀膜伞架之间。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1.通过第一修正板和延伸装置，通过光控装置感应，当光控装置无法检测到修正板时，控制器发出指令，启动驱动马达，驱动马达带动丝杆旋转，通过限位凹槽和第二修正板相配合，具有限位作用，丝杆带动连接块左右移动，连接块带动第二修正板左右移动，保证第二修正板能够阻挡遮挡蒸镀源正上方的蒸发物；2.通过安装座、阶梯型第一修正板和支撑装置，启动电动伸缩杆，使第一修正板绕安装座旋转，进一步的使第一修正板与待镀膜工件的距离改变，电动伸缩杆可根据镀膜厚度误差进行实时连续动作，使第一修正板处于最佳高度，以获得最佳的镀膜厚度均匀性。
附图说明
图1为本专利技术前视剖面结构示意图；图2为本专利技术图1中A处放大结构示意图；图3为本专利技术修正板右视剖视结构示意图；图4为本专利技术支撑装置结构示意图。图中：1、真空腔；2、蒸镀源；3、镀膜伞架；4、驱动电机；5、连接盘；6、支撑板；7、安装座；8、支撑装置；81、连接座；82、电动伸缩杆；83、连接件；9、滚珠；10、第一修正板；11、限位凹槽；12、第二修正板；13、安装板；14、立板；15、驱动马达；16、丝杆；17、连接块。
具体实施方式
下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1
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4，本专利技术提供一种技术方案：高性能镀膜修正板，包括：真空腔1，真空腔1内腔底端面中部设置有蒸镀源2，真空腔1内腔顶端面中部设置有镀膜伞架3，蒸镀源2与镀膜伞架3相对应；驱动电机4，驱动电机4设置于真空腔1左端面中部，驱动电机4的电机轴末端贯穿延伸至真空腔1内腔并固定连接有连接盘5，连接盘5可以旋转，适合不同角度的镀膜，提高修正板的通用性，连接盘5右端面上部固定连接有支撑板6，支撑板6下端面右侧设置有安装座7，安装座7内腔活动连接有第一修正板10，第一修正板10右侧设置有延伸装置，第一修正板10下端面设置于支撑装置8，支撑装置8末端设置于连接盘5右端面下部。请参阅图2，延伸装置包括限位凹槽11、第二修正板12、连接块17和传动装置，第一修正板10的横板上端面右侧开设有限位凹槽11，限位凹槽11内腔设置有第二修正板12，第二修正板12为等腰梯形，且第二修正板12的底端面与第一修正板10的底端面的距离为2
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3mm，第二修正板12上端面左侧设置有连接块17，第一修正板10上端面中部设置有传动装置，传动装置与连接块17连接，连接块17端面横向开设有与丝杆16相匹配的螺纹孔，且连接块17与丝杆16螺纹连接。请参阅图2，传动装置包括安装板13、立板14、驱动马达15和丝杆16，第一修正板10上端面右侧固定连接有安装板13，第一修正板10上端面左左侧中部固定连接有立板14，立板14左端面中部固定连接有驱动马达15，驱动马达15的输出轴贯穿延伸至立板14右侧并固定连接有丝杆16，丝杆16的末端贯穿连接块17并活动连接于安装板13的左端面，丝杆16的长度大于第二修正板12的长度，保证第二修正板12能够完全进入限位凹槽11内部，有效较小修正板的长度。请参阅图3，限位凹槽11与第二修正板12的截面均为梯形状，限位凹槽11与第二修正板12相匹配，保证第二修正板12能够在限位凹槽11内部左右滑动，且具有限位作用。请参阅图4，支撑装置8包括连接座81、电动伸缩杆82和连接件83，第一修正板10的下部横板下端面与连接盘5的右端面下部均固定连接有连接座81，连接座81内腔均活动连接有连接件83，连接件83的相对端面均为平面，且电动伸缩杆82的上下两端与连接件83焊接连接，保证电动伸缩杆82的稳定性，两组连接件83的相对端面活动连接有电动伸缩杆82。请参阅图1，第一修正板10呈阶梯状，第一修正板10的竖板左端面中部设置有橡胶垫，且橡胶垫左端面贴合支撑板6右端面，阶梯状的第一修正板10可以保证电动伸缩杆82正常伸缩，带动第一修正板10发生摆动，调节第一修正板10与待镀膜工件的距离，使第一修正板10处于最佳高度，以获得最佳的镀膜厚度均匀性。请参阅图1，连接盘5左端面外圈均匀开设有凹槽，凹槽内腔设置有滚珠9，滚珠9外壁与真空腔1内腔左端面相贴合，凹槽为弧形凹槽，滚珠9与凹槽相匹配，保证连接盘5可以在旋转的同时，具有支撑作用，保证修正板可以适合不同角度的镀膜工作，提高通用性本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.高性能镀膜修正板，其特征在于，包括：真空腔（1），所述真空腔（1）内腔底端面中部设置有蒸镀源（2），所述真空腔（1）内腔顶端面中部设置有镀膜伞架（3）；驱动电机（4），所述驱动电机（4）设置于真空腔（1）左端面中部，所述驱动电机（4）的电机轴末端贯穿延伸至真空腔（1）内腔并固定连接有连接盘（5），所述连接盘（5）右端面上部固定连接有支撑板（6），所述支撑板（6）下端面右侧设置有安装座（7），所述安装座（7）内腔活动连接有第一修正板（10），所述第一修正板（10）右侧设置有延伸装置，所述第一修正板（10）下端面设置于支撑装置（8），所述支撑装置（8）末端设置于连接盘（5）右端面下部。2.根据权利要求1所述的高性能镀膜修正板，其特征在于：所述延伸装置包括限位凹槽（11）、第二修正板（12）、连接块（17）和传动装置，所述第一修正板（10）的横板上端面右侧开设有限位凹槽（11），所述限位凹槽（11）内腔设置有第二修正板（12），所述第二修正板（12）上端面左侧设置有连接块（17），所述第一修正板（10）上端面中部设置有传动装置，所述传动装置与连接块（17）连接。3.根据权利要求2所述的高性能镀膜修正板，其特征在于：所述传动装置包括安装板（13）、立板（14）、驱动马达（15）和丝杆（16），所述第一修正板（10）上端面右侧固定连接有安装板（13），所述第一修正板（10）上端面左左侧中部固定连接有立...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔建栋，徐胜，黄坚，
申请(专利权)人：杰莱特苏州精密仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：