下载高性能镀膜修正板的技术资料

文档序号:37391153

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本发明公开了高性能镀膜修正板,包括真空腔和驱动电机,所述真空腔内腔底端面中部设置有蒸镀源,所述真空腔内腔顶端面中部设置有镀膜伞架,所述驱动电机设置于真空腔左端面中部,所述驱动电机的电机轴末端贯穿延伸至真空腔内腔并固定连接有连接盘,所述连接盘...
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