高性能离子源栅网制造技术

本发明专利技术公开了高性能离子源栅网，包括固定板、限位槽和螺纹孔，所述固定板上下端面外圈均设置有套环，上部所述套环外部套接有上框架，下部所述套环外部套接有下框架，所述上框架上端面和下框架的下端面均开设有限位槽，上部所述限位槽内部设置有加速装置，下部所述限位槽内部设置有减速装置，所述上框架与下框架外圈右侧中部均开设有螺纹孔，所述螺纹孔与限位槽相连通，所述螺纹孔内腔设置有锁紧件，该装置结构简单，操作方便，有效提高镀膜的精度。有效提高镀膜的精度。有效提高镀膜的精度。

【技术实现步骤摘要】
高性能离子源栅网


本专利技术涉及光学
，具体为高性能离子源栅网。

技术介绍

在镀膜过程中，由于镀膜而导致性能下降时，栅网将需要维护，多种膜料会以不同方式干扰每个的电气行为，从而导致最佳性能，定期进行翻新以延长电网寿命，多次保养后栅网将无法正常使用需要替换；这种现有技术方案在使用时还存在以下问题：1.采购价格昂贵，无法替代进口栅网使用；2.无法实现离子栅网系统的“变焦”功能，不便于更换；所以需要针对上述问题进行改进。

技术实现思路

本专利技术提供如下技术方案：本专利技术的目的在于提供高性能离子源栅网，以解决上述
技术介绍
提出的目前的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：高性能离子源栅网，包括：固定板，所述固定板上下端面外圈均设置有套环，上部所述套环外部套接有上框架，下部所述套环外部套接有下框架；限位槽，所述上框架上端面和下框架的下端面均开设有限位槽，上部所述限位槽内部设置有加速装置，下部所述限位槽内部设置有减速装置；螺纹孔，所述上框架与下框架外圈右侧中部均开设有螺纹孔，所述螺纹孔与限位槽相连通，所述螺纹孔内腔设置有锁紧件。优选的，所述固定板端面中部均匀开设有通孔，若干所述通孔构成屏栅网面 。优选的，上下所述套环与固定板上下端面一体成形，上下所述套环外壁均设置有外螺纹。优选的，所述限位槽的截面均为T字形状，且限位槽分别贯穿上框架和下框架的端面。优选的，所述加速装置为加速板，所述加速装置端面中部设置有栅网加速网面部分。优选的，所述减速板为减速板，所述减速装置端面中部设置有栅网减速网面部分。优选的，所述上框架和下框架均呈凹槽状，所述上框架和下框架内腔内壁均设置有内螺纹，所述内螺纹与外螺纹相匹配。优选的，所述限位槽内腔靠近屏栅网面一侧分别与加速装置和减速装置相匹配，所述锁紧件为锁紧螺栓，所述锁紧件末端均粘接有橡胶垫。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1.通过外螺纹、内螺纹、通孔、固定板、上框架、下框架、限位槽、加速装置、减速装
置、栅网加速网面部分和栅网减速网面部分，以螺纹连接形式将栅网集成化，从而简化栅网的安装步骤，增加离子栅网系统的集成度，螺纹连接方式可以保障栅网安装的定位精度，提高栅网的工作稳定性和对束流的控制能力，保证离子束流空间分布的稳定性和准确性，从而提升离子束加工的加工精度；2.通过限位槽、加速装置、减速装置、栅网加速网面部分、栅网减速网面部分、螺纹孔和锁紧件，通过将加速装置和减速装置放置于限位槽内腔，再利用锁紧件锁紧加速装置和减速装置的外壁，实现离子栅网系统的“变焦”功能，提高加工效率，保证加工精度。
附图说明
图1为本专利技术前视剖面结构示意图；图2为本专利技术固定板俯视结构示意图；图3为本专利技术上框架仰视结构示意图；图4为本专利技术下框架俯视结构示意图。图中：1、固定板；2、套环；3、上框架；4、下框架；5、限位槽；6、加速装置；7、减速装置；8、螺纹孔；9、锁紧件；10、外螺纹；11、通孔；12、内螺纹；13、栅网加速网面部分；14、栅网减速网面部分。
具体实施方式
下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1
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4，本专利技术提供一种技术方案：高性能离子源栅网，包括：固定板1，固定板1上下端面外圈均设置有套环2，上部套环2外部套接有上框架3，下部套环2外部套接有下框架4，固定板1上下端面外圈均粘接有橡胶垫，保证栅网中部密封性良好；限位槽5，上框架3上端面和下框架4的下端面均开设有限位槽5，上部限位槽5内部设置有加速装置6，下部限位槽5内部设置有减速装置7，加速装置6和减速装置7均为软支撑板，保证方便将加速装置6和减速装置7从限位槽5内部取出；螺纹孔8，上框架3与下框架4外圈右侧中部均开设有螺纹孔8，螺纹孔8与限位槽5相连通，螺纹孔8内腔设置有锁紧件9，锁紧件9与螺纹孔8相匹配。请参阅图2，固定板1端面中部均匀开设有通孔11，若干通孔11构成屏栅网面，通孔11呈六边形结构设置，保证光束子正常通过。请参阅图2，上下套环2与固定板1上下端面一体成形，上下套环2外壁均设置有外螺纹10，保证套环2与固定板1稳定连接，外螺纹10设置方便栅网集成一体。请参阅图1，限位槽5的截面均为T字形状，且限位槽5分别贯穿上框架3和下框架4的端面，T字形状的限位槽5可以保证加速装置6和减速装置7不会脱离，同时保证栅网加速网面部分13和栅网减速网面部分14能够直接对照光速子。请参阅图3，加速装置6为加速板，加速装置6端面中部设置有栅网加速网面部分
13，栅网加速网面部分13由七组开口直径较大的开口组成，保证能够加速光束子通过。请参阅图4，减速装置7为减速板，减速装置7端面中部设置有栅网减速网面部分14，栅网减速网面部分14通过若干通孔11组成，且通孔11的数量少于固定板1端面中部通孔，且栅网减速网面部分14端面的通孔11与固定板1端面的通孔11相对应，保证少数的光束子能够正常通过。请参阅图2、图3和图4，上框架3和下框架4均呈凹槽状，上框架3和下框架4内腔内壁均设置有内螺纹12，内螺纹12与外螺纹10相匹配，保证上框架3与上套环2螺纹连接，下框架4与下套环2螺纹连接，方便对栅网进行拆装，方便更换栅网加速网面部分13和栅网减速网面部分14。请参阅图1，限位槽5内腔靠近屏栅网面一侧分别与加速装置6和减速装置7相匹配，锁紧件9为锁紧螺栓，锁紧件9末端均粘接有橡胶垫，保证加速装置6和减速装置7不会脱离限位槽5内部，且锁紧件9能够稳定锁紧加速装置6和减速装置7，进一步提高镀膜的精度。工作原理：使用时，通过上部套环2与上框架3以及下部套环2与下框架4螺纹连接，保证上框架3、固定板1和下框架4组成一个整体，通过安装加速装置6和减速装置7，以螺纹连接形式将栅网集成化，从而简化栅网的安装步骤，增加离子栅网系统的集成度，螺纹连接方式可以保障栅网安装的定位精度，提高栅网的工作稳定性和对束流的控制能力，保证离子束流空间分布的稳定性和准确性，从而提升离子束加工的加工精度，当需要调节镀膜精度时，根据更换精度，将加速装置6或者减速装置7放置于限位槽5内腔，再利用锁紧件9锁紧加速装置6和减速装置7的外壁，实现离子栅网系统的“变焦”功能，提高加工效率，保证加工精度。尽管参照前述实施例对本专利技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本专利技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.高性能离子源栅网，其特征在于，包括：固定板（1），所述固定板（1）上下端面外圈均设置有套环（2），上部所述套环（2）外部套接有上框架（3），下部所述套环（2）外部套接有下框架（4）；限位槽（5），所述上框架（3）上端面和下框架（4）的下端面均开设有限位槽（5），上部所述限位槽（5）内部设置有加速装置（6），下部所述限位槽（5）内部设置有减速装置（7）；螺纹孔（8），所述上框架（3）与下框架（4）外圈右侧中部均开设有螺纹孔（8），所述螺纹孔（8）与限位槽（5）相连通，所述螺纹孔（8）内腔设置有锁紧件（9）。2.根据权利要求1所述的高性能离子源栅网，其特征在于：所述固定板（1）端面中部均匀开设有通孔（11），若干所述通孔（11）构成屏栅网面 。3.根据权利要求1所述的高性能离子源栅网，其特征在于：上下所述套环（2）与固定板（1）上下端面一体成形，上下所述套环（2）外壁均设置有外螺纹（10）。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔建栋，徐胜，黄坚，
申请(专利权)人：杰莱特苏州精密仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：