一种新型离子源射频中和器制造技术

本发明专利技术公开了一种新型离子源射频中和器，包括：箱体，箱体内设置有绝缘电离腔体，绝缘电离腔体设置在箱体的中部，绝缘电离腔体的一端设置有离子出射孔，绝缘电离腔体的另一端连接有电极接头，电极接头的末端连接有输气管，输气管上连接有充气腔，充气腔上连接有连接管，连接管上安装有控制阀，连接管的末端连接有储存箱；充气腔内设置有充气座、充气管和充气孔；电子发生装置由不锈钢外壳、钨丝和电子出射孔组成；所述钨丝连接有电源，钨丝设置在不锈钢外壳的内部，不锈钢外壳上连接有负电；冷却箱固定在箱体的外侧，冷却箱内放置有冷却管，冷却管外侧的冷却箱内填充有冷却液；该新型离子源射频中和器使用方便，并且提高了使用寿命。并且提高了使用寿命。并且提高了使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种新型离子源射频中和器


本专利技术涉及中和器
，具体为一种新型离子源射频中和器。

技术介绍

在现有镀膜设备中，大多数薄膜结构都对牢固度及附着力有要求，如果不达标，将会导致薄膜脱落等现象。为了改善该问题必须进行高能的宽束离子源的辅助沉积，而离子源对于中和要求极其严格，若中和不好将会导致真空环境打火，离子斥力加强，而影响薄膜的基本及外观结构，传统的电子中和方式有热阴极中和器、空心阴极中和器、化合物中和器，但这几种在污染及使用成本方面也是有一定的弊端。因此射频离子源中和器及在这几方面有了很大的改善与性能提升。 现有射频离子源中和器主要由保持极、射频线圈、陶瓷杯、电极（亦称电子发射电极）、充气座、电极接头等所构成，但现有结构的电子发射电极为杯状体，且为单一缺口结构，由于采用单一缺口的结构，存在射频能量利用率低，从而导致离化效率低的不足之处。这种现有技术方案在使用时还存在以下问题：1.控制精度低；2.使用寿命短；所以需要针对上述问题进行改进。

技术实现思路

本专利技术提供如下技术方案：本专利技术的目的在于提供一种新型离子源射频中和器，以解决上述
技术介绍
提出的目前市场上的新型离子源射频中和器存在许多缺陷，控制精度低、使用寿命短的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种新型离子源射频中和器，包括：箱体，箱体内设置有绝缘电离腔体，绝缘电离腔体设置在箱体的中部，绝缘电离腔体的一端设置有离子出射孔，绝缘电离腔体的另一端连接有电极接头，电极接头的末端连接有输气管，输气管上连接有充气腔，充气腔上连接有连接管，连接管上安装有控制阀，连接管的末端连接有储存箱，储存箱内储存有惰性气体；充气腔，充气腔内设置有充气座、充气管和充气孔，充气座固定在充气腔内，充气管垂直连接在充气座的一侧，充气管深入到绝缘电离腔体内，充气管的末端设置有充气孔，充气孔设置在绝缘电离腔体内；电子发生装置，电子发生装置由不锈钢外壳、钨丝和电子出射孔组成；所述钨丝连接有电源，钨丝设置在不锈钢外壳的内部，不锈钢外壳上连接有负电；冷却箱，冷却箱固定在箱体的外侧，冷却箱内放置有冷却管，冷却管外侧的冷却箱内填充有冷却液。优选的，所述离子出射孔呈喇叭状固定在箱体上，离子出射孔的外侧设置有电子发生装置，电子发生装置的另一端设置有基片。
优选的，所述绝缘电离腔体采用陶瓷材料制作而成，绝缘电离腔体呈杯状。优选的，所述绝缘电离腔体的外侧设置有射频线圈，射频线圈缠绕在绝缘电离腔体的外侧。优选的，所述电子发生装置共有两组，分别设置在离子出射孔的两侧。优选的，所述不锈钢外壳上设置有电子出射孔，电子出射孔朝向离子出射孔的一侧。优选的，所述冷却管为螺旋状的铜管。优选的，所述冷却管的上端连接有排水管，冷却管的下端设置有进水管，并与低温水源连接。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：该新型离子源射频中和器内设置有储存箱，能储存惰性气体，便于中和器的使用； 离子出射孔的两侧设置有电子发生器，电子发生器会释放电子，起到中和离子源的作用，增加了控制精度；箱体的外侧设置有冷却箱，冷却箱能使用冷水将箱体表面的温度降低，避免了高温影响中和器的使用寿命；该新型离子源射频中和器使用方便，并且提高了使用寿命。1.设置有电子发生器，电子发生器会释放电子，起到中和离子源的作用，增加了控制精度。2.设置有冷却箱，冷却箱能使用冷水将箱体表面的温度降低，避免了高温影响中和器的使用寿命，进而提高了使用寿命。
附图说明
图1为本专利技术前视剖面结构示意图；图2为本专利技术中充气腔的结构示意图；图3为本专利技术中电子发生装置的结构示意图；图4为本专利技术中冷却箱的结构示意图。图中：1、箱体；2、电极接头；3、绝缘电离腔体；4、射频线圈；5、冷却箱；6、离子出射孔；7、基片；8、电子发生装置；9、输气管；10、充气腔；11、连接管；12、控制阀；13、储存箱；14、充气座；15、充气管；16、充气孔；17、不锈钢外壳；18、钨丝；19、电子出射孔；20、冷却液；21、出水管；22、冷却管；23、进水管。
具体实施方式
下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1
‑
4，本专利技术提供一种技术方案：一种新型离子源射频中和器，包括：箱体1，箱体1内设置有绝缘电离腔体3，绝缘电离腔体3设置在箱体1的中部，绝缘电离腔体3的一端设置有离子出射孔6，绝缘电离腔体3的另一端连接有电极接头2，电极接头2的末端连接有输气管9，输气管9上连接有充气腔10，充气腔10上连接有连接管11，连接管11上安装有控制阀12，连接管11的末端连接有储存箱13，储存箱13内储存有惰性气体，控
制阀12用于控制储存箱13的开关；所述离子出射孔6呈喇叭状固定在箱体1上，离子出射孔6的外侧设置有电子发生装置8，电子发生装置8的另一端设置有基片7；所述绝缘电离腔体3采用陶瓷材料制作而成，绝缘电离腔体3呈杯状，具有良好的绝缘性能，绝缘电离腔体3的外侧设置有射频线圈4，射频线圈4缠绕在绝缘电离腔体3的外侧；充气腔10，充气腔10内设置有充气座14、充气管15和充气孔16，充气座14固定在充气腔10内，充气管15垂直连接在充气座14的一侧，充气管15深入到绝缘电离腔体3内，充气管15的末端设置有充气孔16，充气孔16设置在绝缘电离腔体3内，用于向绝缘电离腔体3内充气；电子发生装置8，电子发生装置8由不锈钢外壳17、钨丝18和电子出射孔19组成，电子发生装置8共有两组，分别设置在离子出射孔6的两侧；所述钨丝18连接有电源，钨丝18设置在不锈钢外壳17的内部，不锈钢外壳17上连接有负电，不锈钢外壳17上设置有电子出射孔19，电子出射孔19朝向离子出射孔6的一侧；冷却箱5，冷却箱5固定在箱体1的外侧，冷却箱5内放置有冷却管22，冷却管22外侧的冷却箱5内填充有冷却液20，用于增加冷却速率；所述冷却管22为螺旋状的铜管，冷却管22的上端连接有排水管，冷却管22的下端设置有进水管23，并与低温水源连接，用于增加冷却效果。参阅图1，2，3,4可知，箱体1用于支撑离子源射频中和器，射频线圈4会计划电离，进而产生离子；冷却箱5能对箱体1进行降温，增加了箱体1的效率和使用寿命。工作原理：在使用该新型离子源射频中和器时，电源给射频线圈4接入高频能量，射频线圈4产生震荡使绝缘电离腔体3内充入惰性气体激化电离，充气座14给绝缘电离腔体3内充入惰性气体，使绝缘电离腔体3内产生离子，其初始条件下为等离子体状态，其后给电极通以负电场，使离子轰击电极表面达到产生电子目的；冷却箱5，用于降低箱体1的温度，进而增加箱体1和中和器的使用寿命；电子发生器会释放电子，起到中和离子源的作用。尽管参照前述实施例对本专利技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本专利技术的精神和原则之内，所作的任何本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型离子源射频中和器，其特征在于，包括：箱体（1），箱体（1）内设置有绝缘电离腔体（3），绝缘电离腔体（3）设置在箱体（1）的中部，绝缘电离腔体（3）的一端设置有离子出射孔（6），绝缘电离腔体（3）的另一端连接有电极接头（2），电极接头（2）的末端连接有输气管（9），输气管（9）上连接有充气腔（10），充气腔（10）上连接有连接管（11），连接管（11）上安装有控制阀（12），连接管（11）的末端连接有储存箱（13），储存箱（13）内储存有惰性气体；充气腔（10），充气腔（10）内设置有充气座（14）、充气管（15）和充气孔（16），充气座（14）固定在充气腔（10）内，充气管（15）垂直连接在充气座（14）的一侧，充气管（15）深入到绝缘电离腔体（3）内，充气管（15）的末端设置有充气孔（16），充气孔（16）设置在绝缘电离腔体（3）内；电子发生装置（8），电子发生装置（8）由不锈钢外壳（17）、钨丝（18）和电子出射孔（19）组成；所述钨丝（18）连接有电源，钨丝（18）设置在不锈钢外壳（17）的内部，不锈钢外壳（17）上连接有负电；冷却箱（5），冷却箱（5）固定在箱体（1）的外侧，冷却箱（5）内放置有冷却管（22），冷却管（22）外侧的冷却箱（...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔建栋，徐胜，黄坚，
申请(专利权)人：杰莱特苏州精密仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：