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本发明公开了一种新型离子源射频中和器，包括：箱体，箱体内设置有绝缘电离腔体，绝缘电离腔体设置在箱体的中部，绝缘电离腔体的一端设置有离子出射孔，绝缘电离腔体的另一端连接有电极接头，电极接头的末端连接有输气管，输气管上连接有充气腔，充气腔上连接...
该专利属于杰莱特（苏州）精密仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杰莱特（苏州）精密仪器有限公司授权不得商用。

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