本实用新型专利技术涉及一种高稳定性能离子原栅网装置，包括：栅网套筒，所述栅网套筒内从下到上依次设有屏栅、加速栅以及减速栅；承载于所述栅网套筒用于调节栅网间距的调节机构，所述调节机构包括：开设于所述栅网套筒上下两侧的升降槽、嵌设于所述升降槽侧壁的轴承、位于所述升降槽且设于所述轴承内圈的螺纹杆、以及套设于所述螺纹杆的螺纹套；以及，一端连接于所述螺纹套且另一端连接于所述屏栅与减速栅的固定组件。通过上述设置，能够控制屏栅和减速栅上下运动，由于屏栅和减速栅位于加速栅的两侧，所以通过调节屏栅和减速栅上下运动能够控制三组栅网之间的间距。制三组栅网之间的间距。制三组栅网之间的间距。
【技术实现步骤摘要】
一种高稳定性能离子原栅网装置
[0001]本技术涉及离子栅网
，特别涉及一种高稳定性能离子原栅网装置。
技术介绍
[0002]离子栅网系统是将离子束流从放电室拔出的主要装置。栅网是离子源中用于束流引出及修形的装置，利用石墨或钼制成网状电极，位于离子源出口的前端，通过改变栅网的几何特征、相对位置以及控制栅网上的电势分布，可以将离子束流由离子源放电室中引出，并使其具有一定的空间浓度及空间分布形状，离子栅网系统中的栅网一般为三栅式结构，分别包括屏栅、加速栅和减速栅，其中屏栅相距等离子体最近，减速栅相距等离子体最远。传统的离子栅网安装完成后间距不能改变，导致工作距离和工作性能无法改变。
技术实现思路
[0003]为解决上述技术问题，本技术提供了一种高稳定性能离子原栅网装置，具有能够改变各个栅网之间间距的优点，提高了对离子束流的控制能力。
[0004]为达到上述目的，本技术的技术方案如下：
[0005]一种高稳定性能离子原栅网装置，包括：
[0006]栅网套筒，所述栅网套筒内从下到上依次设有屏栅、加速栅以及减速栅；
[0007]承载于所述栅网套筒用于调节栅网间距的调节机构，所述调节机构包括：开设于所述栅网套筒上下两侧的升降槽、嵌设于所述升降槽侧壁的轴承、位于所述升降槽且设于所述轴承内圈的螺纹杆、以及套设于所述螺纹杆的螺纹套；以及，
[0008]一端连接于所述螺纹套且另一端连接于所述屏栅与减速栅的固定组件。
[0009]实现上述技术方案，通过转动螺纹杆，螺纹杆通过轴承与栅网套筒相对转动并与螺纹套配合形成螺纹传动，从而带动螺纹套上下运动，轴承的数量为两个，从而能够控制屏栅和减速栅上下运动，由于屏栅和减速栅位于加速栅的两侧，所以通过调节屏栅和减速栅上下运动能够控制三组栅网之间的间距。
[0010]作为本技术的一种优选方案，所述固定组件包括：设置于各个栅网外周的固定托、开设于所述屏栅和所述减速栅外周的所述固定托的固定通槽、设置于所述固定通槽的固定销、以及一端连接于所述固定销且另一端连接于所述螺纹套的拉紧组件。
[0011]实现上述技术方案，将固定销穿过固定通槽并插接在拉紧组件上，拉紧组件将固定销向两侧拉动从而固定栅网，实现了快速安装屏栅和离子栅，增加了更换效率。
[0012]作为本技术的一种优选方案，所述拉紧组件包括：固定连接于所述螺纹套的固定套筒、活动连接于所述固定套筒内腔的滑块、连接于所述滑块的拉杆、套设于所述拉杆的弹簧、以及连接于所述拉杆远离所述滑块一端的固定座，所述固定销插接于所述固定座，所述弹簧的一端抵接于所述滑块且另一端抵接于所述套筒。
[0013]实现上述技术方案，安装时栅网时，拉动拉杆至通槽的下方，弹簧收尾并抵紧滑块，之后将固定销插接于固定座，弹簧的复位力使拉杆带动固定销抵紧固定通槽的侧壁，使
的栅网不易脱落；拆卸栅网时向上拔起插销，就能取出栅网，极大了增加了工作效率。
[0014]所述固定销开设有卡槽，所述固定座设置有与所述卡槽相适配的卡凸。
[0015]实现上述技术方案，固定销插接在固定座时不易松动和脱落，增加了稳定性。
[0016]作为本技术的一种优选方案，所述栅网套筒的内壁设置有台沿，所述台沿设置有紧固螺栓，所述加速栅通过所述紧固螺栓连接于所述台沿。
[0017]作为本技术的一种优选方案，所述升降槽内嵌设有两个轴承，所述螺纹杆固定连接于两个所述轴承的内圈。
[0018]实现上述技术方案，螺纹杆转动时更加稳定。
[0019]作为本技术的一种优选方案，所述固定通槽的形状为矩形，所述固定通槽的宽度至少为所述固定销的两倍。
[0020]实现上述技术方案，便于固定销插入固定通槽。
[0021]作为本技术的一种优选方案，所述螺纹的位于所述升降槽的内部，所述螺纹杆远离轴承的一端不高于所述升降槽的开口。
[0022]实现上述技术方案，正常使用时不会误触螺纹杆转动，增加了装置的可靠性，使用内六角扳手能够转动螺纹杆。
[0023]综上所述，本技术具有如下有益效果：
[0024]本技术通过提供一种高稳定性能离子原栅网装置，通过转动螺纹杆，螺纹杆通过轴承与栅网套筒相对转动并与螺纹套配合形成螺纹传动，从而带动螺纹套上下运动，轴承的数量为两个，从而能够控制屏栅和减速栅上下运动，由于屏栅和减速栅位于加速栅的两侧，所以通过调节屏栅和减速栅上下运动能够控制三组栅网之间的间距，安装时栅网时，拉动拉杆至通槽的下方，弹簧收尾并抵紧滑块，之后将固定销插接于固定座，弹簧的复位力使拉杆带动固定销抵紧固定通槽的侧壁，使得栅网不易脱落，拆卸栅网时向上拔起插销，就能取出栅网，极大了增加了工作效率。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1为本技术的结构示意图。
[0027]图2为本技术图1中A处的放大图。
[0028]图中数字和字母所表示的相应部件名称：
[0029]1、栅网套筒；2、升降槽；3、轴承；4、螺纹杆；5、螺纹套；6、减速栅；7、加速栅；8、屏栅；9、固定托；10、固定通槽；11、固定销；12、固定套筒；13、滑块；14、弹簧；15、拉杆；16、固定座；17、卡凸；18、卡槽；19、台沿；20、紧固螺栓。
具体实施方式
[0030]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的
实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0031]实施例
[0032]如图1至2所示，一种高稳定性能离子原栅网装置，包括：栅网套筒1，栅网套筒1内从下到上依次设有屏栅8、加速栅7以及减速栅6；承载于栅网套筒1用于调节栅网间距的调节机构；以及，一端连接于螺纹套5且另一端连接于屏栅8与减速栅6的固定组件。
[0033]具体的，调节机构包括：开设于栅网套筒1上下两侧的升降槽2、嵌设于升降槽2侧壁的轴承3、位于升降槽2且设于轴承3内圈的螺纹杆4、以及套设于螺纹杆4的螺纹套5；固定组件包括：设置于各个栅网外周的固定托9、开设于屏栅8和减速栅6外周的固定托9的固定通槽10、设置于固定通槽10的固定销11、以及一端连接于固定销11且另一端连接于螺纹套5的拉紧组件，将固定销11穿过固定通槽10并插接在拉紧组件上，拉紧组件将固定销11向两侧拉动从而固定栅网，实现了快速安装屏栅8和离子栅，增加了更换效率。
[0034]其中本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高稳定性能离子原栅网装置，其特征在于，包括：栅网套筒，所述栅网套筒内从下到上依次设有屏栅、加速栅以及减速栅；承载于所述栅网套筒用于调节栅网间距的调节机构，所述调节机构包括：开设于所述栅网套筒上下两侧的升降槽、嵌设于所述升降槽侧壁的轴承、位于所述升降槽且设于所述轴承内圈的螺纹杆、以及套设于所述螺纹杆的螺纹套；以及，一端连接于所述螺纹套且另一端连接于所述屏栅与减速栅的固定组件。2.根据权利要求1所述的一种高稳定性能离子原栅网装置，其特征在于，所述固定组件包括：设置于各个栅网外周的固定托、开设于所述屏栅和所述减速栅外周的所述固定托的固定通槽、设置于所述固定通槽的固定销、以及一端连接于所述固定销且另一端连接于所述螺纹套的拉紧组件。3.根据权利要求2所述的一种高稳定性能离子原栅网装置，其特征在于，所述拉紧组件包括：固定连接于所述螺纹套的固定套筒、活动连接于所述固定套筒内腔的滑块、连接于所述滑块的拉杆、套设于所述拉杆的弹簧、以及...
【专利技术属性】
技术研发人员：乔建栋，徐胜，黄坚，
申请(专利权)人：杰莱特苏州精密仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。