本发明公开了石英舟用于半导体器件制程设备，包括支撑结构、一对调节装置和多根槽棒，一对调节装置固定连接于支撑结构两侧，多个槽棒传动连接于一对调节装置；调节装置包括固定连接的限位组件一和限位组件二，限位组件一与支撑结构固定连接；限位组件一包...

本发明涉及晶体材料制备领域，具体是涉及一种石英熔接辅助装置，包括熔接装置和辅助部件；推料装置设置在熔接装置的一侧，推料装置与熔接装置之间存有空隙；升降装置设置在空隙内；传动装置设置在推料装置和升降装置之间；转动装置设置在升降装置的上方，...

本发明公开了一种石英舟热处理装置，属于半导体加工。一种石英舟热处理装置，包括加热室、用于承载晶圆的石英舟、用于加热石英舟与晶圆的加热机构；所述石英舟包括连接件、两个对称设置的转动安装在连接件上的转动半体；所述转动半体上等间距设置有卡槽；...

本发明公开了用于半导体制造过程中石英舟转移设备，属于半导体领域。用于半导体制造过程中石英舟转移设备，包括设置在第一工位与第二工位之间的安装架、设置在安装架上的转移机构和夹持机构；所述夹持机构包括纵向滑动在安装架上的夹持架、设置在夹持架上...

本发明公开了一种石英舟切割装置，属于切割设备技术领域。一种石英舟切割装置，包括废水处理组件；废水处理组件固定设置于切割工作台下方，切割工作台的台面呈栅格设置，以连通切割工作台上表面和设置于切割工作台下方废水处理组件设置的进料口；废水处理...

本技术公开的一种石英机械手卧式假接治具包括：固定座，固定座的两侧均固定设置有背板定位件，背板定位件底部一体成型有背板定位块，固定座远离背板定位块的一面底部均匀分布有多个槽棒定位块一，固定座的一面设有多个与槽棒定位块一相适配的固定块，使用...

本技术公开的一种石英板倒角加工设备及工装，包括加工台；用于对石英板倒角加工的加工机构，加工机构包括安装于加工台上的伺服电机，伺服电机的输出轴上安装有驱动轴，驱动轴上安装有切割盘；用于对石英板固定和移动的固定机构，固定机构包括安装于加工台...

本技术涉及石英舟的打磨技术领域，公开一种石英舟研磨倒边机，包括：机架；PP板，其固定安装在机架的顶部；槽缸，其固定安装在机架上，且PP板在槽缸的上方设置有开口部；驱动件，其安装在机架内的一侧；旋转件，其安装在机架内的另一侧，旋转件的一端...

本技术公开的一种石英舟槽棒开槽的固定工装，包括长条形基座、密封圈以及吸真空连接组件，长条形基座的上部开设有工装槽，工装槽的槽底上居中开设有密封圈安装槽。本技术提供的石英舟槽棒开槽的固定工装，在使用时，将石英舟槽棒放置在工装槽的内部，且石...

本实用新型公开的一种硅片扩散用石英舟清洗装置，包括底板，所述底板上表面中心处固定连接有驱动电机，所述驱动电机输出端固定连接有转杆，所述转杆上端固定连接有上端呈开口状设置的清洗箱，本实用新型通过连接杆在不接触石英舟的情况下降限位箱和石英舟...

本实用新型公开的一种石英舟拖假接治具，包括底板，底板顶部的两侧分别安装有第一侧板定位块和第二侧板定位块，底板的顶部且对应第一侧板定位块和第二侧板定位块的位置均安装有中心定位块底座，中心定位块底座上安装有中心定位块，底板的顶部安装有对称设...

本实用新型涉及石英产品假接治具技术领域，公开的一种石英机械手立式假接治具包括：定位底板；定位立板，其一侧开设有能够便于石英机械手工件卡接固定的定位槽；上固定块；上夹紧板，其可拆卸的安装在所述定位立板和上固定块之间的顶部上；侧夹紧板，其横...

本实用新型公开的一种扩散炉的石英炉管结构，包括用于半导体加工中对硅片进行高温扩散的炉管主体，其表面设有用于支撑的基座，基座内壁面的两侧均设有用于驱动炉管主体转动的驱动组件，基座上设有能够对驱动组件进行导向的限位组件，基座的外表面设有用于...

本实用新型涉及石英舟加工装置技术领域，公开的一种石英舟开槽装置，包括工作台，工作台的顶壁开设有固定槽一和固定槽二，固定槽一的上端设置有移动组件；移动组件包括丝杆一、正反转电机一、丝杆二、正反转电机二。本实用新型通过设置丝杆二、正反转电机...

本实用新型涉及石英舟技术领域，公开的一种具有耐高温功能的石英舟托，包括前挡板和后挡板，前挡板和后挡板的表面分别开设有透气孔，前挡板和后挡板的外侧上端加工有前端板和后端板，前挡板和后挡板之间设置有石英舟本体，石英舟本体的上端连接有第一耐热...

本实用新型公开的一种石英清洗槽，包括用于储存清洗液的储液组件，其内部对称设有两个用于承载硅片的承载组件，储液组件的一侧设有用于带动两个承载组件同步水平往复晃动的晃动组件；晃动组件包括设于储液组件一侧上部的外壳，外壳的内腔设有位移件，位移...

本发明涉及石英熔接加工领域，具体是涉及一种石英熔接辅助设备，包括多角度定位摆放石英管和支管的多角度辅助定位装置，多角度辅助定位装置包括定位夹持石英管的三爪卡盘，三爪卡盘的外侧设有多角度安装盘，多角度安装盘的调节端上均安装有管道推送装置，...

本实用新型公开的一种具有限位结构的石英舟包括盒体，盒体的上表面开设有收纳槽，盒体的外侧壁上开设有四个螺纹槽，四个螺纹槽内均螺纹连接有螺纹杆，四根螺纹杆的其中一端均贯穿延伸至盒体外，四根螺纹杆位于盒体外的一端均固定连接有固定板，且四根螺纹...

本发明公开了一种用于石英熔接定位的控制系统，包括PLC控制器、顶板、夹持系统、电动伸缩杆、连接系统；顶板的侧面开设有主滑槽，在顶板上开设有副滑槽，主滑槽内滑动有主滑块，副滑槽内滑动有副滑块，主滑块、副滑块上均固定有夹持系统；连接系统包括...

本发明公开了一种高纯石英酸性废水净化器，属于废水处理技术领域，包括箱体，箱体的内部设置有防护内胆，箱体的上表面一端设置有注水管，箱体的上表面另一端设置有投料管，箱体的底部设置有排污管，箱体的下表面设置有排水管，所述箱体的内部设置有导流罩...