本实用新型专利技术公开的一种硅片扩散用石英舟清洗装置，包括底板，所述底板上表面中心处固定连接有驱动电机，所述驱动电机输出端固定连接有转杆，所述转杆上端固定连接有上端呈开口状设置的清洗箱，本实用新型专利技术通过连接杆在不接触石英舟的情况下降限位箱和石英舟放置在清洗箱内部，避免在清洗后取出接触受伤，驱动电机和转杆带动清洗箱转动增加药液和石英舟的接触效率，增加反应效率，便于后期清理，空心管和若干根加压管可以将注入的气体进行加压排除形成密集气泡增加液体和石英舟之间相互反应摩擦，增加清洗效率，在后期内部药液排除后通过离心力将石英舟上残留药液甩出，避免形成痕迹，清洗方便。清洗方便。清洗方便。
【技术实现步骤摘要】
一种硅片扩散用石英舟清洗装置
[0001]本技术涉及石英舟清洗装置，尤其涉及一种硅片扩散用石英舟清洗装置，属于石英产品生产设备
技术介绍
[0002]随着社会的发展，能源短缺问题已经成为不可逃避的话题。太阳能电池作为当下最清洁的能源之一，被日益关注。太阳能电池生产过程中重要的工序就是扩散工序，扩散工序是晶体硅太阳能电池制造过程中形成P
‑
N结的工序，该工序扩散需要用到石英舟工装，石英舟用于装载硅片在扩散炉中进行扩散。长期的使用石英舟会导致其表面沉积五氧化二磷，其会与空气中的水分反应生成偏磷酸，并在石英舟的卡槽中积累；而偏磷酸会在扩散时腐蚀硅片，在硅片表面形成卡槽印，污染硅片，这就会导致最终扩散后的电池片的效率降低。
[0003]目前扩散石英舟清洗方式都是平放清洗，所采用的方式都是通过鼓泡方式带动药液清洗石英舟，清洗完成用水洗加喷淋的方式去除石英舟上所留酸性液体，最后用氮气吹扫石英舟，但是，清洗过程中无法容易残留酸性液体在石英舟表面，同时目前使用药液清洗石英舟的时候都是将石英舟静止从而进行清洗，清洗不完全，导致药液清洗的时候不会流动，从而会降低药液清洗的效率。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片扩散用石英舟清洗装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0006]一种硅片扩散用石英舟清洗装置，包括底板，所述底板上表面中心处固定连接有驱动电机，所述驱动电机输出端固定连接有转杆，所述转杆上端固定连接有上端呈开口状设置的清洗箱，所述清洗箱两侧内壁开设有两个呈对称设置的T形槽，且两个所述T形槽上端贯穿清洗箱两侧上表面，两个所述T形槽内均滑动连接有T形块，两个所述T形块相向一侧延伸至清洗箱内部并固定连接有两个呈U形设置的限位箱，两个所述限位箱靠近下端位置的两侧侧壁贯穿开设有四个呈对称设置的螺纹孔，且所述清洗箱两侧靠近下端位置的内箱壁开设有四个相对应的螺纹槽，四个所述螺纹槽和四个螺纹孔共同螺纹连接有四根螺杆，所述清洗箱内部底端中心处固定连接与空心管，所述空心管两侧固定连接有若干根加压管。
[0007]作为本技术的优选方案，所述底板上端开设有环形槽，所述环形槽两侧内部滑动连接有两根滑杆，且两根所述滑杆上端延伸至环形槽外并固定连接在清洗箱下表面两侧。
[0008]作为本技术的优选方案，两个所述T形块上表面均固定连接有两根连接杆。
[0009]作为本技术的优选方案，所述底板下表面两侧固定连接有四个呈对称设置的
支脚。
[0010]相比于现有技术，本技术提出的一种硅片扩散用石英舟清洗装置，有益效果在于：通过设置连接杆方便将T形槽滑动连接在T形块内部，从而可以在不接触石英舟的情况下降限位箱和石英舟放置在清洗箱内部，避免在清洗后取出接触受伤，同时通过驱动电机和转杆带动清洗箱转动增加药液和石英舟的接触效率，增加反应效率，便于后期清理，而且通过空心管和若干根加压管可以将注入的气体进行加压排除形成密集气泡增加液体和石英舟之间相互反应摩擦，增加清洗效率，而且在后期内部药液排除后通过离心力将石英舟上残留药液甩出，避免形成痕迹，清洗方便。
附图说明
[0011]为了更清楚地说明本专利技术创造实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术创造的实施例个案，对本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0012]图1为本技术实施例的正视结构示意图；
[0013]图2为本技术实施例的俯视结构示意图；
[0014]图3为本技术实施例的侧视结构示意图；
[0015]图4为本技术实施例的侧面剖视结构示意图；
[0016]图5为本技术实施例的T型块和限位箱的结构示意图。
[0017]附图标记：底板1、驱动电机2、转杆3、清洗箱4、T形槽5、T形块6、限位箱7、螺纹孔8、螺纹槽9、螺杆10、空心管11、加压管12、环形槽13、滑杆14、支脚15、连接杆16。
具体实施方式
[0018]为了使本专利技术创造实施例的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术创造实施例行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本专利技术创造，并不用于限定本专利技术创造。
[0019]在本专利技术创造实施例的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术创造实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术创造实施例的限制。
[0020]在本专利技术创造实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，一体连接，也可以是可拆卸连接；可以是两个元件内部的连通；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术创造实施例中的具体含义。
[0021]参见图1
‑
5所示，本技术实施例一种硅片扩散用石英舟清洗装置包括底板1，底板1上表面中心处固定连接有驱动电机2，驱动电机2输出端固定连接有转杆3，转杆3上端固定连接有上端呈开口状设置的清洗箱4，清洗箱4两侧内壁开设有两个呈对称设置的T形槽5，且两个T形槽5上端贯穿清洗箱4两侧上表面，两个T形槽5内均滑动连接有T形块6，两个
T形块6相向一侧延伸至清洗箱4内部并固定连接有两个呈U形设置的限位箱7，两个限位箱7靠近下端位置的两侧侧壁贯穿开设有四个呈对称设置的螺纹孔8。
[0022]参见图3
‑
4所示，清洗箱4两侧靠近下端位置的内箱壁开设有四个相对应的螺纹槽9，四个螺纹槽9和四个螺纹孔8共同螺纹连接有四根螺杆10，清洗箱4内部底端中心处固定连接与空心管11，空心管11两侧固定连接有若干根加压管12。
[0023]参见图2所示，底板1上端开设有环形槽13，环形槽13两侧内部滑动连接有两根滑杆14，且两根滑杆14上端延伸至环形槽13外并固定连接在清洗箱4下表面两侧，有利于通过清洗箱4转动的时候带动滑杆14在环形槽13内部转动，从而增加清洗箱4的整体转动稳定性。
[0024]两个T形块6上表面均固定连接有两根连接杆16，有利于通过四根连接杆16方便无接触石英舟将T形块6快速安装在T形槽5内部，便于后续对石英舟进行清洗。
[0025]底板1下表面两侧固定连接有四个呈对称设置的支脚15，有利于通过四个支脚15增加装置的整体支撑稳定性。
[0026]需要对石英舟进行清理的时候，若干根连接杆16带动T形块6下降滑动连接在两个T形槽5内，随着T形块6在T形槽5内部下降会同步带动限本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅片扩散用石英舟清洗装置，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)上表面中心处固定连接有驱动电机(2)，所述驱动电机(2)输出端固定连接有转杆(3)，所述转杆(3)上端固定连接有上端呈开口状设置的清洗箱(4)，所述清洗箱(4)两侧内壁开设有两个呈对称设置的T形槽(5)，且两个所述T形槽(5)上端贯穿清洗箱(4)两侧上表面，两个所述T形槽(5)内均滑动连接有T形块(6)，两个所述T形块(6)相向一侧延伸至清洗箱(4)内部并固定连接有两个呈U形设置的限位箱(7)，两个所述限位箱(7)靠近下端位置的两侧侧壁贯穿开设有四个呈对称设置的螺纹孔(8)，且所述清洗箱(4)两侧靠近下端位置的内箱壁开设有四个相对应的螺纹槽(9)，四个所述螺纹槽(9)和四个螺纹...
【专利技术属性】
技术研发人员：兰锋，王飞华，黎志，刘建东，
申请(专利权)人：浙江泓芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。