【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体加工，更具体地说，涉及一种石英舟热处理装置。
技术介绍
1、石英舟常用于承载晶圆，其耐高温的特性适合进行热处理。石英舟上具有放置晶圆的卡槽，晶圆排列在石英舟上时，分布紧密，间距较小。在热处理过程中，热量在进入两个晶圆之间时会受到阻碍。若晶圆在石英舟上过于稀疏，则石英舟难以放置较多的晶圆，影响工作效率。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题在于提供一种石英舟热处理装置，它可以实现增大晶圆之间的间隔，提高热处理效率。
2、本专利技术的一种石英舟热处理装置，包括加热室、用于承载晶圆的石英舟、用于加热石英舟与晶圆的加热机构；所述石英舟包括连接件、两个对称设置的转动安装在连接件上的转动半体；所述转动半体上等间距设置有卡槽；两个转动半体运动至相互靠近的位置时，石英舟上的各个晶圆同轴排列，此时石英舟上相邻的两个晶圆的间隔为第一距离；两个转动半体分离后，石英舟上相邻的两个晶圆位于不同的转动半体上。
3、作为本专利技术的进一步改进，所述加热机构包括固定在加热室内的侧板、两个对称滑动在侧板上的用于抵紧晶圆的夹持杆。
4、所述侧板上设置有两个分别与夹持杆滑动的轨道；所述轨道包括与竖直设置的纵向滑槽、与纵向滑槽连通的呈圆弧形的弧形槽。
5、当夹持杆位于弧形槽内时，夹持杆与晶圆抵紧，并带动晶圆与转动半体转动。
6、作为本专利技术的进一步改进，所述夹持杆侧壁等距设置有多组容槽；所述容槽包括用于抵紧晶圆侧壁的夹持槽、不与晶圆
7、作为本专利技术的进一步改进，所述加热机构还包括纵向滑动在侧板上的滑动架、与滑动架固定连接的加热架；各个所述夹持杆沿水平方向滑动连接在滑动架上；所述加热架下端均匀安装有多个加热板。
8、作为本专利技术的进一步改进，所述加热板侧壁设置有用于向转动半体方向推动晶圆的弹性推片。
9、作为本专利技术的进一步改进，所述转动半体上设置有限转槽；所述连接件上纵向滑动连接有能够与限转槽插接进而阻止转动半体转动的限位插板；所述加热室内位于加热机构下方安装有驱动限位插板与限转槽分离的抬升架。
10、作为本专利技术的进一步改进，所述加热室内位于石英舟下方转动连接有两个带动石英舟运动的进给螺杆；所述连接件下端设置有与进给螺杆配合的呈半圆形的螺纹套。
11、作为本专利技术的进一步改进，所述加热室内安装有驱动机构；所述驱动机构包括电机、沿轴线滑动连接在电机的输出轴上的驱动齿轮。
12、当驱动齿轮位于第一位置时，驱动齿轮与进给螺杆传动连接；当驱动齿轮位于第二位置时，驱动赤露与加热齿轮啮合，驱动齿轮带动夹持杆运动。
13、作为本专利技术的进一步改进，所述加热室一侧安装有进料门板，另一侧安装有出料门板；所述驱动机构还包括用于带动驱动齿轮移动的切换板；所述切换板与加热室之间设置有驱动切换板与出料门板相抵的弹簧。
14、相比于现有技术，本专利技术的有益效果在于：本方案两个转动半体分离，使奇数位和偶数位的晶圆位于不同的转动半体上，增大晶圆之间的间距，让热量更加方便的进入各个晶圆之间，提高晶圆热处理的效率，并且本方案通过将加热板直接插入各个晶圆之间，直接对晶圆表面进行热处理，提高效率。
15、本方案通过控制滑动架移动，使得夹持杆可以与晶圆抵紧，并带动晶圆移动，还可以使加热板移动，让加热板插入加热槽对，对晶圆进行热处理。
16、本方案中加热板既可以对晶圆进行加热处理，还可以通过弹性推片对晶圆产生推力，让晶圆可以随着转动半体运动。
17、本方案通过改变驱动齿轮的位置，使得电机既可以驱动进给螺杆转动，使得石英舟在加热室内移动，还可以驱动滑动架纵向移动，便于对石英舟和晶圆进行热处理，无需安装两个电机，节约成本。
18、本方案通过出料门板的开闭，方便在加热室内取放石英舟，还可以通过切换板配合，改变驱动齿轮的位置，使得电机驱动不同的部件工作，提高工作效率，无需额外的用电元件，节约成本。
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1.一种石英舟热处理装置，其特征在于：包括加热室(1)、用于承载晶圆(24)的石英舟(2)、用于加热石英舟(2)与晶圆(24)的加热机构(3)；所述石英舟(2)包括连接件(22)、两个对称设置的转动安装在连接件(22)上的转动半体(21)；所述转动半体(21)上等间距设置有卡槽(212)；两个转动半体(21)运动至相互靠近的位置时，石英舟(2)上的各个晶圆同轴排列，此时石英舟(2)上相邻的两个晶圆的间隔为第一距离；两个转动半体(21)分离后，石英舟(2)上相邻的两个晶圆(24)位于不同的转动半体(21)上。
2.根据权利要求1所述的一种石英舟热处理装置，其特征在于：所述加热机构(3)包括固定在加热室(1)内的侧板(31)、两个对称滑动在侧板(31)上的用于抵紧晶圆(24)的夹持杆(33)；
3.根据权利要求2所述的一种石英舟热处理装置，其特征在于：所述夹持杆(33)侧壁等距设置有多组容槽；所述容槽包括用于抵紧晶圆(24)侧壁的夹持槽(331)、不与晶圆(24)接触的避让槽(332)。
4.根据权利要求2所述的一种石英舟热处理装置，其特征在于：所
5.根据权利要求4所述的一种石英舟热处理装置，其特征在于：所述加热板(35)侧壁设置有用于向转动半体(21)方向推动晶圆(24)的弹性推片(351)。
6.根据权利要求2所述的一种石英舟热处理装置，其特征在于：所述转动半体(21)上设置有限转槽(211)；所述连接件(22)上纵向滑动连接有能够与限转槽(211)插接进而阻止转动半体(21)转动的限位插板(23)；所述加热室(1)内位于加热机构(3)下方安装有驱动限位插板(23)与限转槽(211)分离的抬升架(13)。
7.根据权利要求2所述的一种石英舟热处理装置，其特征在于：所述加热室(1)内位于石英舟(2)下方转动连接有两个带动石英舟(2)运动的进给螺杆(4)；所述连接件(22)下端设置有与进给螺杆(4)配合的呈半圆形的螺纹套(221)。
8.根据权利要求7所述的一种石英舟热处理装置，其特征在于：所述加热室(1)内安装有驱动机构(5)；所述驱动机构(5)包括电机(51)、沿轴线滑动连接在电机(51)的输出轴上的驱动齿轮(52)；
9.根据权利要求1所述的一种石英舟热处理装置，其特征在于：所述加热室(1)一侧安装有进料门板(11)，另一侧安装有出料门板(12)；所述驱动机构(5)还包括用于带动驱动齿轮(52)移动的切换板(56)；所述切换板(56)与加热室(1)之间设置有驱动切换板(56)与出料门板(12)相抵的弹簧(57)。
...【技术特征摘要】
1.一种石英舟热处理装置，其特征在于：包括加热室(1)、用于承载晶圆(24)的石英舟(2)、用于加热石英舟(2)与晶圆(24)的加热机构(3)；所述石英舟(2)包括连接件(22)、两个对称设置的转动安装在连接件(22)上的转动半体(21)；所述转动半体(21)上等间距设置有卡槽(212)；两个转动半体(21)运动至相互靠近的位置时，石英舟(2)上的各个晶圆同轴排列，此时石英舟(2)上相邻的两个晶圆的间隔为第一距离；两个转动半体(21)分离后，石英舟(2)上相邻的两个晶圆(24)位于不同的转动半体(21)上。
2.根据权利要求1所述的一种石英舟热处理装置，其特征在于：所述加热机构(3)包括固定在加热室(1)内的侧板(31)、两个对称滑动在侧板(31)上的用于抵紧晶圆(24)的夹持杆(33)；
3.根据权利要求2所述的一种石英舟热处理装置，其特征在于：所述夹持杆(33)侧壁等距设置有多组容槽；所述容槽包括用于抵紧晶圆(24)侧壁的夹持槽(331)、不与晶圆(24)接触的避让槽(332)。
4.根据权利要求2所述的一种石英舟热处理装置，其特征在于：所述加热机构(3)还包括纵向滑动在侧板(31)上的滑动架(32)、与滑动架(32)固定连接的加热架(34)；各个所述夹持杆(33)沿水平方向滑动连接在滑动架(32)上；所述加热架(34)下端均匀安装有多个加热板(35)。
5.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：兰锋，郑涛，郑俊，
申请(专利权)人：浙江泓芯半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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