一种石英舟切割装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种石英舟切割装置，属于切割设备技术领域。一种石英舟切割装置，包括废水处理组件；废水处理组件固定设置于切割工作台下方，切割工作台的台面呈栅格设置，以连通切割工作台上表面和设置于切割工作台下方废水处理组件设置的进料口；废水处理组件包括外壳、过滤件和水槽；外壳的两侧分别开设有过孔；水槽的两端分别贯穿对应的外壳两侧的过孔，并与外壳固定连接；过孔上固定设置有第一筛网，第一筛网的外周一圈与过孔的边缘固定连接，以过滤从过孔通过的废水；废水经过过滤件过滤后，干净的水从水槽回到切割组件，而废水中混合着杂质的磨料被过滤件送到外部收集。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于切割设备，更具体地说，涉及一种石英舟切割装置。

技术介绍

1、石英舟(quartz boat)通常是用于半导体制造等工业领域的载具，用于装载和运输晶圆等材料；常用的石英舟切割设备有水射流切割设备等；高压水射流切割是一种利用高压水射流进行切割的方法，适用于各种材料，包括硅和石英；这种方法可以在不产生热影响的情况下完成切割，适用于一些对温度敏感的材料；现有的切割设备通常并未设置废水的处理机构，如此一来，在切割的过程中会产生大量的废水，并且掺杂在水中，用于辅助切割的磨料也会随着废水浪费；如此一来，不仅造成了环境的污染，也造成了资源的浪费，提高了生产的成本。

技术实现思路

1、本专利技术要解决的技术问题在于提供一种石英舟切割装置，它可以实现切割过程中水的循环利用，并且收集水中混有杂质的磨料，进行再利用。

2、本专利技术的一种石英舟切割装置，采用高压水射流切割方式，包括切割组件、切割工作台、上下料组件，上下料组件包括左右两组传输组件；传输组件分别设置于切割工作台的左右两侧；切割组件滑动架设于切本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种石英舟切割装置，采用高压水射流切割方式，包括切割组件(1)、切割工作台(2)、上下料组件(3)，上下料组件(3)包括左右两组传输组件；传输组件分别设置于切割工作台(2)的左右两侧；切割组件(1)滑动架设于切割工作台(2)上方；其特征在于：还包括废水处理组件(4)；废水处理组件(4)固定设置于切割工作台(2)下方，切割工作台(2)的台面呈栅格设置，以连通切割工作台(2)上表面和设置于切割工作台(2)下方废水处理组件(4)设置的进料口(411)；废水处理组件(4)包括外壳(41)、过滤件(42)和水槽(43)；外壳(41)的两侧分别开设有过孔；水槽(43)的两端分别贯穿对应的外壳(4...

【技术特征摘要】

1.一种石英舟切割装置，采用高压水射流切割方式，包括切割组件(1)、切割工作台(2)、上下料组件(3)，上下料组件(3)包括左右两组传输组件；传输组件分别设置于切割工作台(2)的左右两侧；切割组件(1)滑动架设于切割工作台(2)上方；其特征在于：还包括废水处理组件(4)；废水处理组件(4)固定设置于切割工作台(2)下方，切割工作台(2)的台面呈栅格设置，以连通切割工作台(2)上表面和设置于切割工作台(2)下方废水处理组件(4)设置的进料口(411)；废水处理组件(4)包括外壳(41)、过滤件(42)和水槽(43)；外壳(41)的两侧分别开设有过孔；水槽(43)的两端分别贯穿对应的外壳(41)两侧的过孔，并与外壳(41)固定连接；过孔上固定设置有第一筛网，第一筛网的外周一圈与过孔的边缘固定连接，以过滤从过孔通过的废水；过滤件(42)合围成一个闭环设置；过滤件(42)设置于外壳(41)内部，并旋转套设于水槽(43)的外周；过滤件(42)包括过滤座(421)和若干隔板(422)；过滤座(421)上开设有若干滤孔；滤孔等间距排布在过滤座(421)外周；若干隔板(422)排列设置于过滤座(421)外周；过滤件(42)外周覆盖包裹有一层滤网；滤网与过滤座(421)和隔板(422)裸露在外的表面贴合并固定连接；外壳(41)两侧的内侧壁上均固定设置有轨道槽(413)；轨道槽(413)和对应的过孔设置于外壳(41)的内侧壁的同一侧；过滤座(421)的两端滑动嵌设于轨道槽(413)内。

2.根据权利要求1所述的一种石英舟切割装置，其特征在于：外壳(41)的外侧壁上固定设置有动力组件；动力组件的输出端与过滤座(421)嵌入在轨道槽(413)内的输入端安装连接，动力组件驱动过滤座(421)旋转运行；水槽(43)设置于外壳(41)外侧的两端的底部均开设有出水口；出水口上均固定设置有第二筛网；第二筛网的外周一圈与出水口的边缘固定连接，以对从出水口出去的水进行最后一次的过滤；出水口与切割组件设置的水箱相连通。

3.根据权利要求1所述的一种石英舟切割装置，其特征在于：外壳(41)内部，过滤件(42)的下方固定设置有辅助件(44)，以刮除过滤件(42)上附着的混合有废料的磨料；辅助件(44)包括第一电机和刮板；第一电机固定设置于外壳(41)的外侧壁上，第一电机的输出端贯穿外壳(41)的侧壁与设置于外壳(41)内部的刮板固定连接；第一电机驱动刮板进行往复的伸缩运动。

4.根据权利要求1所述的一种石英舟切割装置，其特征在于：隔板(422)贯穿过滤座(421)滑动设置；过滤座(421)贯穿开设有若干隔板槽；隔板槽顶部的两侧固定设置有台阶层，台阶层悬浮于隔板槽上方，分别与对应的过滤座(421)固定连接；隔板(422)包括内隔板(4221)和外隔板(4222)；内隔板(4221)的底部与外隔板(4222)的顶部固定连接；内隔板(4221)的厚度和宽度均小于外隔板(4222)的厚度；内隔板(4221)的一侧固定设置有卡接件(424)；卡接件(424)的一端与内隔板(4221)的侧壁固定连接，卡接件(424)的另一端固定设置有一突出的卡扣；隔板槽和卡接件(424)处于同一侧的侧壁上开设有第一卡接槽(4212)，以与卡扣卡接；过滤座(421)内侧壁上开设有若干辅助槽(4211)；辅助槽(4211)与对应的隔板槽相邻设置，辅助槽(4211)设置于隔板(422)固定有卡接件(424)的一侧；辅助槽(4211)通过第一卡接槽(4212)与隔板槽贯穿连通；隔板槽远离台阶层的一端的内侧壁上开设有第二卡接槽(4213)，以与卡扣匹配。

5.根据权利要求4所述的一种石英舟切割装置，其特征在于：内隔板(4221)外侧设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑涛，李建斌，蔡彬，陈佳思，
申请(专利权)人：浙江泓芯半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：