一种石英舟切割装置制造方法及图纸

技术编号：40548608 阅读：10 留言：0更新日期：2024-03-05 19:06

本发明专利技术公开了一种石英舟切割装置，属于切割设备技术领域。一种石英舟切割装置，包括废水处理组件；废水处理组件固定设置于切割工作台下方，切割工作台的台面呈栅格设置，以连通切割工作台上表面和设置于切割工作台下方废水处理组件设置的进料口；废水处理组件包括外壳、过滤件和水槽；外壳的两侧分别开设有过孔；水槽的两端分别贯穿对应的外壳两侧的过孔，并与外壳固定连接；过孔上固定设置有第一筛网，第一筛网的外周一圈与过孔的边缘固定连接，以过滤从过孔通过的废水；废水经过过滤件过滤后，干净的水从水槽回到切割组件，而废水中混合着杂质的磨料被过滤件送到外部收集。

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【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于切割设备，更具体地说，涉及一种石英舟切割装置。

技术介绍

1、石英舟(quartz boat)通常是用于半导体制造等工业领域的载具，用于装载和运输晶圆等材料；常用的石英舟切割设备有水射流切割设备等；高压水射流切割是一种利用高压水射流进行切割的方法，适用于各种材料，包括硅和石英；这种方法可以在不产生热影响的情况下完成切割，适用于一些对温度敏感的材料；现有的切割设备通常并未设置废水的处理机构，如此一来，在切割的过程中会产生大量的废水，并且掺杂在水中，用于辅助切割的磨料也会随着废水浪费；如此一来，不仅造成了环境的污染，也造成了资源的浪费，提高了生产的成本。

技术实现思路

1、本专利技术要解决的技术问题在于提供一种石英舟切割装置，它可以实现切割过程中水的循环利用，并且收集水中混有杂质的磨料，进行再利用。

2、本专利技术的一种石英舟切割装置，采用高压水射流切割方式，包括切割组件、切割工作台、上下料组件，上下料组件包括左右两组传输组件；传输组件分别设置于切割工作台的左右两侧；切割组件滑动架设于切割工作台上方；

3、还包括废水处理组件；废水处理组件固定设置于切割工作台下方，切割工作台的台面呈栅格设置，以连通切割工作台上表面和设置于切割工作台下方废水处理组件设置的进料口；废水处理组件包括外壳、过滤件和水槽；外壳的两侧分别开设有过孔；水槽的两端分别贯穿对应的外壳两侧的过孔，并与外壳固定连接；过孔上固定设置有第一筛网，第一筛网的外周一圈与过孔的边缘固定连接，以过滤

4、作为本专利技术的进一步改进，外壳的外侧壁上固定设置有动力组件；动力组件的输出端与过滤座嵌入在轨道槽内的输入端安装连接，动力组件驱动过滤座旋转运行；水槽设置于外壳外侧的两端的底部均开设有出水口；出水口上均固定设置有第二筛网；第二筛网的外周一圈与出水口的边缘固定连接，以对从出水口出去的水进行最后一次的过滤；出水口与切割组件设置的水箱相连通。

5、作为本专利技术的进一步改进，外壳内部，过滤件的下方固定设置有辅助件，以刮除过滤件上附着的混合有废料的磨料；辅助件包括第一电机和刮板；第一电机固定设置于外壳的外侧壁上，第一电机的输出端贯穿外壳的侧壁与设置于外壳内部的刮板固定连接；第一电机驱动刮板进行往复的伸缩运动。

6、作为本专利技术的进一步改进，隔板贯穿过滤座滑动设置；过滤座贯穿开设有若干隔板槽；隔板槽顶部的两侧固定设置有台阶层，台阶层悬浮于隔板槽上方，分别与对应的过滤座固定连接；隔板包括内隔板和外隔板；内隔板的底部与外隔板的顶部固定连接；内隔板的厚度和宽度均小于外隔板的厚度；内隔板的一侧固定设置有卡接件；卡接件的一端与内隔板的侧壁固定连接，卡接件的另一端固定设置有一突出的卡扣；隔板槽和卡接件处于同一侧的侧壁上开设有第一卡接槽，以与卡扣卡接；过滤座内侧壁上开设有若干辅助槽；辅助槽与对应的隔板槽相邻设置，辅助槽设置于隔板固定有卡接件的一侧；辅助槽通过第一卡接槽与隔板槽贯穿连通；隔板槽远离台阶层的一端的内侧壁上开设有第二卡接槽，以与卡扣匹配。

7、作为本专利技术的进一步改进，内隔板外侧设置有弹性件；弹性件的顶部与台阶层底部固定连接；弹性件的底部与卡接件的顶部固定连接；弹性件为撑开件，以将台阶层和卡接件之间的距离加大，从而使得卡接件带动隔板向下移动，将外隔板伸出隔板槽；水槽底部的侧壁上固定设置有调节组件；调节组件包括壳体、第二电机和调节板；壳体与水槽底部的侧壁固定连接，第二电机固定设置于壳体内部，第二电机的输出端贯穿壳体，与外部的调节板的顶部固定连接，第二电机驱动调节板进行上下的往复运动。

8、作为本专利技术的进一步改进，辅助槽的底部滑动设置有滑动组件；滑动组件包括滑块和第二弹性件；滑块其中一侧设置有凸块；凸块正对第一卡接槽设置，凸块的最大口径小于第一卡接槽的最小口径，以让凸块贯穿第一卡接槽；第二弹性件的一端与滑块远离凸块的一侧固定连接，第二弹性件的另一端与辅助槽与第一卡接槽相对的一侧的内侧壁固定连接；第二弹性件与辅助槽底部抵接，以让滑块远离凸块的一侧的侧壁与辅助槽固定有第二弹性件一侧的内侧壁之间形成走道，以让调节板远离第二电机的一端穿过。

9、作为本专利技术的进一步改进，外壳内部，过滤件的下方设置的出料口的其中一侧壁上固定设置有按压组件；按压组件包括第三电机和按压板；第三电机固定设置于外壳的外侧壁上，第三电机的输出端贯穿外壳的侧壁与设置于外壳内部的按压板固定连接；第一电机驱动按压板进行往复的伸缩运动；按压组件和辅助件相对设置于出料口的两侧。

10、作为本专利技术的进一步改进，隔板贯穿过滤座滑动设置；过滤座内部开设有若干容纳腔；容纳腔内设置有弹伸组件；弹伸组件包括活动杆、固定座和第三弹性件；固定座设置于活动杆和第三弹性件之间；固定座滑动设置于容纳腔内；固定座上表面开设有第一通道和第二通道；第一通道和第二通道之间设置有卡块；第一通道和第二通道环绕卡块形成回路；卡块的一侧开设有卡口；卡口呈三角形朝向第三弹性件，背向活动杆设置；活动杆的一端滑动伸入第一通道的开口处设置，并且活动杆的端部呈弯钩状设置；活动杆的另一端与容纳腔的端部设置的基座转动设置；第三弹性件的一端与固定座远离活动杆的一端固定连接；第三弹性件的另一端与容纳腔远离基座的一端固定连接；固定座其中以侧边与隔板的侧边固定连接。

11、作为本专利技术的进一步改进，外壳内部，过滤件的下方设置的出料口的两侧壁上分别固定设置有按压组件；其中一组按压组件与辅助件并排间隔设置，并且该组按压组件设置于辅助件之后。

12、作为本专利技术的进一步改进，卡接件为支撑弹簧；第三弹性件为拉伸弹簧。

13、相比于现有技术，本专利技术的有益效果在于：本专利技术的方案中设置有废水处理组件；废水处理组件的进料口和切割工作台连通，石英舟切割装置采用高压水射流切割的过程中产生的废水直接从切割工作台设置的栅格中，通过进料口进入废水处理组件中；废水首先通过过滤件过滤，经过过滤的水进入到水槽中，并从水槽两端的出水孔重新进入到切割组件设置的水箱中，实现了水资源的再利用，避免了污水的产生，造成的环境的污染；

14、混着杂质的磨粉残留在过滤件上表面，通过过滤座运送到过滤件的下方，并从外壳设置的出料口中出料到外部，并收集；过滤件上设置有隔板，避免混着杂质的磨粉在运送的过程中滑落，从而堆积在过滤座的上表面，而无法旋转运送到目标位置；并且在过滤件的下方设置的辅助件，对过滤座进行刮料，使得附着在过滤座上的磨粉掉落得更加彻底；

15、进一步的，隔板滑动设置在过滤座上，其中一个方案本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种石英舟切割装置，采用高压水射流切割方式，包括切割组件(1)、切割工作台(2)、上下料组件(3)，上下料组件(3)包括左右两组传输组件；传输组件分别设置于切割工作台(2)的左右两侧；切割组件(1)滑动架设于切割工作台(2)上方；其特征在于：还包括废水处理组件(4)；废水处理组件(4)固定设置于切割工作台(2)下方，切割工作台(2)的台面呈栅格设置，以连通切割工作台(2)上表面和设置于切割工作台(2)下方废水处理组件(4)设置的进料口(411)；废水处理组件(4)包括外壳(41)、过滤件(42)和水槽(43)；外壳(41)的两侧分别开设有过孔；水槽(43)的两端分别贯穿对应的外壳(41)两侧的过孔，并与外壳(41)固定连接；过孔上固定设置有第一筛网，第一筛网的外周一圈与过孔的边缘固定连接，以过滤从过孔通过的废水；过滤件(42)合围成一个闭环设置；过滤件(42)设置于外壳(41)内部，并旋转套设于水槽(43)的外周；过滤件(42)包括过滤座(421)和若干隔板(422)；过滤座(421)上开设有若干滤孔；滤孔等间距排布在过滤座(421)外周；若干隔板(422)排列设置于过滤座(

2.根据权利要求1所述的一种石英舟切割装置，其特征在于：外壳(41)的外侧壁上固定设置有动力组件；动力组件的输出端与过滤座(421)嵌入在轨道槽(413)内的输入端安装连接，动力组件驱动过滤座(421)旋转运行；水槽(43)设置于外壳(41)外侧的两端的底部均开设有出水口；出水口上均固定设置有第二筛网；第二筛网的外周一圈与出水口的边缘固定连接，以对从出水口出去的水进行最后一次的过滤；出水口与切割组件设置的水箱相连通。

3.根据权利要求1所述的一种石英舟切割装置，其特征在于：外壳(41)内部，过滤件(42)的下方固定设置有辅助件(44)，以刮除过滤件(42)上附着的混合有废料的磨料；辅助件(44)包括第一电机和刮板；第一电机固定设置于外壳(41)的外侧壁上，第一电机的输出端贯穿外壳(41)的侧壁与设置于外壳(41)内部的刮板固定连接；第一电机驱动刮板进行往复的伸缩运动。

4.根据权利要求1所述的一种石英舟切割装置，其特征在于：隔板(422)贯穿过滤座(421)滑动设置；过滤座(421)贯穿开设有若干隔板槽；隔板槽顶部的两侧固定设置有台阶层，台阶层悬浮于隔板槽上方，分别与对应的过滤座(421)固定连接；隔板(422)包括内隔板(4221)和外隔板(4222)；内隔板(4221)的底部与外隔板(4222)的顶部固定连接；内隔板(4221)的厚度和宽度均小于外隔板(4222)的厚度；内隔板(4221)的一侧固定设置有卡接件(424)；卡接件(424)的一端与内隔板(4221)的侧壁固定连接，卡接件(424)的另一端固定设置有一突出的卡扣；隔板槽和卡接件(424)处于同一侧的侧壁上开设有第一卡接槽(4212)，以与卡扣卡接；过滤座(421)内侧壁上开设有若干辅助槽(4211)；辅助槽(4211)与对应的隔板槽相邻设置，辅助槽(4211)设置于隔板(422)固定有卡接件(424)的一侧；辅助槽(4211)通过第一卡接槽(4212)与隔板槽贯穿连通；隔板槽远离台阶层的一端的内侧壁上开设有第二卡接槽(4213)，以与卡扣匹配。

5.根据权利要求4所述的一种石英舟切割装置，其特征在于：内隔板(4221)外侧设置有弹性件(423)；弹性件(423)的顶部与台阶层底部固定连接；弹性件(423)的底部与卡接件(424)的顶部固定连接；弹性件(423)为撑开件，以将台阶层和卡接件(424)之间的距离加大，从而使得卡接件(424)带动隔板(422)向下移动，将外隔板(4222)伸出隔板槽；水槽(43)底部的侧壁上固定设置有调节组件(427)；调节组件(427)包括壳体(4271)、第二电机和调节板(4272)；壳体(4271)与水槽(43)底部的侧壁固定连接，第二电机固定设置于壳体(4271)内部，第二电机的输出端贯穿壳体(4271)，与外部的调节板(4272)的顶部固定连接，第二电机驱动调节板(4272)进行上下的往复运动。

6.根据权利要求4所述的一种石英舟切割装置，其特征在于：辅助槽(4211)的底部滑动设置有滑动组件(426)；滑动组件(426)包括滑块(4261)和第二弹性件(4262)；滑块(4261)其中一侧设置...

【技术特征摘要】

5.根据权利要求4所述的一种石英舟切割装置，其特征在于：内隔板(4221)外侧设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑涛，李建斌，蔡彬，陈佳思，
申请(专利权)人：浙江泓芯半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：

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