一种石英舟槽棒开槽的固定工装制造技术

本技术公开的一种石英舟槽棒开槽的固定工装，包括长条形基座、密封圈以及吸真空连接组件，长条形基座的上部开设有工装槽，工装槽的槽底上居中开设有密封圈安装槽。本技术提供的石英舟槽棒开槽的固定工装，在使用时，将石英舟槽棒放置在工装槽的内部，且石英舟槽棒正好压在密封圈的上部，然后利用吸真空连接组件通过吸真空通槽将若干真空槽内部的空气吸走，使得若干真空槽的内部产生负压，从而利用负压将石英舟槽棒固定住，使得对石英舟槽棒的固定比较方便，可以大幅提高石英舟槽棒的开槽效率，尤为重要的是，可避免在对石英舟槽棒固定的过程中将石英舟槽棒的表面压伤，从而保证石英舟槽棒的外表面质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于石英舟槽棒开槽，具体涉及一种石英舟槽棒开槽的固定工装。

技术介绍

1、石英舟是扩散工艺的必备工具，无论是半导体器件的扩散，还是太阳能工艺的扩散都大量使用石英器件做为载体，石英舟耐高温不变形，不污染器件而且能重复使用，尤其是近几年来由于太阳能产业发展迅速，人们使用石英舟的式样也越来越多，在光伏行业中有着巨大的作用，石英舟从结构本质上来说，为多根开槽的石英方棒和一对石英侧盖组合而成的类似船状的载体，槽内可插入多片太阳能电池片进行扩散加工，因此，石英舟在加工时，对石英方棒的开槽无疑是最关键的一步。

2、尤其对石英长舟而言，由于方棒的长度较长(大于1400mm)，开槽加工时如何将方棒定位固定是个难点，这也将直接影响到方棒开槽后的质量与精度，方棒的开槽装置其主体为刀具可沿x轴、y轴和z轴三个方向做平移运动的三坐标数控机床，目前：

3、公开(公告)号为cn214000074u的中国专利公开了一种石英舟槽棒开槽的固定治具，包括壳体，壳体的顶部固接有橡胶圈，且壳体的内侧壁内开设有凸起，凸起内开设有滑槽，滑槽内滑动连接有转块，且转块的外侧壁本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种石英舟槽棒开槽的固定工装，包括：

2.根据权利要求1所述的一种石英舟槽棒开槽的固定工装，其特征在于：所述密封圈(2)呈长条形，且所述密封圈(2)的长度小于所述石英舟槽棒(4)的长度。

3.根据权利要求1所述的一种石英舟槽棒开槽的固定工装，其特征在于：所述长条形基座(1)的一端开设有螺纹口(105)，所述螺纹口(105)与所述吸真空通槽(104)的一端相连通。

4.根据权利要求3所述的一种石英舟槽棒开槽的固定工装，其特征在于：所述吸真空连接组件包括真空管(3)，连接所述吸真空通槽(104)的真空管(3)一端为连接头(301)。

5.根...

【技术特征摘要】

1.一种石英舟槽棒开槽的固定工装，包括：

2.根据权利要求1所述的一种石英舟槽棒开槽的固定工装，其特征在于：所述密封圈(2)呈长条形，且所述密封圈(2)的长度小于所述石英舟槽棒(4)的长度。

3.根据权利要求1所述的一种石英舟槽棒开槽的固定工装，其特征在于：所述长条形基座(1)的一端开设有螺纹口(105)，所述螺纹口(105)与所述吸...

【专利技术属性】
技术研发人员：李建斌，王飞华，陈佳思，
申请(专利权)人：浙江泓芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：