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本技术公开的一种石英舟槽棒开槽的固定工装，包括长条形基座、密封圈以及吸真空连接组件，长条形基座的上部开设有工装槽，工装槽的槽底上居中开设有密封圈安装槽。本技术提供的石英舟槽棒开槽的固定工装，在使用时，将石英舟槽棒放置在工装槽的内部，且石英舟...
该专利属于浙江泓芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江泓芯半导体有限公司授权不得商用。

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