System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种石英熔接辅助装置制造方法及图纸_技高网

一种石英熔接辅助装置制造方法及图纸

技术编号:41125333 阅读:2 留言:0更新日期:2024-04-30 17:52
本发明专利技术涉及晶体材料制备领域,具体是涉及一种石英熔接辅助装置,包括熔接装置和辅助部件;推料装置设置在熔接装置的一侧,推料装置与熔接装置之间存有空隙;升降装置设置在空隙内;传动装置设置在推料装置和升降装置之间;转动装置设置在升降装置的上方,转动装置自身具有轴线;承接爪设置有多个,承接爪设置有多个,承接爪围绕转动装置的轴线均匀设置在转动装置上;第一直线驱动器水平设置在推料装置的上方;第一推板固定设置在第一直线驱动器的输出端上;第一承托件设置在承接爪远离第一推板的一侧;夹持装置设置在第一承托件远离第一推板的一侧,防止石英管在移动过程中出现坠落破损的情况。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶体材料制备领域,具体是涉及一种石英熔接辅助装置


技术介绍

1、目前业界采用最多的石英管熔接方法是将pbn-石英管系统水平或垂直放置,通过法兰与抽空系统连接,待真空度达到要求后,由两人同时使用6头或12头氢氧气焊枪对烧,将石英管与其内放置的石英帽熔接,形成真空系统。这种操作方法虽然简单易行,但在烧结过程中人为因素影响较大,由于烧结前后预热不均匀,烧结完成后形成的热应力影响容易裂管,导致失败需更换新的石英管重新进行抽空,严重的会导致多晶料报废,降低了生产效率,使生产成本大幅增加,不利于批量生产;另外,由于操作时间长达20多分钟,氢氧焰属于高温高热,近距离操作如果保护不当会对操作人员造成一定伤害。

2、中国专利cn214327548u公开了一种石英管自动熔接装置,其特征在于,所述装置包括操作台、控制面板、载物台旋转装置、氢氧焊枪移动装置、氢氧焊枪、氢氧焊枪调节装置和氢氧气阀门。所述的控制面板上的控制部分设有三组,第一组为指示灯和急停按钮;第二组为载物台转动控制包括载物台转动调速按钮、载物台转动打开按钮和载物台转动关闭按钮;第三组为氢氧焊枪移动控制包括氢氧焊枪移动调速按钮、氢氧焊枪向上移动按钮、氢氧焊枪向下移动按钮和氢氧焊枪移动停止按钮。所述的载物台旋转装置包括载物台、上法兰盘、下法兰盘、减速器、转动电机、校正压板和o型胶圈;其中载物台与上法兰盘和下法兰盘通过螺丝固定;校正压板通过螺丝固定在载物台的顶部,o型胶圈置于校正压板的下方,减速器和转动电机固定在所述操作台的底部,减速器通过连接轴与转动电机相连,带动载物台旋转装置及载物台一起旋转。所述的氢氧焊枪移动装置包括移动电机、移动丝杆、丝杠保护壳、轴承套、氢氧焊枪固定托板和分托板;移动丝杆置于丝杠保护壳中,移动丝杆的下端与固定在所述操作台上的移动电机的转动轴连接,轴承套套在移动丝杆的上端,并通过螺丝与氢氧焊枪固定托板的一端固定,三个分托板分别与氢氧焊枪固定托板固定连接为一体。所述的氢氧焊枪为三把,三把氢氧焊枪在同一平面,且互成120°。所述的氢氧焊枪调节装置包括固定夹具、水平移动导轨、氢氧焊枪角度调节旋钮;所述的三把氢氧焊枪分别固定在三个固定夹上,三个固定夹具分别与三个氢氧焊枪角度调节旋钮连接,三个氢氧焊枪角度调节旋钮分别固定在三个水平移动导轨的滑块上,三个水平移动导轨分别固定在三个分托板上,三个分托板分别固定在氢氧焊枪固定托板上。所述的氢氧气阀门为三组,每组为一个氢气阀门和一个氧气阀门,其中进气口分别连接氢氧气管路,出气口通过耐压软管分别连接三把氢氧焊枪的进气口。

3、上述方案虽然减少了人工近距离操作的不安全因素,但是无法做到自动批量生产,上述方案缺少上述自动上料和卸料装置,由于石英本身透明,在进行上料和卸料时无法通过光学仪器进行准确定位,同时石英质地较脆,在夹持时易出现破损,在现有技术中,对石英管进行熔封时多通过人为放置,效率较低,同时无法保证熔封位置的统一性,且现有技术中的供给装置需要多组驱动器完成,成本较高,仅通过机械手抓取上料也易出现破损。


技术实现思路

1、针对上述问题,提供一种石英熔接辅助装置,转动装置带动承接爪转动至推料装置的一侧,推料装置将其内部的石英管推出,石英管滑入承接爪内,承接爪将石英管夹持,随后转动装置带动承接爪转动,承接爪在转动装置的带动下转动至最上部,此时所述承接爪位于第一推板的一侧,转动装置停止转动,推料装置启动,推料装置将其内部的石英管推出放置在位于下侧的承接爪内,推料装置通过传动装置带动升降装置上升,第一承托件在升降装置的带动下上升,第一承托件的底部与承接爪的底部共面,随后第一直线驱动器通过第一推板将位于上侧的承接爪上的石英管推出,石英管通过第一承托件滑入夹持装置内,夹持装置将滑入的石英管引导进熔接装置内,同时通过机械手在石英管的开口处放入石英块,熔接装置便能对石英管进行熔接,使得装置能在自动供给石英管的同时,还能防止石英管出现破损的情况,降低了装置的使用成本。

2、为解决现有技术问题,一种石英熔接辅助装置,包括熔接装置和辅助部件;辅助部件包括推料装置、传动装置、升降装置、承接爪、第一直线驱动器、第一推板、第一承托件、转动装置和夹持装置;推料装置设置在熔接装置的一侧,推料装置用于供给未熔接的石英管,推料装置与熔接装置之间存有空隙;升降装置设置在空隙内,升降装置能用于对推料装置推出的石英管进行承接;传动装置设置在推料装置和升降装置之间,推料装置运行时通过传动装置带动升降装置升降,传动装置内没有驱动器;转动装置设置在升降装置的上方,转动装置自身具有轴线;承接爪设置有多个,承接爪设置有多个,承接爪围绕转动装置的轴线均匀设置在转动装置上,转动装置能带动承接爪围绕转动装置的轴线转动,承接爪用于抓取石英管;第一直线驱动器水平设置在推料装置的上方,第一直线驱动器的输出端水平指向转动装置;第一推板固定设置在第一直线驱动器的输出端上;第一承托件设置在承接爪远离第一推板的一侧,第一承托件位于升降装置的正上方,升降装置带动第一承托件同步升降;夹持装置设置在第一承托件远离第一推板的一侧,夹持装置用于夹持石英管供熔接装置焊接,同时夹持装置能带动石英管沿第一直线驱动器输出轴的轴线移动。

3、优选的,传动装置包括第一传动轮、第一传动带、凸块、第二传动轮和第二传动带;第一传动轮水平设置有多个,第一传动轮设置在推料装置的下部;第一传动带套设在第一传动轮上,第一传动带和第一传动轮传动配合;凸块固定设置在第一传动带的外圈侧壁上,推料装置能通过凸块带动第一传动带转动;第二传动轮设置有两个,两个第二传动轮分别设置在第一传动轮和升降装置的一侧;第二传动带套设在第二传动轮上,第二传动带和第二传动轮传动配合。

4、优选的,升降装置包括第一齿轮、第二齿轮、齿条和第二承托件;第一齿轮沿远离第一传动轮的第二传动轮的轴线固定设置在所述第二传动轮的一侧;第二齿轮设置在第一齿轮的一侧,第一齿轮和第二齿轮相互啮合;齿条竖直设置在第二齿轮的一侧,齿条与第二齿轮相互啮合;第二承托件固定设置在齿条的上部,第二承托件的上部固定设置有固定架,固定架远离第二承托件的一端与第一承托件固定连接。

5、优选的,传动装置包括导向组件,导向组件包括导轨和导槽;导轨沿齿条的长度方向设置在齿条的一侧;导槽沿齿条的长度方向开设在齿条的侧壁上,导轨和导槽滑动配合。

6、优选的,转动装置包括第一旋转驱动器、支架、延伸杆和按钮;支架设置在推料装置靠近夹持装置的一侧;第一旋转驱动器固定设置在支架上;延伸杆设置有多个,延伸杆围绕第一旋转驱动器的输出轴的轴线均匀固定设置在第一旋转驱动器的输出端上,延伸杆的长度方向与第一旋转驱动器的输出轴的径向方向平行;按钮设置在支架上,支架上设置有控制器,延伸杆在转动时能将按钮触发,按钮通过控制器带动第一旋转驱动器运行。

7、优选的,夹持装置包括固定环、夹持爪、安装板、第二旋转驱动器和滚轮;固定环沿第一直线驱动器的输出轴的轴线设置在第一承托件远离第一推板的一侧,固定环的端部沿固定环的径向方向设本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种石英熔接辅助装置,包括熔接装置和辅助部件(1);

2.根据权利要求1所述的一种石英熔接辅助装置,其特征在于,传动装置(12)包括第一传动轮(121)、第一传动带(122)、凸块(123)、第二传动轮(124)和第二传动带(125);

3.根据权利要求2所述的一种石英熔接辅助装置,其特征在于,升降装置(13)包括第一齿轮(131)、第二齿轮(132)、齿条(133)和第二承托件(1331);

4.根据权利要求3所述的一种石英熔接辅助装置,其特征在于,传动装置(12)包括导向组件(126),导向组件(126)包括导轨(1261)和导槽;

5.根据权利要求1所述的一种石英熔接辅助装置,其特征在于,转动装置(15)包括第一旋转驱动器(151)、支架(152)、延伸杆(153)和按钮(154);

6.根据权利要求1所述的一种石英熔接辅助装置,其特征在于,夹持装置(16)包括固定环(161)、夹持爪(162)、安装板(163)、第二旋转驱动器(164)和滚轮(165);

7.根据权利要求1所述的一种石英熔接辅助装置,其特征在于,辅助部件(1)还包括第一导向套(17)和第二导向套(18);

8.根据权利要求7所述的一种石英熔接辅助装置,其特征在于,辅助部件(1)还包括退料装置(19),退料装置(19)包括退料托板(191)、第三旋转驱动器(192)、同步轮(193)和同步带(194);

9.根据权利要求2所述的一种石英熔接辅助装置,其特征在于,推料装置(11)还包括第二直线驱动器(111)和第二推板(112);

10.根据权利要求9所述的一种石英熔接辅助装置,其特征在于,推料装置(11)还包括倾斜板(113)和挡板(114);

...

【技术特征摘要】

1.一种石英熔接辅助装置,包括熔接装置和辅助部件(1);

2.根据权利要求1所述的一种石英熔接辅助装置,其特征在于,传动装置(12)包括第一传动轮(121)、第一传动带(122)、凸块(123)、第二传动轮(124)和第二传动带(125);

3.根据权利要求2所述的一种石英熔接辅助装置,其特征在于,升降装置(13)包括第一齿轮(131)、第二齿轮(132)、齿条(133)和第二承托件(1331);

4.根据权利要求3所述的一种石英熔接辅助装置,其特征在于,传动装置(12)包括导向组件(126),导向组件(126)包括导轨(1261)和导槽;

5.根据权利要求1所述的一种石英熔接辅助装置,其特征在于,转动装置(15)包括第一旋转驱动器(151)、支架(152)、延伸杆(153)和按钮(154);

6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员:兰锋李加玉周维忠罗志斌
申请(专利权)人:浙江泓芯半导体有限公司
类型:发明
国别省市:

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