【技术实现步骤摘要】
一种石英机械手立式假接治具
[0001]本技术属于假接治具
,具体涉及一种石英机械手立式假接治具。
技术介绍
[0002]专利公告号为CN 209664658 U的中国专利文件,其公开了一种石英机械手焊接治具,包括底座、定位座、定位竖板,定位座和定位竖板均紧固连接在底座上,定位座上设有左定位板和右定位板,左定位板和右定位板上分别设有左定位槽和右定位槽,左定位板和右定位板之间设有中间定位槽,定位座上远离定位竖板端设有定位块,定位块朝向定位竖板的端面呈V形结构,定位竖板上端设有石英机械手锁紧孔。
[0003]上述专利文件在其技术问题中记载如下:“石英机械手是硅片进行扩散、氧化等工艺中的承载工具,一般是加工人员根据产品要求用石墨块搭建好外型结构并焊接,但由于加工人员个人能力以及石墨块结构的不稳定性,往往需要反复多次微调修理,才能生产出满足要求的产品,因此石英机械手的生产周期长,效率低,难以满足客户批量订单的要求。”[0004]由上述专利文件中技术问题的记载可以明确知晓:对石英机械手工件的加工,一般是加工人员根据产品要 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石英机械手立式假接治具,其特征在于,包括:定位底板(1);定位立板(2),其一侧开设有能够便于石英机械手工件卡接固定的定位槽(201),且所述定位立板(2)固定安装于所述定位底板(1)的顶部一侧;上固定块(3),其固定安装于所述定位立板(2)背向定位槽(201)的一侧侧壁顶部;上夹紧板(4),其可拆卸的安装在所述定位立板(2)和上固定块(3)之间的顶部上;侧夹紧板(6),其横向滑动安装在所述定位立板(2)朝向定位槽(201)的一侧侧壁上;第一模座组件(8),其安装在定位底板(1)的顶部一侧;以及第二模座组件(9),其安装在定位底板(1)远离第一模座组件(8)的顶部一侧。2.根据权利要求1所述的一种石英机械手立式假接治具,其特征在于:所述定位槽(201)呈倒T型;所述第一模座组件(8)和第二模座组件(9)均由三个槽棒定位座所构成;其中,所述第一模座组件(8)的三个槽棒定位座固定安装在定位底板(1)的顶部一侧;其中,所述第二模座组件(9)的三个槽棒定位座固定安装在定位底板(1)的顶部另一侧;其中,所述第一模座组件(8)的三个槽棒定位座的顶部外侧均向上延伸有限位部(801)。3.根据权利要求2所述的一种石英机械手立式假接治具,其特征在于:所述上夹紧板(...
【专利技术属性】
技术研发人员:兰锋,郑俊,吴建胜,聂道兴,
申请(专利权)人:浙江泓芯半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:
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