一种石英熔接辅助设备制造技术

本发明专利技术涉及石英熔接加工领域，具体是涉及一种石英熔接辅助设备，包括多角度定位摆放石英管和支管的多角度辅助定位装置，多角度辅助定位装置包括定位夹持石英管的三爪卡盘，三爪卡盘的外侧设有多角度安装盘，多角度安装盘的调节端上均安装有管道推送装置，多角度安装盘的底部安装有同步收缩机构，同步收缩机构与多角度安装盘同轴设置，同步收缩机构设有数个移动收缩端，同步收缩机构的移动收缩端与多角度安装盘的调节端连接，同步收缩机构的收缩端上均安装有管道限位夹持具，管道限位夹持具的进料口与管道推送装置的输出端同轴设置，同步收缩机构的底部还安装有废料收集斗。本申请可有效的提高安装效率，同时提高安装的适应性。同时提高安装的适应性。同时提高安装的适应性。

【技术实现步骤摘要】
一种石英熔接辅助设备


[0001]本专利技术涉及石英熔接加工领域，具体是涉及一种石英熔接辅助设备。

技术介绍

[0002]随着IC行业的高速发展，半导体设备行业需求日益高涨，随之带设备耗材零部件，如石英玻璃、硅和锗等半导体材料制品供应要求不断上升。石英玻璃因其良好的物理、化学性能成为半导体设备零部件中最常用的材料。石英玻璃具有热膨胀系数低、纯度高及硬度高等特性，导致其加工难度大，工艺要求苛刻，加工效率、精度偏低。
[0003]中国专利CN211946791 U公开了一种针对石英管支管焊接加工的辅助装置，包括床身承载平台、圆管卡盘夹持装置、支管夹持装置及支管夹持平移装置，所述的支管夹持平移装置连接在所述的床身承载平台上，所述的圆管卡盘夹持装置包括第一圆管卡盘夹持装置和第二圆管卡盘夹持装置，所述的第一圆管卡盘夹持装置上设有第一卡爪，第二圆管卡盘夹持装置上设有第二卡爪，所述的第一卡爪和第二卡爪相互对应，所述的第一圆管卡盘夹持装置和第二圆管卡盘夹持装置分别位于所述的床身承载平台的两端，所述的支管夹持装置固定连接在所述的支管夹持平移装置上。本技术具有精度高，加工时间短，耗费人力少，稳定性高的优势。
[0004]上述技术方案虽然可以对石英管和支管进行辅助定位便于焊接，但是该装置辅助定位支管的定位方式单一，若是遇到石英管上需要在表面不同位置进行焊接支管时，该装置会出现定位效率低，影响生产效率，同时该装置每次焊接多个不同位置的支管时都需要反复调整会导致浪费人力。

技术实现思路

[0005]针对现技术所存在的问题，提供一种石英熔接辅助设备，通过多角度辅助定位装置可有效的提高安装的适应性和安装效率，同时节省人力。
[0006]为解决现有技术问题，本专利技术提供一种石英熔接辅助设备，包括多角度定位摆放石英管和支管的多角度辅助定位装置，多角度辅助定位装置包括定位夹持石英管的三爪卡盘，三爪卡盘的外侧设有多角度安装盘，三爪卡盘与多角度安装盘同轴设置，多角度安装盘上数个旋转调节端，多角度安装盘的调节端上均安装有管道推送装置，多角度安装盘的底部安装有同步收缩机构，同步收缩机构与多角度安装盘同轴设置，同步收缩机构设有数个移动收缩端，同步收缩机构的移动收缩端与多角度安装盘的调节端连接，同步收缩机构的收缩端上均安装有管道限位夹持具，管道限位夹持具的进料口与管道推送装置的输出端同轴设置，同步收缩机构的底部还安装有废料收集斗。
[0007]优选的，多角度安装盘包括套设在三爪卡盘外侧的水平安装盘，水平安装盘的轴心位置设有安装孔，水平安装盘的顶部安装有与安装孔同轴设置的限位调节轨，限位调节轨上布满第一限位卡齿，限位调节轨上安装有数个调节底座。
[0008]优选的，调节底座的底部设有第一限位卡槽和第一限位安装槽，第一限位卡槽与
限位调节轨滑动卡接，第一限位安装槽的内部安装有限位滑块，限位滑块上设有螺纹孔，限位滑块的底部设有第一限位插条，调节底座上还安装有第一螺纹调节杆，第一螺纹调节杆与限位滑块的螺纹孔螺纹连接。
[0009]优选的，同步收缩机构包括安装在水平安装盘底部的固定支架，固定支架的轴心位置安装有升降滑轨，升降滑轨的顶部安装有定位安装块，定位安装块与三爪卡盘连接，定位安装块的侧部设有第一限位滑槽，第一限位滑槽的内部安装有数个限位滑杆，限位滑杆远离第一限位滑槽的一端与调节底座连接，限位滑杆上均安装有限位滑套，升降滑轨上还安装有升降滑环，升降滑环上安装有数个转动滑块，转动滑块与限位滑套之间均设有收缩连接杆，升降滑轨的内部安装有升降滚珠丝杆，升降滚珠丝杆与升降滑环螺纹连接，升降滑轨的底部还安装有旋转驱动器，旋转驱动器的输出端与升降滚珠丝杆传动连接。
[0010]优选的，管道限位夹持具包括安装在限位滑套上的限位调节支架，限位调节支架上布满第二限位卡槽，限位调节支架上还安装有调节卡接块，调节卡接块的轴心位置设有轴心通孔，调节卡接块的侧部设有数个第二限位滑槽，第二限位滑槽上安装有卡接夹持机构，调节卡接块的顶部还安装有第二限位安装槽，第二限位安装上安装有限位卡板，限位卡板的侧部设有第二限位插条。
[0011]优选的，卡接夹持机构包括安装在调节卡接块上的驱动盘，驱动盘设有数个驱动斜轨，驱动盘的外侧布满第二限位卡齿，卡接夹持机构还包括数个分布在第二限位滑槽上的限位安装杆，限位安装杆上设有滑动块，滑动块与第二限位滑槽滑动连接，限位安装杆上还设有卡接柱，卡接柱与驱动盘的驱动斜轨滑动连接，卡接柱上卡接安装有自适应抵压接头，自适应抵压接头为圆柱状，自适应抵压接头的外侧布满弹性抵压圈。
[0012]优选的，管道推送装置包括安装在调节底座上的安装底板，安装底板上设有竖直安装有第一导柱和第二螺纹调节杆，第一导柱和第二螺纹调节杆上安装有自适应放置盒，自适应放置盒的侧部设有直线推送装置。
[0013]优选的，自适应放置盒包括安装在第一导柱和第二螺纹调节杆上的水平底板，水平底板的居中位置设有引导滑槽，水平底板的居中位置还设有第三限位安装槽，水平底板的一侧设有第一限位挡板，第一限位挡板上设有出料口，水平底板远离第一限位挡板的一侧设有第三螺纹调节杆和第二导柱，第三螺纹调节杆和第二导柱上安装有第二限位挡板，第二限位挡板和第一限位挡板之间设有限位出料机构。
[0014]优选的，限位出料机构包括安装在第三限位安装槽中的数个限位安装块，第三限位安装槽中还安装有双向螺纹调节杆，双向螺纹调节杆与限位安装块螺纹连接，限位安装块上均安装有倾斜引导架，倾斜引导架的内侧设有红外感应器，倾斜引导架的外侧安装有震动电机。
[0015]优选的，直线推送装置包括安装在第二限位挡板侧部的安装支架，安装支架上安装有直线驱动器，直线驱动器的输出端上安装有限位推动条，限位推动条沿水平底板的引导滑槽延伸。
[0016]本申请与现有技术相比具有的有益效果是：
[0017]通过多角度安装盘调整管道推送装置、同步收缩机构和管道限位夹持具的位置，确保支管的放置角度，工作人员在根据支管焊接的高度调整管道限位夹持具和管道推送装置高度，调整完毕后，先将石英管放置在三爪卡盘的轴心位置，三爪卡盘将石英管夹持固
定，使石英管保持在多角度安装盘的轴心位置，石英管固定完毕后，管道推送装置将预先放置在内部支管推送到管道限位夹持具上，支管停留管道限位夹持具上后，同步收缩机构带动多个管道限位夹持具进行同步收缩，使管道限位夹持具上的支管与固定在轴心位置石英管抵触，支管与石英管抵触后，通过焊接设备对支管和石英管的连接处进行焊接固定，焊接时产生的废渣会落入废料收集斗的内部，废料收集斗会将废渣输送到待处理区域。可有效的提高安装的适应性和安装效率，同时节省人力。
附图说明
[0018]图1是一种石英熔接辅助设备的立体示意图。
[0019]图2是一种石英熔接辅助设备的主视图。
[0020]图3是一种石英熔接辅助设备多角度安装盘和同步收缩机构的立体示意图。
[0021]图4是一种石英熔接辅助设备中调节底座主视图。
[0022]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英熔接辅助设备，包括多角度定位摆放石英管和支管的多角度辅助定位装置，其特征在于，多角度辅助定位装置包括定位夹持石英管的三爪卡盘(1)，三爪卡盘(1)的外侧设有多角度安装盘(2)，三爪卡盘(1)与多角度安装盘(2)同轴设置，多角度安装盘(2)上数个旋转调节端，多角度安装盘(2)的调节端上均安装有管道推送装置(5)，多角度安装盘(2)的底部安装有同步收缩机构(3)，同步收缩机构(3)与多角度安装盘(2)同轴设置，同步收缩机构(3)设有数个移动收缩端，同步收缩机构(3)的移动收缩端与多角度安装盘(2)的调节端连接，同步收缩机构(3)的收缩端上均安装有管道限位夹持具(4)，管道限位夹持具(4)的进料口与管道推送装置(5)的输出端同轴设置，同步收缩机构(3)的底部还安装有废料收集斗(6)。2.根据权利要求1所述的一种石英熔接辅助设备，其特征在于，多角度安装盘(2)包括套设在三爪卡盘(1)外侧的水平安装盘(21)，水平安装盘(21)的轴心位置设有安装孔，水平安装盘(21)的顶部安装有与安装孔同轴设置的限位调节轨(22)，限位调节轨(22)上布满第一限位卡齿(221)，限位调节轨(22)上安装有数个调节底座(23)。3.根据权利要求2所述的一种石英熔接辅助设备，其特征在于，调节底座(23)的底部设有第一限位卡槽(231)和第一限位安装槽(232)，第一限位卡槽(231)与限位调节轨(22)滑动卡接，第一限位安装槽(232)的内部安装有限位滑块(233)，限位滑块(233)上设有螺纹孔，限位滑块(233)的底部设有第一限位插条(234)，调节底座(23)上还安装有第一螺纹调节杆(235)，第一螺纹调节杆(235)与限位滑块(233)的螺纹孔螺纹连接。4.根据权利要求3所述的一种石英熔接辅助设备，其特征在于，同步收缩机构(3)包括安装在水平安装盘(21)底部的固定支架(31)，固定支架(31)的轴心位置安装有升降滑轨(32)，升降滑轨(32)的顶部安装有定位安装块(33)，定位安装块(33)与三爪卡盘(1)连接，定位安装块(33)的侧部设有第一限位滑槽(331)，第一限位滑槽(331)的内部安装有数个限位滑杆(332)，限位滑杆(332)远离第一限位滑槽(331)的一端与调节底座(23)连接，限位滑杆(332)上均安装有限位滑套(35)，升降滑轨(32)上还安装有升降滑环(36)，升降滑环(36)上安装有数个转动滑块(37)，转动滑块(37)与限位滑套(35)之间均设有收缩连接杆(34)，升降滑轨(32)的内部安装有升降滚珠丝杆(38)，升降滚珠丝杆(38)与升降滑环(36)螺纹连接，升降滑轨(32)的底部还安装有旋转驱动器(39)，旋转驱动器(39)的输出端与升降滚珠丝杆(38)传动连接。5.根据权利要求4所述的一种石英熔接辅助设备，其特征在于，管道限位夹持具(4)包括安装在限位滑套(35)上的限位调节支架(41)，限位调节支架(41)上布满第二限位卡槽(411)，限位调节支架(41)上还安装有调节卡接块(42)，调节卡接块(42)的轴心位置设有轴心通孔(422)，调节卡接块(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：兰锋，李加玉，周维忠，罗志斌，
申请(专利权)人：浙江泓芯半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：