一种石英清洗槽制造技术

本实用新型专利技术公开的一种石英清洗槽，包括用于储存清洗液的储液组件，其内部对称设有两个用于承载硅片的承载组件，储液组件的一侧设有用于带动两个承载组件同步水平往复晃动的晃动组件；晃动组件包括设于储液组件一侧上部的外壳，外壳的内腔设有位移件，位移件与承载组件之间设有用于连接的连接件，外壳的内腔还设有能够自动推动位移件局部零部件水平移动的驱动件。本实用新型专利技术中电机输出轴带动偏心轮转动，最终可推动承载组件在储液组件的内腔水平移动，通过弹簧实现承载组件自动复位的作用，进而使得承载组件能够在储液组件的内腔水平晃动，采用电机控制承载组件水平晃动，既降低人工劳动强度，又避免储液组件内的清洗液溢出。出。出。

【技术实现步骤摘要】
一种石英清洗槽


[0001]本技术属于石英清洗槽
，具体涉及一种石英清洗槽。

技术介绍

[0002]半导体器件生产中硅片须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致硅片存在各种缺陷，清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种，因此，需要一种石英清洗槽将硅片放置在内进行清洗。
[0003]现有公告号为CN216988912U的专利文献公开了一种硅片清洗用双层石英槽，其包括：石英槽本体，所述石英槽本体的内部设置有若干个放置杆组成的放置架，所述放置架的上端一侧设置有提升机构，所述放置架通过提升机构在石英槽本体内部竖向移动，放置架上下往复移动，使得硅片产生振动，硅片上的污渍可掉落；所述提升机构包括横杆，所述横杆通过底端两侧的连杆固定连接于放置架的上端一侧，所述横杆的端部固定连接有竖杆，所述竖杆由横杆的端部延伸至石英槽本体的外壁中部，所述石英槽本体相对竖杆开设有竖槽，所述竖杆的下端通过连接块滑动连接于竖槽内，拉动横杆，可使得一侧的竖杆下端的连接块在竖槽内滑动，横杆下方的放置架即可移动，此种硅片的提起放入方式简单且成本低，适用于小批次的硅片清洗。通过设置提升机构，只需拉动提升机构的横杆就可以提起和放回放置架，此种移动方式简单且成本低，适用于小批次的硅片清洗，同时通过提升机构可以带动放置架上的硅片上下移动，使得硅片产生振动，硅片上的污渍可掉落，便于清洗，通过设置与放置架一体化连接的滤板，滤板可对废液进行过滤，并且当提出放置架时，与放置架底端固定的滤板随之被提出，方便清洗其表面的杂质。
[0004]尽管上述的一种硅片清洗用双层石英槽可以解决相应的技术问题，但是其提升机构需手动上下操作，长时间作业后，易造成手臂酸痛，且石英槽本体上的竖槽竖向设置，当放置架上的硅片上下移动时，石英槽本体内的清洗液易从竖槽内溢出。

技术实现思路

[0005]为了解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种石英清洗槽，以解决现有一种硅片清洗用双层石英槽，其提升机构需手动上下操作，长时间作业后，易造成手臂酸痛，且石英槽本体上的竖槽竖向设置，当放置架上的硅片上下移动时，石英槽本体内的清洗液易从竖槽内溢出的技术缺陷。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种石英清洗槽，包括用于储存清洗液的储液组件，其内部对称设有两个用于承载硅片的承载组件，所述储液组件的一侧设有用于带动两个承载组件同步水平往复晃动的晃动组件；
[0007]其中，所述晃动组件包括设于储液组件一侧上部的外壳，所述外壳的内腔设有位移件，所述位移件与承载组件之间设有用于连接的连接件，所述外壳的内腔还设有能够自动推动位移件局部零部件水平移动的驱动件。
[0008]作为本技术的进一步方案，所述储液组件包括石英槽，所述石英槽一侧的下部连通有排液管，所述排液管的端部螺纹连接有管盖。
[0009]作为本技术的进一步优选方案，所述承载组件包括位于石英槽内腔的承托件，所述承托件的顶部对称设有把手。
[0010]作为本技术的优选方案，所述承托件包括托架，所述托架的上方设有与其相平行的挡架，所述托架与挡架之间固定连接有四个矩形阵列分布的连杆，所述把手的底端与挡架的顶部固定连接。
[0011]作为本技术的进一步方案，所述位移件包括固定连接于外壳内壁面一侧的空心板，所述空心板的内腔滑动贯穿设有导杆，所述导杆的一端固定连接有T形板，所述导杆的表面套设有弹簧，所述弹簧的两端分别与空心板和T形板固定连接。
[0012]作为本技术的进一步优选方案，所述连接件包括活动连接于石英槽内壁面一侧的框架，所述托架和挡架拆卸式连接于框架上，所述框架一侧的上部固定连接有滑块，所述石英槽上开设有供滑块滑动的通孔，所述滑块远离框架的一侧穿过通孔并与T形板的一侧固定连接。
[0013]作为本技术的优选方案，所述框架的表面开设有两个相对称的燕尾卯，所述托架与挡架朝向框架的一侧均固定连接有与燕尾卯相适配的燕尾榫。
[0014]作为本技术的进一步方案，所述驱动件包括安装于外壳内壁面一侧的电机，所述电机的输出轴固定连接有偏心轮，所述偏心轮的表面与T形板的一侧接触。
[0015]相比于现有技术，本技术提供的一种石英清洗槽具有以下有益效果：电机输出轴带动偏心轮转动，最终可推动承载组件在储液组件的内腔水平移动，通过弹簧实现承载组件自动复位的作用，进而使得承载组件能够在储液组件的内腔水平晃动，采用电机控制承载组件水平晃动，既降低了人工劳动强度，又避免储液组件内的清洗液溢出，从而为硅片的清洗作业提供保障。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例个案，对本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术实施例的结构立体示意图；
[0018]图2为本技术实施例的石英槽结构剖开立体示意图；
[0019]图3为本技术实施例的石英槽与晃动组件的连接结构剖开立体示意图；
[0020]图4为本技术实施例的承托件与连接件的连接结构爆炸立体示意图。
[0021]附图标记：
[0022]1‑
储液组件、11
‑
石英槽、12
‑
排液管、13
‑
管盖、2
‑
承载组件、21
‑
承托件、211
‑
托架、212
‑
挡架、213
‑
连杆、22
‑
把手、3
‑
晃动组件、31
‑
外壳、32
‑
位移件、321
‑
空心板、322
‑
导杆、323
‑
T形板、324
‑
弹簧、33
‑
连接件、331
‑
框架、3311
‑
燕尾卯、3312
‑
燕尾榫、332
‑
滑块、333
‑
通孔、34
‑
驱动件、341
‑
电机、342
‑
偏心轮。
具体实施方式
[0023]为了使本技术实施例的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术实施例行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0024]在本技术实施例的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英清洗槽，其特征在于：包括用于储存清洗液的储液组件(1)，其内部对称设有两个用于承载硅片的承载组件(2)，所述储液组件(1)的一侧设有用于带动两个承载组件(2)同步水平往复晃动的晃动组件(3)；其中，所述晃动组件(3)包括设于储液组件(1)一侧上部的外壳(31)，所述外壳(31)的内腔设有位移件(32)，所述位移件(32)与承载组件(2)之间设有用于连接的连接件(33)，所述外壳(31)的内腔还设有能够自动推动位移件(32)局部零部件水平移动的驱动件(34)。2.根据权利要求1所述的一种石英清洗槽，其特征在于：所述储液组件(1)包括石英槽(11)，所述石英槽(11)一侧的下部连通有排液管(12)，所述排液管(12)的端部螺纹连接有管盖(13)。3.根据权利要求2所述的一种石英清洗槽，其特征在于：所述承载组件(2)包括位于石英槽(11)内腔的承托件(21)，所述承托件(21)的顶部对称设有把手(22)。4.根据权利要求3所述的一种石英清洗槽，其特征在于：所述承托件(21)包括托架(211)，所述托架(211)的上方设有与其相平行的挡架(212)，所述托架(211)与挡架(212)之间固定连接有四个矩形阵列分布的连杆(213)，所述把手(22)的底端与挡架(212)的顶部固定连接。5.根据权利要求4所述的一种石英清洗槽，其特征在于：所述位移件(...

【专利技术属性】
技术研发人员：王飞华，兰锋，许冬华，刘慢利，
申请(专利权)人：浙江泓芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：