一种扩散炉的石英炉管结构制造技术

本实用新型专利技术公开的一种扩散炉的石英炉管结构，包括用于半导体加工中对硅片进行高温扩散的炉管主体，其表面设有用于支撑的基座，基座内壁面的两侧均设有用于驱动炉管主体转动的驱动组件，基座上设有能够对驱动组件进行导向的限位组件，基座的外表面设有用于锁止限位组件局部零部件的定位组件。本实用新型专利技术中弹簧对滑块起到缓冲作用，使驱动组件不被固定由于重力原因下落时，有效地给予滑块其下落缓冲保护，进而有效避免滑块下落过快而将滑槽的内壁面碰坏及受到滑槽内壁面的反作用而伤及自身；导杆能够对弹簧起到限位作用，使得弹簧在拉伸时产生的反向弹力能够与拉力的方向始终在同一直线上，避免弹簧歪斜，从而有助于延伸弹簧的使用寿命。的使用寿命。的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉的石英炉管结构


[0001]本技术属于石英炉管
，具体涉及一种扩散炉的石英炉管结构。

技术介绍

[0002]大多数石英炉管通常与扩散炉一起配合使用，常用于半导体加工中对硅片进行高温扩散，在进行高温扩散工艺时，是将硅片连同硅片托架一起放入石英炉管中进行工艺。
[0003]现有公告号为CN217149401U的专利文献公开了一种扩散炉专用石英炉管，包括石英炉管主体，所述石英炉管主体的两端均通过轴承转动连接有转动连接板，两个所述转动连接板底部固定连接有固定连接基板，两个所述转动连接板内侧表面均设置有驱动电机，两个所述驱动电机的输出端均固定套接有驱动齿轮，所述石英炉管主体两端均固定套接有从动转环，所述从动转环的外表面固定连接有从动啮合齿牙，所述驱动齿轮与从动啮合齿牙啮合连接。通过设置从动转环，通过直接在石英炉管主体的两端设置从动转环，以降低外部多设置传动零件，传动简单化，且从动转环上的从动啮合齿牙使得驱动齿轮驱动石英炉管主体时，不会打滑传动效率高于表面直接贴合摩擦作用；通过设置连接滑柱，扭开连接滑柱上的连接柱时，使得连接柱脱离出连接螺纹槽，即可实现整个驱动电机不被固定，由于重力原因下落，以至于驱动齿轮与从动啮合齿牙脱离啮合，那么即可实现该处的驱动齿轮对从动啮合齿牙不实现驱动作用，而两个驱动电机的使用可根据实际情况选择性进行使用，自主选择性更高。
[0004]尽管上述的一种扩散炉专用石英炉管可以解决相应的技术问题，但是其移动滑槽内未设有对连接滑柱进行缓冲的缓冲结构，导致当驱动电机不被固定并由于重力原因下落时，连接滑柱会直接给予移动滑槽内壁面的底部一冲击力，由此，则会碰坏相应移动滑槽的内壁面，且连接滑柱会受到移动滑槽内壁面反作用力的冲击，进而使其受损而导致使用寿命短。

技术实现思路

[0005]为了解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种扩散炉的石英炉管结构，以解决现有一种扩散炉专用石英炉管，其移动滑槽内未设有对连接滑柱进行缓冲的缓冲结构，导致当驱动电机不被固定并由于重力原因下落时，连接滑柱会直接给予移动滑槽内壁面的底部一冲击力，由此，则会碰坏相应移动滑槽的内壁面，且连接滑柱会受到移动滑槽内壁面反作用力的冲击，进而使其受损而导致使用寿命短的技术缺陷。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种扩散炉的石英炉管结构，包括用于半导体加工中对硅片进行高温扩散的炉管主体，其表面设有用于支撑的基座，所述基座内壁面的两侧均设有用于驱动炉管主体转动的驱动组件，所述基座上设有能够对驱动组件进行导向的限位组件，所述基座的外表面设有用于锁止限位组件局部零部件的定位组件。
[0007]所述限位组件包括设于基座表面两侧的滑动件，所述滑动件的内部设有用于缓冲
的弹簧，所述弹簧的内部竖向穿插有用于限位的导杆。
[0008]作为本技术的优选方案，所述炉管主体包括转动连接于基座上的管体，所述管体的一端连通有接气管。
[0009]作为本技术的进一步优选方案，所述驱动组件包括活动设于基座内壁面的电机，所述电机的输出轴固定连接有主动齿轮，所述管体表面的端部固定连接有与主动齿轮相啮合的从动齿环。
[0010]作为本技术的进一步优选方案，所述滑动件包括开设于基座表面两侧的滑槽，所述滑槽的内腔滑动连接有滑块，所述滑块的一侧与对应电机固定连接，所述弹簧的两端分别与滑槽的内壁面和滑块的底部固定连接，所述导杆的两端均与滑槽的内壁面固定连接。
[0011]作为本技术的进一步方案，所述滑块上开设有供导杆穿过的贯穿孔，所述贯穿孔的内壁面设有用于减小摩擦的辅助件。
[0012]作为本技术的进一步优选方案，所述辅助件包括开设于贯穿孔内壁面的凹槽，所述凹槽的内腔活动嵌设有滚珠，所述导杆的表面开设有供滚珠滚动的滚槽。
[0013]作为本技术的优选方案，所述定位组件包括固定连接于滑块远离电机一侧的挡板，所述挡板上开设有通孔，所述通孔的内腔贯穿设有螺栓，所述基座的表面开设有与螺栓相适配的螺孔。
[0014]作为本技术的进一步方案，所述螺栓的表面套设有橡胶圈垫，所述橡胶圈垫位于挡板远离基座的一侧。
[0015]相比于现有技术，本技术提供的一种扩散炉的石英炉管结构具有以下有益效果：弹簧能够对滑块起到缓冲作用，使得驱动组件不被固定由于重力原因下落时，能有效地给予滑块其下落缓冲保护，进而有效避免滑块下落过快而将滑槽的内壁面碰坏及受到滑槽内壁面的反作用而伤及自身；同时，通过导杆能够对弹簧起到限位作用，使得弹簧在拉伸时产生的反向弹力能够与拉力的方向始终在同一直线上，避免弹簧歪斜，从而有助于延伸弹簧的使用寿命。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例个案，对本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术实施例的结构立体示意图；
[0018]图2为本技术实施例的局部连接结构剖开示意图；
[0019]图3为本技术实施例的局部连接结构爆炸示意图；
[0020]图4为本技术实施例的滑块与辅助件的连接结构剖开示意图。
[0021]附图标记：
[0022]1‑
炉管主体、11
‑
管体、12
‑
接气管、2
‑
基座、3
‑
驱动组件、31
‑
电机、32
‑
主动齿轮、33
‑
从动齿环、4
‑
限位组件、41
‑
滑动件、411
‑
滑槽、412
‑
滑块、42
‑
弹簧、43
‑
导杆、44
‑
贯穿孔、45
‑
辅助件、451
‑
凹槽、452
‑
滚珠、453
‑
滚槽、5
‑
定位组件、51
‑
挡板、52
‑
通孔、53
‑
螺栓、54
‑
螺
孔、55
‑
橡胶圈垫。
具体实施方式
[0023]为了使本技术实施例的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术实施例行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0024]在本技术实施例的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉的石英炉管结构，其特征在于：包括用于半导体加工中对硅片进行高温扩散的炉管主体(1)，其表面设有用于支撑的基座(2)，所述基座(2)内壁面的两侧均设有用于驱动炉管主体(1)转动的驱动组件(3)，所述基座(2)上设有能够对驱动组件(3)进行导向的限位组件(4)，所述基座(2)的外表面设有用于锁止限位组件(4)局部零部件的定位组件(5)；其中，所述限位组件(4)包括设于基座(2)表面两侧的滑动件(41)，所述滑动件(41)的内部设有用于缓冲的弹簧(42)，所述弹簧(42)的内部竖向穿插有用于限位的导杆(43)。2.根据权利要求1所述的一种扩散炉的石英炉管结构，其特征在于：所述炉管主体(1)包括转动连接于基座(2)上的管体(11)，所述管体(11)的一端连通有接气管(12)。3.根据权利要求2所述的一种扩散炉的石英炉管结构，其特征在于：所述驱动组件(3)包括活动设于基座(2)内壁面的电机(31)，所述电机(31)的输出轴固定连接有主动齿轮(32)，所述管体(11)表面的端部固定连接有与主动齿轮(32)相啮合的从动齿环(33)。4.根据权利要求3所述的一种扩散炉的石英炉管结构，其特征在于：所述滑动件(41)包括开设于基座(2)表面两侧的滑槽(411)，所述滑槽(411)的内腔滑动连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：兰锋，王飞华，罗志斌，张小荣，
申请(专利权)人：浙江泓芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：