本发明涉及‌磁控溅射镀膜技术领域，具体涉及一种可提高溅射效率的表面氧化装置及方法，包括控制箱，还包括旋转镀膜组件，包括转动安装在镀膜箱中心处放置架，放置架上等角度放置有多个基材；溅射机构，包括固定安装在镀膜箱两侧的溅射箱，溅射箱中转动安...

本发明涉及金属镀膜机技术领域，具体为一种自动化镀膜机，包括密封门，所述密封门的底部安装有门下滚轮，所述门下滚轮的底部滑动接触有下轨道件，所述下轨道件的底部设置有引导架体和伸缩驱动装置一，所述密封门的顶部设置有上框杆和层框。本发明通过门下...

本技术公开了一种磁控溅射镀膜机，所述磁控溅射镀膜机包括基座以及设置于所述基座上的设备主体、深冷系统、抽真空装置、电源柜和控制柜，所述深冷系统与所述设备主体连接，用于对所述设备主体内部进行降温，所述抽真空装置与所述设备主体连接，用于对所述...

本技术属于溅射设备领域，公开了一种磁控溅射设备的笼架机构及磁控溅射设备，磁控溅射设备的笼架机构包括转筒；上安装件设置于转筒的上端，上安装件上设有上插孔组，上插孔组包括第一上插孔、第二上插孔和第三上插孔，第一上插孔和第二上插孔连接第一工装...

本技术公开了一种磁控溅射圆柱靶遮蔽装置及磁控溅射镀膜机，该装置包括：第一齿盘，设置有第一遮蔽罩；第二齿盘，设置有第二遮蔽罩，所述第二齿盘与所述第一齿盘适配啮合，所述第一遮蔽罩和所述第二遮蔽罩位于所述第一齿盘、第二齿盘的同一侧；驱动机构，...

本技术公开了一种平面磁控溅射靶旋转装置及磁控溅射镀膜机，该装置包括：第一齿盘；第二齿盘，与所述第一齿盘适配啮合，所述第一齿盘和所述第二齿盘上分别设置有平面靶，两个所述平面靶均位于所述第一齿盘、所述第二齿盘的同一侧；驱动机构，与所述第二齿...

本技术提供一种用于溅射镀膜机的移栽机构及溅射镀膜机，溅射镀膜机具有转盘机构，转盘机构适于放置工装板，用于溅射镀膜机的移栽机构包括上轨道，下轨道，支架，升降杆组件，控制模块和传感器，上轨道位于下轨道的上方，并与下轨道平行设置，支架可转动地...

一种用于真空镀膜机的小笼架机构及真空镀膜机，包括，转盘、基片支架和驱动机构，转盘设置在腔室门内，且转盘包括相对设置的第一转盘和第二转盘，若干个基片支架可转动地设置在第一转盘与第二转盘之间，用于安装待镀膜产品，驱动机构包括第二驱动组件和第...

一种镀膜机用翻板阀装置及镀膜机，其中，一种镀膜机用翻板阀装置包括：阀板、第一转轴组件、至少一个第二转轴组件和驱动组件，所述阀板铰接在真空室上，所述第一转轴组件设置在所述阀板的一侧，用以带动所述阀板转动，每个所述第二转轴组件设置在所述阀板...

本实用新型公开了一种用于镀膜机的工艺腔笼架结构及镀膜机，所述笼架结构包括第一转盘、第二转盘、驱动装置以及若干固定件，所述第一转盘设置在所述镀膜室内靠近顶壁的位置，所述第二转盘朝向所述第一转盘远离所述顶壁一侧设置；驱动装置的驱动轴依次穿过...

本实用新型公开了一种用于镀膜机的工艺腔可变笼架结构及镀膜机，所述可变笼架结构包括：转盘、驱动装置、固定模组及顶层隔板，所述转盘的数量为两个且两个所述转盘相互平行；所述驱动装置的驱动轴分别穿过两个所述转盘并将两者固定连接，所述驱动装置驱动...

本实用新型公开了一种用于镀膜机的换板结构及单体连续磁控溅射镀膜机，所述换板结构包括可移动支架，活动安装在镀膜机内可沿所述镀膜机的镀膜室出入；电磁发生装置，其设置在可移动支架上；若干磁性件，均设在用于放置待镀膜产品的工装板上，且所述磁性件...

本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种镀膜用的磁控溅射机。为保证磁控溅射机的镀膜质量，本实用新型提出一种磁控溅射机，该磁控溅射机的镀膜腔的侧壁上设置有多个抽气口，所述抽气口靠近所述磁控溅射机中的溅射靶位，且所述抽气口与抽气系统连通。本...

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，公开了一种真空镀膜机公转齿轮的安装结构及真空镀膜机。该安装结构包括：公转齿轮，所述公转齿轮上设有多个从动轴，每个所述从动轴上均设有从动齿轮，使得所述从动齿轮位于所述公转齿轮的一侧；固定齿轮，所述固定齿轮...

本发明属于镀膜设备领域，公开了一种磁控溅射镀膜机，蒸发镀膜室、溅射镀膜室和设置于蒸发镀膜室与溅射镀膜室之间可启闭地的翻板阀，翻板阀开启时蒸发镀膜室与溅射镀膜室连通，翻板阀关闭时将蒸发镀膜室与溅射镀膜室分隔为两个独立的腔室；蒸发镀膜室上设...

本实用新型公开了一种具有辅助靶的磁控溅射镀膜装置，包括真空仓、磁控溅射靶、磁控辅助靶、仓门以及工装总成。磁控溅射靶呈纵向地设于真空仓侧壁面。磁控辅助靶呈横向地设于真空仓的上壁面和/或下壁面。仓门可转动地安装于真空仓的开口处。工装总成包括...

本实用新型公开了一种具有绝缘结构的镀膜传动装置，包括支架、工装、驱动装置、电源装置和绝缘件。支架包括相对设置的上支撑架和下支撑架。工装用以安装待镀膜产品。所述工装连接于上支撑架和所述下支撑架。驱动装置设于上支撑架和/或下支撑架。电源装置...

本实用新型专利公开了一种用于镀膜机的磁控溅射装置，镀膜机包括镀膜室和转笼，转笼可转动地安装于镀膜室内。磁控溅射装置包括一控制器和至少一磁控溅射组件。磁控溅射组件包括一呈圆管状的靶材、一呈条状的磁轭和一驱动件。靶材安装于镀膜室内，且位于转...

本发明专利公开了一种磁控溅射镀膜设备及镀膜方法，磁控溅射镀膜设备包括一设备本体、一安装于设备本体内部的转笼及一安装于转笼内部的磁控溅射装置。转笼的内壁面用于安装镀膜产品，且转笼可围绕于磁控溅射装置转动，以使磁控溅射装置对镀膜产品进行均匀...

本实用新型专利公开了一种用于镀膜机的工装转架，工装转架包括转筒和支座。支座包括上支撑座、下支撑座和多个支撑型条。上支撑座和下支撑座组装于镀膜机内部，且上下相对设置。多个支撑型条连接于上支撑座和下支撑座。转筒由多个呈弧型片状的板体依次拼接...