一种真空镀膜机公转齿轮的安装结构及真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜机技术领域，公开了一种真空镀膜机公转齿轮的安装结构及真空镀膜机。该安装结构包括：公转齿轮，所述公转齿轮上设有多个从动轴，每个所述从动轴上均设有从动齿轮，使得所述从动齿轮位于所述公转齿轮的一侧；固定齿轮，所述固定齿轮固定设置在所述公转齿轮靠近所述从动齿轮的一侧，并与所述公转齿轮同心设置，所述固定齿轮分别与多个所述从动齿轮适配啮合；滚动轴承，所述滚动轴承设置在所述公转齿轮与所述固定齿轮之间的中心位置，所述滚动轴承分别与所述固定齿轮和所述公转齿轮连接。通过在公转齿轮的下侧中部设置一个滚动轴承，支撑整个公转齿轮旋转，减少了摩擦力，使旋转更轻盈，转动更稳定，增加了设备的稳定性。备的稳定性。备的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机公转齿轮的安装结构及真空镀膜机


[0001]本技术涉及真空镀膜机
，尤其涉及一种真空镀膜机公转齿轮的安装结构及真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。
[0003]如图1所示，现有的真空镀膜机中，公转齿轮1的下侧设有多个支撑轴承2，公转齿轮1在自身的重力的作用下，同多个支撑轴承2产生摩擦，摩擦力较大，并且旋转时有跳动，导致轴承和齿轮盘磨损快。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种真空镀膜机公转齿轮的安装结构及真空镀膜机，通过在公转齿轮的下侧中部设置一个滚动轴承，支撑整个公转齿轮旋转，减少了摩擦力，使旋转更轻盈，转动更稳定，增加了设备的稳定性。
[0005]本技术提供的技术方案如下：
[0006]一种真空镀膜机公转齿轮的安装结构，包括：
[0007]公转齿轮，所述公转齿轮上设有多个从动轴，每个所述从动轴上均设有从动齿轮，所述从动齿轮位于所述公转齿轮的一侧；
[0008]固定齿轮，所述固定齿轮固定设置在所述公转齿轮靠近所述从动齿轮的一侧，并与所述公转齿轮同心设置，所述固定齿轮分别与多个所述从动齿轮适配啮合；
[0009]滚动轴承，所述滚动轴承设置在所述公转齿轮与所述固定齿轮之间的中心位置，所述滚动轴承分别与所述固定齿轮和所述公转齿轮连接，使得所述公转齿轮可相对所述固定齿轮旋转。
[0010]进一步优选地，所述滚动轴承包括内轮、外轮及若干个滚子，若干个所述滚子适配设置在所述内轮与所述外轮之间，使得所述内轮可相对所述外轮转动；
[0011]所述外轮与所述固定齿轮连接，所述内轮与所述公转齿轮连接，使得所述公转齿轮可相对所述固定齿轮旋转。
[0012]进一步优选地，所述外轮的中间设有用于容纳所述内轮的内轮孔，所述外轮包括轴承垫板和轴承盖板，所述内轮孔分别贯穿所述轴承垫板和所述轴承盖板，所述轴承垫板、所述轴承盖板及所述内轮之间形成容纳所述滚子的滚子槽，第一螺栓依次穿过所述固定齿轮、所述轴承垫板、所述轴承盖板将其三者连接为一体。
[0013]进一步优选地，所述内轮包括主轴和主轴盖板，所述主轴设置在所述内轮孔中，并与若干个所述滚子适配连接，所述主轴盖板设置在所述主轴远离所述公转齿轮的一侧，第二螺栓依次穿过所述主轴盖板、所述主轴、所述公转齿轮将其三者连接为一体。
[0014]进一步优选地，所述滚动轴承为交叉滚子轴承，其包括内轮、外轮及设置在所述内轮与所述外轮之间的若干个滚子，所述滚子呈90
°
相互垂直交叉排列，所述滚子之间设有隔离块，用于防止所述滚子倾斜产生的摩擦；
[0015]所述外轮与所述固定齿轮连接，所述内轮与所述公转齿轮连接，使得所述公转齿轮可相对所述固定齿轮旋转。
[0016]进一步优选地，所述公转齿轮包括驱动盘和公转齿轮盘，所述公转齿轮盘为环形结构，所述驱动盘与所述公转齿轮盘同心设置，所述公转齿轮盘设置在所述驱动盘的上侧，并通过紧固件固定连接；
[0017]所述驱动盘放置在所述滚动轴承上，并通过第二螺栓与所述滚动轴承的内轮固定连接；
[0018]多个所述从动轴均匀设置在所述公转齿轮盘上，所述从动齿轮设置在所述从动轴的端部并与所述固定齿轮适配啮合。
[0019]进一步优选地，所述固定齿轮包括固定盘和固定齿轮盘，所述固定盘为环形结构，所述固定盘和所述固定齿轮盘同心设置，所述固定盘设置在所述固定齿轮盘的上侧，并通过紧固件固定连接；
[0020]所述滚动轴承的外轮放置在所述固定盘的内圈上，并通过第一螺栓与所述固定盘固定连接，所述固定齿轮盘与多个所述从动齿轮适配啮合。
[0021]进一步优选地，还包括：若干个固定柱；
[0022]若干个所述固定柱间隔设置在所述固定齿轮的下侧，所述固定齿轮通过若干个所述固定柱固定在真空镀膜机的底座上。
[0023]进一步优选地，若干个所述固定柱沿所述固定齿轮的径向方向均匀设置；
[0024]所述固定柱包括支撑套及固定螺栓，所述支撑套设置在所述固定齿轮与所述底座之间，所述固定螺栓依次穿过所述固定齿轮、所述支撑套与所述底座螺接。
[0025]本技术提供的另一技术方案如下：
[0026]一种真空镀膜机，包括上述中任意一项所述的真空镀膜机公转齿轮的安装结构。
[0027]与现有技术相比，本技术的真空镀膜机公转齿轮的安装结构及真空镀膜机有益效果在于：
[0028]本技术中，通过在公转齿轮的下侧中部设置一个滚动轴承，支撑整个公转齿轮旋转，减少了摩擦力，使旋转更轻盈，转动更稳定，增加了设备的稳定性；将滚动轴承设置为交叉滚子轴承，轴承内部结构采用滚子呈90
°
相互垂直交叉排列，滚子之间装有间隔保持器或者隔离块，可以防止滚子的倾斜或滚子之间相互磨察，有效防止了旋转扭矩的增加。
附图说明
[0029]下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对上述特性、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。
[0030]图1是现有的真空镀膜机公转齿轮处的局部结构示意图；
[0031]图2是本技术一具体实施例真空镀膜机公转齿轮处的结构示意图；
[0032]图3是本技术另一具体实施例真空镀膜机公转齿轮处的结构示意图。
[0033]附图标号说明：
[0034]1.公转齿轮，2.支撑轴承，3.从动轴，4.从动齿轮，5.固定齿轮，6.滚动轴承，7.内轮，8.外轮，9.滚子，10.轴承垫板，11.轴承盖板，12.第一螺栓，13.主轴，14.主轴盖板，15.第二螺栓，16.驱动盘，17.公转齿轮盘，18.固定盘，19.固定齿轮盘，20.固定柱，21.底座，22.支撑套，23.固定螺栓。
具体实施方式
[0035]以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本申请实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其他实施例中也可以实现本申请。在其他情况中，省略对众所周知的系统、装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本申请的描述。
[0036]应当理解，当在本说明书和所附权利要求书中使用时，术语“包括”指示所述描述特征、整体、步骤、操作、元素和/或组件的存在，但并不排除一个或多个其他特征、整体、步骤、操作、元素、组件和/或集合的存在或添加。
[0037]为使图面简洁，各图中只示意性地表示出了与本技术相关的部分，它们并不代表其作为产品的实际结构。另外，以使图面简洁便于理解，在有些图中具有相同结构或功能的部件，仅示意性地绘示了其中的一个，或仅标出了其中的一个。在本文中，“一个”不仅表示“仅此一个”，也可以表示“多于一个”的情形。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机公转齿轮的安装结构，其特征在于，包括：公转齿轮，所述公转齿轮上设有多个从动轴，每个所述从动轴上均设有从动齿轮，所述从动齿轮位于所述公转齿轮的一侧；固定齿轮，所述固定齿轮固定设置在所述公转齿轮靠近所述从动齿轮的一侧，并与所述公转齿轮同心设置，所述固定齿轮分别与多个所述从动齿轮适配啮合；滚动轴承，所述滚动轴承设置在所述公转齿轮与所述固定齿轮之间的中心位置，所述滚动轴承分别与所述固定齿轮和所述公转齿轮连接，使得所述公转齿轮可相对所述固定齿轮旋转。2.根据权利要求1所述的真空镀膜机公转齿轮的安装结构，其特征在于：所述滚动轴承包括内轮、外轮及若干个滚子，若干个所述滚子适配设置在所述内轮与所述外轮之间，使得所述内轮可相对所述外轮转动；所述外轮与所述固定齿轮连接，所述内轮与所述公转齿轮连接，使得所述公转齿轮可相对所述固定齿轮旋转。3.根据权利要求2所述的真空镀膜机公转齿轮的安装结构，其特征在于：所述外轮的中间设有用于容纳所述内轮的内轮孔，所述外轮包括轴承垫板和轴承盖板，所述内轮孔分别贯穿所述轴承垫板和所述轴承盖板，所述轴承垫板、所述轴承盖板及所述内轮之间形成容纳所述滚子的滚子槽，第一螺栓依次穿过所述固定齿轮、所述轴承垫板、所述轴承盖板将其三者连接为一体。4.根据权利要求3所述的真空镀膜机公转齿轮的安装结构，其特征在于：所述内轮包括主轴和主轴盖板，所述主轴设置在所述内轮孔中，并与若干个所述滚子适配连接，所述主轴盖板设置在所述主轴远离所述公转齿轮的一侧，第二螺栓依次穿过所述主轴盖板、所述主轴、所述公转齿轮将其三者连接为一体。5.根据权利要求1所述的真空镀膜机公转齿轮的安装结构，其特征在于：所述滚动轴承为交叉滚子轴承，其包括内轮、外轮及设置在所述内轮与所述外轮之间的若干个滚子，所述滚子呈90
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【专利技术属性】
技术研发人员：李龙哲，夏伟，李添，李花，朱小凤，
申请(专利权)人：上海哈呐技术装备有限公司，
类型：新型
国别省市：