一种磁控溅射机制造技术

本实用新型专利技术涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种镀膜用的磁控溅射机。为保证磁控溅射机的镀膜质量，本实用新型专利技术提出一种磁控溅射机，该磁控溅射机的镀膜腔的侧壁上设置有多个抽气口，所述抽气口靠近所述磁控溅射机中的溅射靶位，且所述抽气口与抽气系统连通。本实用新型专利技术磁控溅射机中的镀膜腔上的抽气口靠近溅射靶位并与抽气系统连通，抽气系统在进行抽真空工作时，可通过抽气口将镀膜腔中的气体抽出，从而可使得溅射靶位周围的气氛保持一致，即使溅射靶周围的气氛保持一致，进而可提高本实用新型专利技术磁控溅射机的镀膜质量。磁控溅射机的镀膜质量。磁控溅射机的镀膜质量。

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射机


[0001]本技术涉及镀膜
，尤其涉及一种镀膜用的磁控溅射机。

技术介绍

[0002]现有的磁控溅射机中，溅射装置位于镀膜腔的四周，而高真空抽气口设置在镀膜腔的一端。这样，在抽气装置抽气时，气流仅沿一个方向流动，而无法控制远离抽气口并位于溅射装置中溅射靶位周围的气体，进而影响磁控溅射机的镀膜质量。

技术实现思路

[0003]为保证磁控溅射机的镀膜质量，本技术提出一种磁控溅射机，该磁控溅射机的镀膜腔的侧壁上设置有多个抽气口，所述抽气口靠近所述磁控溅射机中的溅射靶位，且所述抽气口与抽气系统连通。本技术磁控溅射机中的镀膜腔上的抽气口靠近溅射靶位并与抽气系统连通，抽气系统在进行抽真空工作时，可通过抽气口将镀膜腔中的气体抽出，从而可使得溅射靶位周围的气氛保持一致，即使溅射靶周围的气氛保持一致，进而可提高本技术磁控溅射机的镀膜质量。
[0004]优选地，所述镀膜腔的侧壁上设置有三个所述抽气口，且所述抽气口位于两个相邻的所述溅射靶位之间。这样，将抽气口布置在两个相邻的溅射靶位之间，在抽气过程中，一个抽气口同时抽取两个相邻的溅射靶位周围的气体，既可以保证溅射靶位周围的气氛保持一致，又可以减少抽气口数量，进而简化抽气系统的结构，降低本技术磁控溅射机的制造成本。
[0005]优选地，所述抽气系统包括抽气罩、抽气管和抽气泵，所述抽气罩罩设在所述抽气口上并安装固定在所述镀膜腔的外壁上，且所述抽气罩通过所述抽气管与所述抽气泵连通。这样的抽气系统，由抽气罩、抽气管和抽气泵连接构成，结构简单，制造方便。进一步地，所述抽气罩开拆卸地安装固定在所述镀膜腔的外壁上。这样，在使用及检修过程中，可拆卸抽气罩，使用及检修方便。
[0006]优选地，所述抽气管包括抽气主管和抽气支管，所述抽气主管与所述抽气泵连接，所述抽气支管连接所述抽气罩和所述抽气主管。这样，不同的抽气口可先分别通过抽气支管与抽气主管连通，再通过抽气主管与抽气泵连通，可减少抽气泵的需求量，简化了抽气系统的结构，降低了抽气系统的制造成本，进而降低本技术磁控溅射机的制造生产成本。进一步地，所述抽气支管的两端设置有软管，且该软管通过锁紧卡箍与对配件连接。扎样，抽气支管的两端分别通过软管与抽气罩及抽气主管连通，可有效降低抽气支管的结构及装配精度，从而可降低抽气支管的布设难度，提高抽气支管的布设及装配效率，进而可降低本技术磁控溅射机的生产组装难度，降低本技术磁控溅射机的生产成本。
[0007]优选地，所述镀膜腔的侧壁上设置有初抽气口，且该初抽气口靠近所述镀膜腔的底部并与所述抽气系统连通。这样，在进行初抽气时，可避免灰尘大量扬起，影响本技术磁控溅射机的镀膜质量。
[0008]优选地，所述初抽气口通过初抽气管与所述抽气系统中的初抽气泵连通。这样，初抽气口通过处抽气管与初抽气泵连通，以利用初抽气泵通过初抽气口抽出久置未用的镀膜腔中的气体，同时可避免初抽气体进入到抽气系统中的抽气管和抽气泵中，甚至进入镀膜腔中。进一步地，所述初抽气管穿过支撑架与所述初抽气口连通，且所述支撑架包括支撑环和支撑板，所述支撑环套设在所述初抽气管上，所述支撑板位于所述支撑环和所述镀膜腔之间并连接所述支撑环和所述镀膜腔的外壁。这样，可利用支撑架支撑初抽气管，避免初抽气管因长时间受重力作用而下坠变形，甚至出现漏气，影响使用。进一步优选地，所述支撑架包括至少三个所述支撑板，且所述支撑板在所述初抽气管的四周呈均布设置。这样，支撑架中的连接支撑环和镀膜腔的外壁的支撑板均布在初抽气管的四周，结构简单，支撑效果好。
附图说明
[0009]图1为本技术磁控溅射机在第一角度的结构示意图；
[0010]图2为本技术磁控溅射机在第二角度时的结构示意图。
具体实施方式
[0011]下面，结合图1和2，对本技术磁控溅射机进行详细说明。
[0012]如图1和2所示，本技术磁控溅射机的镀膜腔1的侧壁上设置有多个抽气口(图中未示出)，该抽气口靠近磁控溅射机中安装溅射靶(图中未示出)的溅射靶位2，且抽气口与抽气系统连通。优选地，镀膜腔1的侧壁上设置有三个抽气口，且抽气口位于两个相邻的溅射靶位2之间。这样，将抽气口布置在两个相邻的溅射靶位2之间，在抽气过程中，一个抽气口同时抽取两个相邻的溅射靶位2周围的气体，既可以保证溅射靶位2周围的气氛保持一致，又可以减少抽气口数量，进而简化抽气系统的结构，降低本技术磁控溅射机的制造成本。
[0013]本技术磁控溅射机中的镀膜腔1上的抽气口靠近溅射靶位2并与抽气系统连通，抽气系统在进行抽真空工作时，可通过抽气口将镀膜腔1中的气体抽出，从而可使得溅射靶位2周围的气氛保持一致，即使溅射靶周围的气氛保持一致，进而可提高本技术磁控溅射机的镀膜质量。
[0014]如图1和2所示，抽气系统包括抽气罩31、抽气管32和抽气泵33，其中，抽气罩1罩设在抽气口上并安装固定在镀膜腔1的外壁上，且抽气罩31通过抽气管32与抽气泵33连通。这样的抽气系统，由抽气罩31、抽气管32和抽气泵33连接构成，结构简单，制造方便。优选地，抽气罩31开拆卸地安装固定在镀膜腔1的外壁上。这样，在使用及检修过程中，可拆卸抽气罩31，使用及检修方便。优选地，抽气管32包括抽气主管321和抽气支管322，抽气主管321与抽气泵33连接，抽气支管322连接抽气罩31和抽气主管321。这样，不同的抽气口可先分别通过抽气支管322与抽气主管321连通，再通过抽气主管321与抽气泵33连通，可减少抽气泵33的需求量，简化了抽气系统的结构，降低了抽气系统的制造成本，进而降低本技术磁控溅射机的制造生产成本。优选地，抽气支管322的两端设置有软管323，且该软管323通过锁紧卡箍324与对配件连接。扎样，抽气支管322的两端分别通过软管323与抽气罩31及抽气主管321连通，可有效降低抽气支管322的结构及装配精度，从而可降低抽气支管322的布设难
度，提高抽气支管322的布设及装配效率，进而可降低本技术磁控溅射机的生产组装难度，降低本技术磁控溅射机的生产成本。
[0015]如图1和2所示，镀膜腔1的侧壁上设置有初抽气口11，且该初抽气口11靠近镀膜腔1的底部并与抽气系统连通。这样，在进行初抽气时，可避免灰尘大量扬起，影响本技术磁控溅射机的镀膜质量。优选地，初抽气口11通过初抽气管34与抽气系统中的初抽气泵35连通。这样，初抽气口11通过处抽气管34与初抽气泵35连通，以利用初抽气泵35通过初抽气口11抽出久置未用的镀膜腔1中的气体，同时可避免初抽气体进入到抽气系统中的抽气管32和抽气泵33中，甚至进入镀膜腔1中。优选地，初抽气管34穿过支撑架36与初抽气口11连通，且支撑架36包括支撑环361和支撑板362，支撑环361套设在初抽气管34上，支撑板362位于支撑环361和镀膜腔1之间并连接支撑环361和镀膜腔1的外壁。这样，可利用支撑架36支撑初抽气管34，避免初抽气管34因长时间受重本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射机，其特征在于，该磁控溅射机的镀膜腔的侧壁上设置有多个抽气口，所述抽气口靠近所述磁控溅射机中的溅射靶位，且所述抽气口与抽气系统连通；所述镀膜腔的侧壁上设置有三个所述抽气口，且所述抽气口位于两个相邻的所述溅射靶位之间；所述抽气系统包括抽气罩、抽气管和抽气泵，所述抽气罩罩设在所述抽气口上并安装固定在所述镀膜腔的外壁上，且所述抽气罩通过所述抽气管与所述抽气泵连通。2.根据权利要求1所述的磁控溅射机，其特征在于，所述抽气罩开拆卸地安装固定在所述镀膜腔的外壁上。3.根据权利要求1所述的磁控溅射机，其特征在于，所述抽气管包括抽气主管和抽气支管，所述抽气主管与所述抽气泵连接，所述抽气支管连接所述抽气罩和所述抽气主管。4.根据权利要求3所述的磁控溅射机，其特征在于，所述抽气支管的两端设...

【专利技术属性】
技术研发人员：周征华，夏伟，沈聚丰，周显君，李花，
申请(专利权)人：上海哈呐技术装备有限公司，
类型：新型
国别省市：