一种晶圆定位和固定装置，它由固定杆A、固定杆B、固定销A、固定销F、滚轮A、滚轮B、固定销B、固定销E、拉簧A和拉簧B组成。所述固定杆A装配于上盖的一侧卡销上并与固定杆A中间的孔配合装配，滚轮A装配于固定杆A的一端卡槽内，用固定销A把滚...

一种电控晶圆加热盘，包括硅橡胶电热圈、热导金属板、晶圆托盘、电子显示盒和屏蔽罩。所述硅橡胶电热圈与热导金属板连接；所述热导金属板与电子显示盒连接；所述晶圆托盘放置在热导金属板上方，并与电子显示盒相连；所述的屏蔽罩与电子显示盒相连。通过设...

一种晶圆夹紧固定装置，它由滚轮、固定轴和气缸组成。所述滚轮配合固定轴装配于气缸的活塞杆顶端的马蹄型的凹槽中，气缸固定于固定板内，方向为滚轮朝向取物器，取物器和固定板相连接；当气缸带动滚轮作动会配合取物器夹紧晶圆，从而达到夹紧和固定住晶圆...

一种设有倾角传感器的晶圆传输末端执行器，它由晶圆承载基板、倾角传感器模块、螺钉、信号线缆组成。所述晶圆承载基板是作承载晶圆用途，呈扁平形，其一端设有安装螺孔，使其能够安装固定在机械手臂上；所述倾角传感器是双轴倾角传感器模块，通过螺钉水平...

一种基于视觉系统的真空环境下的晶圆缺口检测装置，它包括腔体、晶圆托盘、晶圆卡环、高速摄像机。所述腔体是由一金属材质制作的凹槽形壳体和上部覆盖的石英玻璃盖板组成，腔体一侧设有晶圆传输口，且内部设有晶圆托盘和晶圆卡环；所述晶圆托盘为圆盘形，...

半导体设备移动支撑装置，包括支撑平板、滚珠法兰和滚珠组成。所述的滚珠与滚珠法兰相连；所述的支撑平板与多个滚珠法兰相连。支撑平板一面与多个滚珠法兰相连，另一面用于支撑半导体设备；滚珠放入滚珠法兰内部圆槽内，通过螺钉固定在滚珠法兰和支撑平板...

腔体气缸万向节传动装置，包括拱形固定座、纵向调节环、横向调节环、铜环和销钉。所述的拱形固定座一端与机械设备相连，一端通过铜环与纵向调节环相连；所述的纵向调节环与拱形固定座和横向调节环相连，纵向调节环四面分别有四个孔洞，其中两个孔安装铜环...

晶圆传送探测传感装置，包括固定圆盘、透光圆盘、传感器支架和传感器。所述的传感器与传感器支架相连，传感器支架与固定圆盘配合，所述的透光圆盘与固定圆盘相连。所述的传感器支架，一端有折弯，折弯面上有槽口，用于固定传感器信号连接接头；传感器另一...

一种晶圆夹持装置，它包括晶圆承载板体、定位块、气动执行器、直线导轨、滑块、压力传感器、卡块、位置传感器。所述晶圆承载板体安装固定在机械手臂的末端手臂内，板体上面安装四个晶圆定位块，直接承载晶圆；所述气动执行器安装固定机械手臂的末端手臂内...

在半导体设备领域，晶圆是当前集成电路的基础半成品，晶圆的加工处理都需要靠机器人手臂来传输晶圆。当机器人手臂需要拆装时，应为机器人手臂是利用一种无接触的磁力传动原理实现，所以超强的磁力使得人力无法轻松安全得拆除或安装磁力部件。本实用新型一...

一种缺口晶圆定位控制系统，它包括镭射发射模块、CCD及驱动模块、CCD逻辑控制电路、计算电路模块、单片机控制模块、步进电机驱动模块、步进电机、缺口晶圆；其特征在于所述的镭射发射模块放置于缺口晶圆上方并对准缺口；所述的CCD及驱动模块放置...

一种真空旋转装置，它由联结轴、连接管套、同步轮、外衬套、轴承和磁铁组成。所述装置是由一个联结轴配合轴承装配连接管套内，托盘安装在联结轴上，同步轮、磁铁和外衬套装配在连接管套外部；当马达带动同步轮时，外衬套会一起旋转，外衬套带动联结轴跟着...

一种带有压力传感器的晶圆末端执行器，包括板体，所述板体呈叉形，板体上设有一中心定位孔，一减重孔，三个晶圆承载圆台，板体底部设有三条线缆通道；所述三个晶圆承载圆台，内部均设有压力传感器；所述压力传感器顶部均设耐高温橡胶圆台形垫圈；所述耐高...

一种晶圆烘烤装置，它包括腔体、加热器、晶圆传输手臂、晶圆中转承载台、晶圆吸盘。所述晶圆传输手臂安装固定在腔体的前端；所述晶圆吸盘安装固定在腔体的后端；所述晶圆中转承载台安装固定在晶圆传输手臂和晶圆吸盘的中间位置；所述晶圆传输手臂将晶圆传...

一种旋转并保持垂直运动的装置，它由圆盘、轴承、滚针轴承、支架和护筒支架组成。所述装置由支架和滚针轴承组合体，同样三组组合体固定在护筒支架上面，护筒支架装配在轴承内圈，轴承外圈装配在圆盘内圈；筒从护筒支架中间穿过，当筒上下运动并旋转时，由...

本申请提供一种刻蚀终点确定方法、晶圆刻蚀方法以及刻蚀系统，所述刻蚀终点确定方法采用矩形窗口选取波峰或波谷附近的多个数据，计算得到波峰或波谷的较为准确的位置，再以最后的半个周期的刻蚀速率作为最后不足半个周期的样品晶圆刻蚀速率，从而将多个刻...

一种晶圆升降电机的传动带调节装置，它包括一个电机固定座、一个底座、一个调节杆、一个调节杆垫块、一个固定导杆；其特征在于：所述的电机固定座固定于底座上方；所述的调节杆穿插在底座和电机固定座的螺纹孔上；所述的调节杆垫块套在调节杆上并置于调节...

单波长光电信号转换装置，包括通光柱体、透镜固定座、滤光片固定座、光电倍增管固定块和光电倍增管。所述的透镜固定座安装在通光柱体中；所述的滤光片固定座与通光柱体连接；所述的通光柱体与光电倍增管固定块固定；所述的光电倍增管固定块与通光柱体、光...

一种应用于晶圆定位的激光发生器，它包括直流电源、光强调节电路、光强稳定电路、激光驱动电路、激光二极管、光学镜组件；其特征在于：所述的光强稳定电路分别与光强调节电路和激光驱动电路相连；所述的直流电源分别与光强调节电路、光强稳定电路、激光驱...

一种晶圆承载台，包括旋转轴；所述旋转轴上固定有一个晶圆承载台；所述晶圆承载台上设有8个圆环形开口晶圆槽；所述8个圆环形开口晶圆槽呈正方形排列，两两一边，晶圆槽开口方向与其所在的一边垂直向外；所述晶圆槽向内设有至少两挡台阶，以放置不同尺寸...