一种基于视觉系统的真空环境下的晶圆缺口检测装置制造方法及图纸

一种基于视觉系统的真空环境下的晶圆缺口检测装置，它包括腔体、晶圆托盘、晶圆卡环、高速摄像机。所述腔体是由一金属材质制作的凹槽形壳体和上部覆盖的石英玻璃盖板组成，腔体一侧设有晶圆传输口，且内部设有晶圆托盘和晶圆卡环；所述晶圆托盘为圆盘形，设水平旋转驱动装置；所述晶圆卡环为圆弧形，设升降驱动装置；所述高速摄像机安装在腔体上部，靠近晶圆传输口的一侧，镜头位于晶圆缺口的设定对准位置的正上方；所述高速摄像机通过晶圆的旋转，连续获取晶圆边缘图样数据，通过控制器分析获取晶圆缺口相对于晶圆圆心的角度数据，并控制晶圆托盘旋转相应角度，使晶圆缺口对准设定位置，本实用新型专利技术结构简单，适用于真空环境下的晶圆缺口检测。

【技术实现步骤摘要】
一种基于视觉系统的真空环境下的晶圆缺口检测装置
本技术涉及专利技术涉及一种在晶圆搬运过程中的检测装置，尤其是涉及一种晶圆缺口的对准检测装置。
技术介绍
晶圆的生产过程中大量工序需要预先获得晶圆准确的定位，晶圆准确的定位，其工作性能直接影响整个制造工艺的精度和效率。晶圆对准一般主要包括晶圆缺口和晶圆的圆心的确定，并且在生产制程中大多工序是出于真空环境下，传统的晶圆缺口检测定位装置是通过于线阵CCD的晶圆对准方法，此方法需要在晶圆缺口设定位置的正上方安装激光发射装置，在晶圆缺口设定位置的正下方安装CCD线阵光电器件，CCD接收穿过晶圆缺口的激光来判断晶圆的缺口位置，由于CCD需要接收特定波长的激光，在实际生产过程中，容易受到其他光源的和激光发射装置可靠性的干扰，以致对缺口检测精度造成影响。为此，本技术特提供一种在真空环境下，基于视觉系统的晶圆缺口检测装置，以能够精确检测晶圆的缺口，本装置不需要在晶圆缺口设定位置的正下方安装CCD线阵光电器件，不易受到外部环境干扰和影响，结构更简单，减少腔体开孔，也提高了腔体的真空可靠性。
技术实现思路
为实现上述目的，本技术所提供的技术方案是：一种基于视觉系本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于视觉系统的真空环境下的晶圆缺口检测装置，它包括腔体、晶圆托盘、晶圆卡环、高速摄像机；所述腔体是由一金属材质制作的凹槽形壳体和上部覆盖的石英玻璃盖板组成，腔体的一侧设有晶圆传输口，且内部设有晶圆托盘和晶圆卡环；所述晶圆托盘为圆盘形，设水平旋转驱动装置；所述晶圆卡环为圆弧形，设升降驱动装置；所述高速摄像机安装在腔体上方，靠近晶圆传输口的一侧，摄像机的镜头位于晶圆缺口的设定对准位置的正上方。

【技术特征摘要】
1.一种基于视觉系统的真空环境下的晶圆缺口检测装置，它包括腔体、晶圆托盘、晶圆卡环、高速摄像机；所述腔体是由一金属材质制作的凹槽形壳体和上部覆盖的石英玻璃盖板组成，腔体的一侧设有晶圆传输口，且内部设有晶圆托盘和晶圆卡环；所述晶圆托盘为圆盘形，设水平旋转驱动装置；所述晶圆卡环为圆弧形，设升降驱动装置；所述高速摄像机安装在腔体上方，靠近晶圆传输口的一侧，摄像机的镜头位于晶圆缺口的设定对准位...

【专利技术属性】
技术研发人员：王子菲，
申请(专利权)人：上海陛通半导体能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31