The utility model belongs to the production field of magnetron sputtering target material, in particular to a fast cooling device for protecting atmosphere. In order to solve the current cooling way, the cooling time is long, the production efficiency is low and easy to mix with oxygen, it causes slight oxidation. The utility model provides a fast cooling device for a protective atmosphere, which comprises a box body 1, a sealing ring 2, a vacuum pump interface 3, inert gas, air interface 4 interface 5, box door 6, air-conditioning evaporator air conditioning evaporator cover 8 and 7. Compared to the current in vacuum cooling or cooling method in the nitrogen cabinet, the device has the function of vacuum pumping, can effectively remove oxygen, and can be filled with inert gas, inert gas using forced cooling air conditioning evaporator, the cooling process of sputtering target oxidation is always in a protective atmosphere, so as to avoid the target of oxidation, improve the surface quality of products. The utility model also has the advantages of simple operation, fast cooling speed, safety and reliability, etc..
【技术实现步骤摘要】
一种保护气氛快速冷却装置
本技术属于磁控溅射靶材生产领域,尤其涉及一种保护气氛快速冷却装置。
技术介绍
磁控溅射靶材是半导体行业的关键材料,用于电路互连、器件中栅极、内引线材料、肖特基势垒接触的制作以及背面金属化。随着芯片微型化、高密度化、高速化、高可靠化和系统集成化,对磁控溅射靶材的质量的要求越来越严,靶材表面轻微的氧化,都会对产品质量造成重大影响。目前靶材在成型后,必须经过清洗、烘干、冷却及包装四个步骤,将靶材处理干净并进行保护。清洗是将表面杂质去除干净,通过加热烘干去除水分,冷却到室温后才能进行最后的真空包装。由于某些金属在空气中易于氧化,因此烘干后的靶材不能直接在大气中冷却,较高的温度会造成靶材表面氧化,影响产品质量。目前采用的方式是在真空环境下冷却,或放入氮气柜中冷却。前者虽然可以保证靶材在冷却过程不接触到氧气,从而避免氧化,但由于真空下无法进行对流传热,导致冷却时间很长,非常影响生产效率;后者通过不断往氮气柜中充入氮气,保证柜子氧气含量低,但在放入靶材的过程,不可避免的会混入氧气,从而造成轻微氧化。
技术实现思路
针对上述问题,本技术提出一种保护气氛快速冷却装置,包括箱体1、密封圈2、真空泵接口3、惰性气体接口4、空气接口5、箱门6、空调蒸发器7以及空调蒸发器外罩8;所述密封圈2设置于箱体1开口处的密封槽内,在箱体1背面下方并排设置真空泵接口3、惰性气体接口4与空气接口5,箱门6通过铰链与箱体1连接,空调蒸发器7设置在箱体1内侧底部中央,空调蒸发器外罩8设置于调蒸发器7外部以及箱体1内部。所述密封圈2用于在箱门6关闭后保证箱体1密封。所述真空泵接口3与 ...
【技术保护点】
一种保护气氛快速冷却装置,其特征在于,包括箱体(1)、密封圈(2)、真空泵接口(3)、惰性气体接口(4)、空气接口(5)、箱门(6)、空调蒸发器(7)以及空调蒸发器外罩(8);所述密封圈(2)设置于箱体(1)开口处的密封槽内,在箱体(1)背面下方并排设置真空泵接口(3)、惰性气体接口(4)与空气接口(5),箱门(6)通过铰链与箱体(1)连接,空调蒸发器(7)设置在箱体(1)内侧底部中央,空调蒸发器外罩(8)设置于调蒸发器(7)外部以及箱体(1)内部。
【技术特征摘要】
1.一种保护气氛快速冷却装置,其特征在于,包括箱体(1)、密封圈(2)、真空泵接口(3)、惰性气体接口(4)、空气接口(5)、箱门(6)、空调蒸发器(7)以及空调蒸发器外罩(8);所述密封圈(2)设置于箱体(1)开口处的密封槽内,在箱体(1)背面下方并排设置真空泵接口(3)、惰性气体接口(4)与空气接口(5),箱门(6)通过铰链与箱体(1)连接,空调蒸发器(7)设置在箱体(1)内侧底部中央,空调蒸发器外罩(8)设置于调蒸发器(7)外部以及箱体(1)内部。2.根据权利要求1所述一种保护气氛快速冷却装置,其特征在于,所述密封圈(2)用于在箱门(6)关闭后保证箱体(1)密封。3.根据权利要求1所述一种保护气氛快速冷却装置,其特征在于,所述真空泵接口(3)与外界真空泵相连,用于将箱体(1)中的空...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨永刚,于海洋,李晓松,夏乾坤,刘冬青,陆灵芝,李峥,薛宏宇,
申请(专利权)人:有研亿金新材料有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
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