一种环状靶材包装装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于半导体及其他应用领域中使用的溅射靶材包装技术领域，尤其涉及一种环状靶材的包装装置，所述环状靶材包括主体溅射环、安装配件钉和螺帽；所述靶材包装装置包括包装盒、包装袋和包装泡沫，其中环件产品Coil泡沫衬底通过特殊设计，可实现对溅射环与配件的存放与防护；此环状靶材包装装置尺寸精简，极大节省了包装所需空间，可减少资源浪费、降低库房存储压力。并且通过对泡沫结构与产品放置方式的设计，有效实现了对环件与配件产品的防护与固定，通过跌落测试检测确认，可防止人为原因造成产品损坏，以及产品在运输过程中因包装不严密而发生松动的风险。包装不严密而发生松动的风险。包装不严密而发生松动的风险。

【技术实现步骤摘要】
一种环状靶材包装装置


[0001]本技术属于半导体及其他应用领域中使用的溅射靶材包装
，具体涉及一种环状靶材的包装装置。

技术介绍

[0002]现有技术中，溅射靶材广泛应用于各种电子薄膜制备中，常规的溅射靶材通常为饼状，并由相应的厚度、直径尺寸构成，按其直径尺寸大小，可归类为 4
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6英寸、8
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10英寸、12英寸等类型，此类靶材的常规包装装置由包装盒、Coil 泡沫衬底、泡沫盖板即可组成，现有技术都是圆饼状靶材，包装方式简单，此靶材为为非闭合的环状件及配件组成，与常规圆饼状靶材类型不一致，包装方式为单独设计，产品有效缩减包装尺寸，便于客户端物料存放，通过内部的泡沫结构设计，可以对溅射环有效的进行外圆紧固与内圆支撑，放置发生变形，配件通过对衬底配件放置的设计，可有效防呆，避免发生配件多放漏放发生。

技术实现思路

[0003]为了克服现有技术存在的一系列缺陷，本专利技术的目的在于提供一种环状靶材包装装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]本专利技术的一种环状靶材包装装置，包括包装盒、包装袋和包装泡沫，所述包装泡沫包括Coil泡沫盖板1、Coil泡沫衬底2、环件泡沫盖板3、溅射环件4、配件泡沫盖板7和配件8；所述包装袋包括溅射环件包装袋7
‑
1和配件包装袋7
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2；
[0005]所述Coil泡沫衬底上设置有溅射环件凹槽6，用于放置溅射环件4，所述 Coil泡沫衬底上设置有配件凹槽9，用于放置配件8。<br/>[0006]优选地，所述外包装盒为纸质材质，所述中包装盒为PP中空板材质，所述配件包装袋为PE+PA材质。
[0007]优选地，所述Coil泡沫衬底2的尺寸为345*345*70mm，泡沫盖板1的尺寸为345*345*10mm；所述中包装盒的尺寸为345mm
×
345mm
×
70mm；所述溅射环包装袋的尺寸为500*600*0.12mm；所述配件包装袋的尺寸为 180*35*0.12mm。
[0008]优选地，所述Coil泡沫衬底2设置在所述中包装盒内，所述配件包装袋用于放置配件，所述配件包括螺钉与螺帽，将配件逐个放入配件包装袋内，进行抽真空与热封处理后，将包装好后的配件放置在Coil泡沫衬底2上的溅射环件凹槽6内，在包装好的溅射环件上部凹槽区域，放置上凹槽填充配件泡沫盖板3 用于在包装溅射环件内部起到支撑作用，防止产品运输过程中发生变形。
[0009]优选地，装置所述螺钉的下方两台阶圆柱部分通过螺帽的端部直径放置进配件螺帽内部，螺帽的孔直径略大于钉的台阶圆柱直径，此种装配方式既可节省空间，又可以用于检测配件钉与螺帽之间的配合间隙是否合适Coil泡沫衬底 2。
[0010]本技术的环状靶材包装装置具有以下有益效果：
[0011](1)本技术的环状靶材包装装置减小了包装装置尺寸，降低包装成本，提高存
储效率；
[0012](2)可避免环件产品应力释放过程中造成产品变形；
[0013](3)对配件钉、螺帽采取了有效的防盗措施，凹槽尺寸为正常放置5套配件的长宽尺寸，防止发生多放漏放，包装放置后数量一目了然，避免出现发货产品数量不一致的风险。
附图说明
[0014]图1本技术的环状靶材包装装置整体示意图；
[0015]图2为本技术的环状靶材包装装置的包装示意图；
[0016]图3为配件螺钉螺帽的安装组合示意图；
[0017]图4为配件螺钉螺帽的包装示意图；
[0018]图5为整体的包装泡沫结构图；
[0019]图6为本技术的包装盒立体视图；
[0020]图7
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1为溅射环件包装袋示意图；
[0021]图7
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2为配件包装袋示意图；
[0022]图8为包装泡沫。
[0023]图中附图标记为：
[0024]1、泡沫盖板；2、Coil泡沫衬底；3、环件泡沫盖板；4、溅射环件；5、环件包装袋；6、溅射环件凹槽；7、配件泡沫盖板；8、配件；9、配件凹槽；7
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1、溅射环件包装袋；7
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2、配件包装袋。
具体实施方式
[0025]为使本专利技术实施的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行更加详细的描述。在附图中，自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。下面通过参考附图描述的实施例以及方位性的词语均是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。下面结合附图对本专利技术的实施例进行详细说明。
[0026]本专利技术的一项宽泛实施例中，一种环状Coil靶材的包装装置，如图1
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8所示，包括包装盒、Coil包装袋、配件包装袋、和包装泡沫，由泡沫盖板1、Coil 泡沫衬底2、环件泡沫盖板3、溅射环件4、环件包装袋5、Coil泡沫衬底放置溅射环件的凹型槽6、配件泡沫盖板7、包装好后的配件8、泡沫底加工的凹槽 9，所述包装盒包括外包装盒和中包装盒；所述包装袋包括溅射环包装袋、配件包装袋；所述包装泡沫包括泡沫盖板1和Coil泡沫衬底2；所述外包装盒尺寸为360*360*90mm，纸质材质；所述Coil泡沫衬底2尺寸为345*345*70mm，泡沫盖板1尺寸为345*345*10mm；所述中包装盒尺寸345mm
×
345mm
×
70mm， PP中空板材质；所述溅射环包装袋为500*600*0.12mm；所述配件包装袋为 180*35*0.12mm，PE+PA材质；所述Coil泡沫衬底2放置在所述中包装盒内，准备配件包装袋1个，用于放置配件钉与螺帽，配件钉与螺帽采用特殊的方式组合在一起，有效节省空间，将配件逐个放入包装袋袋内，进行抽真空与
热封处理后，将包装好后的配件8放置在泡沫底加工的凹槽9内，并配上凹槽填充配件泡沫盖板7，完成配件的放置；所述配件钉底部圆柱台阶尺寸小于配件螺帽端部孔位的尺寸，将螺钉的下方两圆柱台阶通过螺帽端部的孔放置在螺帽内，既可节省空间，又可以用于检测配件螺钉与螺帽之间的配合间隙是否合适；包装后进行抽真空，抽真空范围0.08
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0.1MP,时间1.0
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2.0S，抽真空后待热封区域冷却后，确认封口质量合格后，将包装好后的配件8放置在包装Coil泡沫衬底2 上的凹槽内，并盖上密封泡沫；所述溅射环件4进行包装，先包装内层，抽真空、热封确认包装质量，第一层包装完毕后将包装四角折叠朝向溅射环件4中心方向进行折叠，然后进行第二层包装，包装完毕后，放置在包装Coil泡沫衬底2相应的凹型槽6内，打印标签两份，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种环状靶材包装装置，其特征在于，包括包装盒、包装袋和包装泡沫，所述包装泡沫包括Coil泡沫盖板(1)、Coil泡沫衬底(2)、环件泡沫盖板(3)、溅射环件(4)、配件泡沫盖板(7)和配件(8)；所述包装盒包括外包装盒和中包装盒，所述包装袋包括溅射环件包装袋(7
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1)和配件包装袋(7
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2)；所述Coil泡沫衬底上设置有溅射环件凹槽(6)，用于放置溅射环件(4)，所述Coil泡沫衬底上设置有配件凹槽(9)，用于放置配件(8)。2.根据权利要求1所述的环状靶材包装装置，其特征在于，所述外包装盒为纸质材质，所述中包装盒为PP中空板材质，所述配件包装袋为PE+PA材质。3.根据权利要求1所述的环状靶材包装装置，其特征在于，所述Coil泡沫衬底(2)的尺寸为345*345*70mm，泡沫盖板(1)的尺寸为345*345*10mm；所述中包装盒的尺寸为345mm
×
345mm
×<...

【专利技术属性】
技术研发人员：王绍帅，董泽坤，李玉鹏，宋艳青，刘星浩，张志远，曾浩，张延宾，
申请(专利权)人：有研亿金新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：