一种环状靶材包装装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于半导体及其他应用领域中使用的溅射靶材包装技术领域，尤其涉及一种环状靶材的包装装置，所述环状靶材包括主体溅射环、安装配件钉和螺帽；所述靶材包装装置包括包装盒、包装袋和包装泡沫，其中环件产品Coil泡沫衬底通过特殊设计，可实现对溅射环与配件的存放与防护；此环状靶材包装装置尺寸精简，极大节省了包装所需空间，可减少资源浪费、降低库房存储压力。并且通过对泡沫结构与产品放置方式的设计，有效实现了对环件与配件产品的防护与固定，通过跌落测试检测确认，可防止人为原因造成产品损坏，以及产品在运输过程中因包装不严密而发生松动的风险。包装不严密而发生松动的风险。包装不严密而发生松动的风险。

【技术实现步骤摘要】
一种环状靶材包装装置


[0001]本技术属于半导体及其他应用领域中使用的溅射靶材包装
，具体涉及一种环状靶材的包装装置。

技术介绍

[0002]现有技术中，溅射靶材广泛应用于各种电子薄膜制备中，常规的溅射靶材通常为饼状，并由相应的厚度、直径尺寸构成，按其直径尺寸大小，可归类为 4
‑
6英寸、8
‑
10英寸、12英寸等类型，此类靶材的常规包装装置由包装盒、Coil 泡沫衬底、泡沫盖板即可组成，现有技术都是圆饼状靶材，包装方式简单，此靶材为为非闭合的环状件及配件组成，与常规圆饼状靶材类型不一致，包装方式为单独设计，产品有效缩减包装尺寸，便于客户端物料存放，通过内部的泡沫结构设计，可以对溅射环有效的进行外圆紧固与内圆支撑，放置发生变形，配件通过对衬底配件放置的设计，可有效防呆，避免发生配件多放漏放发生。

技术实现思路

[0003]为了克服现有技术存在的一系列缺陷，本专利技术的目的在于提供一种环状靶材包装装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]本专利技术的一种环状靶材包装装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种环状靶材包装装置，其特征在于，包括包装盒、包装袋和包装泡沫，所述包装泡沫包括Coil泡沫盖板(1)、Coil泡沫衬底(2)、环件泡沫盖板(3)、溅射环件(4)、配件泡沫盖板(7)和配件(8)；所述包装盒包括外包装盒和中包装盒，所述包装袋包括溅射环件包装袋(7
‑
1)和配件包装袋(7
‑
2)；所述Coil泡沫衬底上设置有溅射环件凹槽(6)，用于放置溅射环件(4)，所述Coil泡沫衬底上设置有配件凹槽(9)，用于放置配件(8)。2.根据权利要求1所述的环状靶材包装装置，其特征在于，所述外包装盒为纸质材质，所述中包装盒为PP中空板材质，所述配件包装袋为PE+PA材质。3.根据权利要求1所述的环状靶材包装装置，其特征在于，所述Coil泡沫衬底(2)的尺寸为345*345*70mm，泡沫盖板(1)的尺寸为345*345*10mm；所述中包装盒的尺寸为345mm
×
345mm
×<...

【专利技术属性】
技术研发人员：王绍帅，董泽坤，李玉鹏，宋艳青，刘星浩，张志远，曾浩，张延宾，
申请(专利权)人：有研亿金新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：