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本实用新型属于半导体及其他应用领域中使用的溅射靶材包装技术领域，尤其涉及一种环状靶材的包装装置，所述环状靶材包括主体溅射环、安装配件钉和螺帽；所述靶材包装装置包括包装盒、包装袋和包装泡沫，其中环件产品Coil泡沫衬底通过特殊设计，可实现对溅...
该专利属于有研亿金新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过有研亿金新材料有限公司授权不得商用。

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