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一种基于视觉系统的真空环境下的晶圆缺口检测装置，它包括腔体、晶圆托盘、晶圆卡环、高速摄像机。所述腔体是由一金属材质制作的凹槽形壳体和上部覆盖的石英玻璃盖板组成，腔体一侧设有晶圆传输口，且内部设有晶圆托盘和晶圆卡环；所述晶圆托盘为圆盘形，设水...
该专利属于上海陛通半导体能源科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海陛通半导体能源科技股份有限公司授权不得商用。

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