一种RGB视频信号转换电路，包括RGB信号输入端口、视频信号行同步和场同步驱动芯片、RGB信号保护芯片、RGB信号输出端口、电压转换芯片和多个电容电阻；所述RGB信号输入端口分别与视频信号行同步和场同步驱动芯片、RGB信号保护芯片连接；...

一种CCD的散热及温度均衡装置，它由CCD导热块和芯片导热块组成；其特征在于所述CCD导热块和芯片导热块的材质均为铝，所述CCD导热块上有一长方形凹槽其上涂有导热硅胶，芯片导热块固定端嵌入贴合于CCD导热块长方形凹槽。

全波长刻蚀工艺终点控制仪，它由光纤、入射狭缝、垂直滑块、水平滑块、全息凹面光栅以及光栅固定盘、CCD光电探测器和盒体组成。入射光线由光纤导入并照射在入射狭缝上,光纤接口和入射狭缝都固定在可以上下滑动或左右滑动的滑块上，通过入射狭缝的光照...

本实用新型专利一种光纤位置可调装置，它由横向滑块、垂直滑块、纵向滑块和SMA905接头组成。所述的横向滑块与机台设备和垂直滑块相连；所述的垂直滑块外形呈凹字形，并且凹字形内边缘有退刀槽；所述的纵向滑块与SMA905接头和垂直滑块相连；所...

本实用新型专利一种提高等离子刻蚀终点控制灵敏度的二次电离装置，它由真空腔体、射频线圈和射频电源组成。晶圆放置在刻蚀反应腔中，晶圆上方是刻蚀反应腔等离子体，刻蚀过程中生产气体由刻蚀反应腔下方真空泵抽至排气管中。所述的真空腔体通过真空密封橡...

一种高介电常数栅介质‑金属栅极的IGBT，采用铪硅氧氮化物(HfSiON)作为器件的HfSiON栅极介质；在HfSiON栅极介质和外延层之间引入一层SiON界面层；在HfSiON栅极介质上沉积TaN金属栅极。本实用新型设计的一种高介电常...

本实用新型提供了一种温湿度控制宽体晶圆装载腔,包括2个装载腔室，所述装载腔室设置污染物控制系统，所述污染物控制系统由供气系统、排气系统、加热系统组成；本实用新型提供的温湿度控制宽体晶圆装载腔,利用加热系统给晶圆装载腔室外表面加热从而抑制...

一种双区加热的等离子增强化学气相沉积腔体晶圆基座（Dual Zone Heater），包括基座主体，所述基座主体上设置晶圆凹槽，晶圆凹槽分为中心区域和边缘区域两部分，中心区域和边缘区域采用两套内嵌加热元件及温度传感器来独立加热。它是在传...

一种Si衬底‑GaN外延的IGBT半导体器件，包括N+缓冲层(Si)，所述N+缓冲层(Si)的下方为P+衬底(Si)和集电极，在N+缓冲层(Si)上设置一层SiC界面层，在SiC界面层上设置GaN外延层。相比传统的Si材料，具有禁带宽度...

一种用于SiC IGBT外延工艺表面处理的腔体，它是在传统的等离子刻蚀腔体上方引入了可高温加热的卤钨灯管模块，在腔体的下电极下方引入了红外温度探头。在SiC IGBT器件外延制作过程中，在该腔体内先对衬底表面进行等离子刻蚀和高温退火处理...

低温低压类金刚石膜化学气相沉积反应腔，其特征在于它由腔体内的配气盘、腔体、气体流量控制器、静电吸盘、8英寸晶圆和托盘组成，所述配气盘放置于腔体内部上方，用于生产中输入反应气体；所述静电吸盘放置于配气盘下方，用于吸附晶圆和控制晶圆在反应过...

晶圆传输中实时破损检测系统，该检测系统包含集线控制单元,三个数字镭射传感器，传感器类型切换和报警单元，做为一套晶片位置侦测系统。其实用的特性在于，在被检测的晶片从前端反应腔室完成工艺制程之后进入到该腔室进行进一步的工艺制程，当晶片从前端...

本实用新型作为一种控制仪器，是提升半导体集成电路在晶圆刻蚀制造工艺过程中，可变光波长的单色仪探测仪终点系统性能，属于国家集成电路先进装备制造产业技术领域。本实用新型专利主要解决了信噪比和单色仪反复切换导致机械磨损，引起故障这两个缺点，在...

本实用新型是一种具有内外射频电极的静电吸盘，该静电吸盘上沿径向划分设有至少两个独立的射频电极，每个独立的射频电极连接独立的射频电源和射频匹配网络。本实用新型把单电极静电吸盘的电极沿着径向分成内射频电极和外射频电极，内外电极连接独立的射频...

一种取轴承装置，它由挡板、L型件、方形柱、螺杆、拨杆和柱头组成。柱头固定在L型件上；两个L型件通过方形柱连接；两个L型件一端放于挡板窗口中；螺杆通过挡板和方形柱上孔洞，挡板孔洞无螺纹，方形柱孔洞有螺纹；拨杆插入螺杆另一端的孔洞中。针对不...

一种可多方向调节的光栅装置，它由底座、固定圆柱、销钉、轴承和固定螺钉组成。所述固定圆柱中有一个凹槽，固定螺钉通过固定圆柱上孔洞，与凹槽另一面接触，此面用来固定光栅，当继续旋转固定螺钉，可改变光栅与底座垂直方向上的相对角度；所述固定圆柱通...

本实用新型公开了一种电子倍增系统电源电路，包括输入Vin、三极管Q1，变压器T1，电阻R1、输出OUT、二极管D1、整流二极管D2；所述的变压器T1为高频变压器，所述三极管Q1为BC337，所述二极管D1正极接地负极与三极管Q1的基极相...

本实用新型公开了一种液氮罐液位监测系统，包括液氮罐、传感器模块、数据采集模块、控制器模块、GSM通讯模块、显示模块、报警模块。其特征在于：包括所述传感器模块使用的传感器为重力传感器或压力传感器，液氮罐与传感器模块相连，传感器模块与数据采...