一种晶圆承载台，包括旋转轴；所述旋转轴上固定有一个晶圆承载台；所述晶圆承载台上设有8个圆环形开口晶圆槽；所述8个圆环形开口晶圆槽呈正方形排列，两两一边，晶圆槽开口方向与其所在的一边垂直向外；所述晶圆槽向内设有至少两挡台阶，以放置不同尺寸...

晶圆定位激光二极管平行光源发射装置，包括激光二极管、透镜上卡槽、平凹透镜一、外筒圆柱、平凸透镜二、透镜下卡槽、内筒圆柱、平凸透镜三和盖板。所述的外筒圆柱内有上下两个阶梯型槽，上梯形槽用于放置平凸透镜一，下梯形槽用于放置平凸透镜二；所述的...

一种晶圆的红外探测接收装置，它包括一个调节螺丝、一个固定座、一个调节支撑座、两个锥头机米螺丝、一个弹簧底座、一个狭缝上盖、两个狭缝垫片、一个狭缝底座、两个弹簧；其特征在于：所述的弹簧底座固定于调节支撑座的下方；所述的锥头机米螺丝穿过调节...

全波长晶圆刻蚀终点检测装置，它由光纤、数据探测模块和电源模块组成。光纤连接刻蚀机台与数据探测模块，实现光信号采集；数据探测模块与电源模块相连，实现数据采集和光电信息转换；电源模块与数据探测模块、机台相连，为数据采集模块供给电源，并将经过...

一种基于红外探测晶圆片数的同步信号检测系统，它包括晶圆装载腔体、驱动电机、晶圆盒、红外发射器、红外接收器、前置放大电路、模拟转换开关电路、同步时序发生电路、同步驱动控制电路、输出放大电路；其特征在于所述的红外发射器分别与同步驱动控制电路...

金属氧化物或氮化物溅射工艺腔，包括靶材、脉冲磁控电源、亥姆霍兹线圈、永磁装置、等离子射频电源一、等离子射频电源二、挡板装置和晶圆基材。所述靶材放置在反应腔上方位置；所述脉冲磁控电源与靶材相连，轰击靶材产生所需要的原子团或离子；所述永磁装...

一种多工位晶圆烘烤装置，它包括加热器、晶圆传输手臂、多工位晶圆中转承载台、晶圆提升机构。所述晶圆传输手臂将晶圆传输转移至多工位晶圆中转承载台上，所述多工位晶圆中转承载台旋转将晶圆转移至晶圆提升机构上方，所述晶圆提升机构抬升并物理接触晶圆...

一种全波长晶圆蚀刻终点探测控制系统电路，它包括CPLD模块、CCD控制信号驱动模块、电源及过流保护器、电压变换器、CCD传感器、数据存储器、单片机控制模块、A/D转换模块、信号放大电路、以太网/USB通讯模块；其特征在于所述的CPLD模...

反应腔信号探测光纤接头紧固装置，包括固定外壳、C型卡簧一、弹簧、光纤束接头、C型卡簧二和转换器。所述的固定外壳外形呈阶梯圆柱状，内部有圆形孔洞贯穿；所述的光纤束接头外形呈圆柱状，外侧有两个环形槽，用于固定C型卡簧；所述的转换器圆柱形主体...

增强型腔体内信号探测三束光纤装置，包括固定座后板、固定座前板、光纤和光纤接头。所述的固定座后板与外接设备固定；所述的固定座后板与固定座前板配合，固定光纤；所述的固定座前板上有矩形槽口，用于水平摆放三根光纤束；所述的光纤接头用于固定光纤，...

一种机械手臂末端执行器定位精度测量装置，它包括底座、导向杆、滑套、横梁、滑块、激光位移传感器、水准仪，所述底座呈半圆弧形，底座两端分别与导向杆竖直连接固定，所述导向杆顶端均水平安装一圆形水准仪，且导向杆顶端水平安装有一尺形横梁组成一门形...

提高溅射镀膜等离子体中离子浓度的永磁装置，包括马蹄形磁铁、心形环、环心固定件、固定圆盘、动平衡块、霍尔传感固定块和轴固定柱。所述的马蹄形磁铁外形呈马蹄状，外侧是半圆弧，内侧是直槽口，其材料可采用铝镍钴合金5，此实用新型中，可采用多个马蹄...

一种防止污染物质进入马达内部的改进装置，它由密封部件组成。所述装置是由密封部件配合转子轴装配在马达盖子的密封槽里面；密封部件被固定在马达盖子和转子轴中间，当马达与含润滑油的变速箱之类的装置连接并工作时，由于密封部件的作用保护马达内部，不...

本实用新型提供一种晶圆定位系统，包括光源、透镜组合一、透镜组合二、光探测器、晶圆、定位腔旋转盘。晶圆放置于定位腔旋转盘上，晶圆边缘有小槽，光源和透镜组合一在晶圆边缘上形成了一个沿着晶圆径向的平行线光源，平行线光源光线一半照射在晶圆边上，...

本实用新型公开了一种CCD的电源供给电路，包括输入电压V1、基准电压V2、电感L1、运算放大器U1、MOS管Q1、电阻R1、R2、R3、R4、电容C1、C2；所述的运算放大器U1为AD822；所述的MOS管Q1为MMBF4392；所述的...

钨化学沉积内腔等离子清洁终点控制器增益自动调节装置，包括单片机核心控制模块、数字可调电阻和A/D转换。所述的单片机核心控制模块与数字可调电阻相连，另一端与A/D转换相连，通过A/D转换接收输出端的反馈信号。所述的数字可调电阻连接在终点控...

三点支撑式晶圆加热装置，由加热盘、橡胶垫和加热装置组成,用于对光阻胶进行固化处理，所述的加热盘所达到的加热温度不超过180

一种平场全息凹面光栅的角度微调装置，它由一个光栅底座、一个光栅底座托盘、一个装置底座、一个连接键、一个蜗杆、一个齿轮和三个固定螺栓组成；其特征在于所述的齿轮中心位置是凸起的传动轴；连接键镶嵌于齿轮传动轴的键槽中；齿轮传动轴穿过光栅底座托...

一种光栅定位的同步传动装置，它由底座、同步轮、同步带、圆光栅尺、光栅尺读取头、读取头安装支架组成。所述同步轮安装在底座上，同步轮之间通过同步带传动；所述圆光栅尺固定在同步轮上，光栅尺读取头通过固定支架固定在底座上，位于同步带内侧，靠近同...

一种保护线路或者管路的装置，它由轴承和保护圆盘组成。所述装置是由一个保护圆盘配合轴承嵌在运动部件上面；线路或管路从保护圆盘中间穿过，当运动部件作动时，由于轴承的作用保护圆盘不会随着运动部件而运动，从而避免线路或管路与运动部件之间的摩擦。