一种晶圆的红外探测接收装置制造方法及图纸

一种晶圆的红外探测接收装置，它包括一个调节螺丝、一个固定座、一个调节支撑座、两个锥头机米螺丝、一个弹簧底座、一个狭缝上盖、两个狭缝垫片、一个狭缝底座、两个弹簧；其特征在于：所述的弹簧底座固定于调节支撑座的下方；所述的锥头机米螺丝穿过调节支撑座的螺纹孔后分别顶在狭缝底座的两边的锥形凹槽上；所述的弹簧穿过调节支撑座的孔洞后放置在弹簧底座的凹槽上；所述的狭缝垫片放置于狭缝底座与狭缝上盖之间；所述的固定座固定在调节支撑座上方；所述的调节螺丝穿过固定座中间螺纹孔后顶在狭缝上盖上。

An infrared detecting and receiving device for wafer

Infrared detection of a wafer receiving device, which comprises an adjusting screw, a fixing seat, an adjusting supporting seat, two cone head set screws, a spring base, a slit on the cover, two slit gasket, a narrow base, two spring; characterized in that the spring the base is fixed on the supporting seat below the regulation; the cone head set screws through the conical grooves are respectively on both sides of the base of the top slot of the supporting seat after adjusting screw hole; the spring holes through adjusting support seat placed in the groove on the spring base; the slit placed gasket on a narrow base and slit between the upper cover; the fixing seat is fixed on the support seat above; the middle of the fixed seat through the screw hole of the adjusting screw on the slit after top cover.

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆的红外探测接收装置
本技术涉及一种晶圆的红外探测接收装置，属于红外探测设计

技术介绍
目前，半导体制程设备中，经常会使用红外探测技术来对晶圆位置、片数、以及是否破损进行检测。然而晶圆在通过机械手臂传输之前一般分层放置于晶圆盒中，晶圆之间间距较小，所以在红外检测过程中容易出现交叉干扰、接收信号不稳定等问题。
技术实现思路
本技术提供一种的稳定可靠、强度可调、灵敏度高的晶圆的红外探测接收装置，以解决上述
技术介绍
提出的问题。一种晶圆的红外探测接收装置，它包括一个调节螺丝、一个固定座、一个调节支撑座、两个锥头机米螺丝、一个弹簧底座、一个狭缝上盖、两个狭缝垫片、一个狭缝底座、两个弹簧；其特征在于：所述的弹簧底座固定于调节支撑座的下方；所述的锥头机米螺丝穿过调节支撑座的螺纹孔后分别顶在狭缝底座的两边的锥形凹槽上；所述的弹簧穿过调节支撑座的孔洞后放置在弹簧底座的凹槽上；所述的狭缝垫片放置于狭缝底座与狭缝上盖之间；所述的固定座固定在调节支撑座上方；所述的调节螺丝穿过固定座中间螺纹孔后顶在狭缝上盖上；还包括所述的狭缝垫片厚度为0.2mm；还包括所述的弹簧为压力弹簧，弹性系数为25N/M；与现有技术相比，本技术设计具有结构简单、调节精度高、稳定性高等特点。经试验可显著的提高晶圆检测设备工作性能。附图说明图1为本技术的总体结构示意图。图2为本技术的调节支撑座示意图。图3为本技术的爆炸分解示意图。1.调节螺丝；2.固定座；3.调节支撑座；4.锥头机米螺丝；5.弹簧底座；6.狭缝上盖；7.狭缝垫片；8.狭缝底座；9.弹簧。具体实施方式下面结合附图对本技术作更进一步的说明。一种晶圆的红外探测接收装置，它包括一个调节螺丝1、一个固定座2、一个调节支撑座3、两个锥头机米螺丝4、一个弹簧底座5、一个狭缝上盖6、两个狭缝垫片7、一个狭缝底座8、两个弹簧9；其特征在于：所述的弹簧底座5固定于调节支撑座3的下方；所述的锥头机米螺丝4穿过调节支撑座3的螺纹孔后分别顶在狭缝底座8的两边的锥形凹槽上；所述的弹簧9穿过调节支撑座3的孔洞后放置在弹簧底座的凹槽上；所述的狭缝垫片7放置于狭缝底座8与狭缝上盖6之间；所述的固定座2固定在调节支撑座3上方；所述的调节螺丝1穿过固定座2中间螺纹孔后顶在狭缝上盖6上；还包括所述的狭缝垫片7厚度为0.2mm；还包括所述的弹簧9为压力弹簧，弹性系数为25N/M；本技术工作原理是：通过固定座将装置安装在红外光源的正前方，当调节螺丝1向下转动时弹簧9受到挤压发生形变，从而带动狭缝底座8以锥头机米螺丝4为轴逆时针转动；当调节螺丝1向上转动时弹簧9挤压产生的形变逐渐减小，从而带动狭缝底座8以锥头机米螺丝1为轴顺时针转动；从而实现对红外光源接收强度的控制。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆的红外探测接收装置，它包括一个调节螺丝、一个固定座、一个调节支撑座、两个锥头机米螺丝、一个弹簧底座、一个狭缝上盖、两个狭缝垫片、一个狭缝底座、两个弹簧；其特征在于：所述的弹簧底座固定于调节支撑座的下方；所述的锥头机米螺丝穿过调节支撑座的螺纹孔后分别顶在狭缝底座的两边的锥形凹槽上；所述的弹簧穿过调节支撑座的孔洞后放置在弹簧底座的凹槽上；所述的狭缝垫片放置于狭缝底座与狭缝上盖之间；所述的固定座固定在调节支撑座上方；所述的调节螺丝穿过固定座中间螺纹孔后顶在狭缝上盖上。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆的红外探测接收装置，它包括一个调节螺丝、一个固定座、一个调节支撑座、两个锥头机米螺丝、一个弹簧底座、一个狭缝上盖、两个狭缝垫片、一个狭缝底座、两个弹簧；其特征在于：所述的弹簧底座固定于调节支撑座的下方；所述的锥头机米螺丝穿过调节支撑座的螺纹孔后分别顶在狭缝底座的两边的锥形凹槽上；所述的弹簧穿过调节支撑座的孔洞后放置在弹簧底座的凹槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘旭亮，
申请(专利权)人：上海陛通半导体能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31