【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造，具体涉及oeld，特别是涉及一种基于分子层沉积技术制备的oled结构及方法。
技术介绍
1、有机发光二极管（organic light-emitting diode ，简称oled）是一种将有机化合物作为发光材料的半导体器件。其发光原理基于电子和空穴的复合过程，通过电场激发有机分子发出光。oled的结构包括发光层、电子传输层和空穴传输层，其中发光层决定了发光颜色和效率。
2、oled的制备流程包括基底清洗、透明导电层制备、电子传输层/空穴传输层沉积、发光层沉积以及封装等步骤。针对不同类型的膜层，其制备方法主要有真空蒸镀技术、甩胶涂布技术和喷墨打印技术等。但是传统制备技术存在固有缺陷，例如真空蒸镀技术存在材料利用率低、生产效率不高、设备成本高等问题；甩胶涂布技术易产生厚度不均匀、质量不稳定等质量问题；喷墨打印技术受精度和材料选择限制。随着oled技术不断的演进，上述制备方式已越来越无法满足高质量oled制备需求。寻找新型镀膜技术来替代传统的oled薄膜制备方法已经迫在眉睫。
3、应该注意，...
【技术保护点】
1.一种基于分子层沉积技术制备OLED结构的方法，其特征在于，所述方法包括采用分子层沉积工艺于基底上依次沉积空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层的步骤，且在沉积空穴注入层的过程中，采用了等离子体辅助处理将前驱物分子解离成活性自由基，以及通入O3气体以增加沉积表面的活性，促进聚合反应。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述空穴注入层的材质包括聚苯胺，形成空穴注入层的过程包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，形成空穴注入层的过程中的工艺条件包括如下中的若干个：
4.根据权利要求2所述的方法，其特征...
【技术特征摘要】
1.一种基于分子层沉积技术制备oled结构的方法，其特征在于，所述方法包括采用分子层沉积工艺于基底上依次沉积空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层的步骤，且在沉积空穴注入层的过程中，采用了等离子体辅助处理将前驱物分子解离成活性自由基，以及通入o3气体以增加沉积表面的活性，促进聚合反应。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述空穴注入层的材质包括聚苯胺，形成空穴注入层的过程包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，形成空穴注入层的过程中的工艺条件包括如下中的若干个：
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：在形成空穴传输层和/或空穴注入层的过程中，还包括于反应物气体中添加无机纳米金属颗粒，之后对形成的空穴传输层和/或空穴注入层进行氧化处理，以于对应的结构层表面形成电和/或光致变色层的步骤。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述发光层包括镧系对苯二甲酸盐薄膜层，制备发光层的过程包括：
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述电子注入层包括peie层，制备电子注入层的过程包括：
<...【专利技术属性】
技术研发人员：王良栋，张威威，宋维聪，
申请(专利权)人：上海陛通半导体能源科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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