The utility model relates to an automatic gain regulating device for a tungsten chemical deposition cavity plasma cleaning end point controller, which comprises a singlechip core control module, a digital adjustable resistor and a A/D converter. The SCM core control module is connected with the digital adjustable resistor, and the other end is connected with the A/D converter, and the feedback signal of the output end is received through the A/D conversion. The digital adjustable resistor is connected to both ends of the terminal controller amplifier and is connected with the SCM core control module. MCU control module based on the output feedback signal, the output signal is judged beyond the internal default scope, not to call the command through regulation of digital adjustable resistance, and finally makes the value to meet the preset range output.
【技术实现步骤摘要】
钨化学沉积内腔等离子清洁终点控制器增益自动调节装置
本技术涉及集成电路芯片制造领域,尤其涉及钨化学沉积内腔等离子清洁终点控制器增益自动调节装置。
技术介绍
在集成电路芯片制造领域,金属钨是集成电路芯片制造中用于填孔的主要金属材料。目前在集成电路工艺中,对金属钨多采用化学沉积等方法在晶圆上填孔并形成薄膜。因此应用此技术生产的设备称之为钨化学气相沉积(WCVD)设备。在具体的化学沉积应用中,当每一片晶圆镀完钨膜后,腔体的内壁也会有钨膜沉积,沉积在内壁上的钨膜与腔体内壁的粘合度并不牢靠,如不及时清理,会在后续的晶圆上产生颗粒,严重影响集成电路的成品率。WCVD设备通常配有等离子体刻蚀子设备用于刻蚀沉积在腔体内壁上的钨膜。在生产过程中,每镀完一片钨膜后,腔体要用等离子体刻蚀把腔体内壁沉积的钨膜清干净。刻蚀所用的气体为含氟气体,例如NF3等。当氟原子与钨结合产生气体氟化钨,被真空泵抽走,达到清洁腔体内壁的目的。终点控制器是一个光电探测器,用于探测氟原子在等离子体中发出的光强度,氟原子发出的光波长在704纳米左右。当钨膜还没有被清干净时,氟原子数在等离子体中的数量较少,所对应发出的光强较弱;当钨膜被清干净后,氟原子数在等离子体中的数量较多,所对应发出的光强较强。通过判断所对应的氟原子光强变化,可以自动判断沉积在腔体内壁的钨是否被清干净了。对于传统的WCVD设备终点控制器,由于光学窗口的内表面会逐渐地被刻蚀,光的透射率会逐渐地减小,因而光电信号也会随着晶圆镀膜次数的增加而有所减弱.在现有的生产过程中操作人员会经常地根据终点刻蚀反馈信号,手动调节电位增益装置,增大反馈电阻 ...
【技术保护点】
钨化学沉积内腔等离子清洁终点控制器增益自动调节装置,其特征在于:包括单片机核心控制模块、数字可调电阻和A/D转换;所述的单片机核心控制模块与数字可调电阻相连,另一端与A/D转换相连,通过A/D转换接收输出端的反馈信号;所述的数字可调电阻连接在终点控制器放大器两端,且与单片机核心控制模块相连;单片机核心控制模块根据输出端反馈信号,判断输出信号是否超出内部预设范围,从而调用不通过指令调节数字可调电阻阻值,最后使得输出值满足预设范围。
【技术特征摘要】
1.钨化学沉积内腔等离子清洁终点控制器增益自动调节装置,其特征在于:包括单片机核心控制模块、数字可调电阻和A/D转换;所述的单片机核心控制模块与数字可调电阻相连,另一端与A/D转换相连,通过A/D转换接收输出端的反馈信号;所述的数字可调电阻连接在终点控制器放大器两端,且与单片机核心控制模块相连;单片机核心控制模块根据输出端反馈信号,判断输出信号是否超出内部预设范围,...
【专利技术属性】
技术研发人员:张德培,睢智峰,
申请(专利权)人:上海陛通半导体能源科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。