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【技术实现步骤摘要】
一种应用于晶圆定位的激光发生器
本技术涉及一种应用于晶圆定位的激光发生器，属于激光设计
技术介绍
目前，半导体制程设备中，很多工序都需要对晶圆进行定位，由于激光具有光线清晰、明亮、线条均匀、准直度高等特点而常常被用来定位晶圆。随着科技的发展，集成电路工艺要求也相应的随之提高，因此对激光发生器的抗干扰性、稳定性、抑制浪涌电流及缓启动等要求也需随之提高。
技术实现思路
本技术提供一种的高抗干扰性、高稳定性、光强可调且带PD反馈的应用于晶圆定位的激光发生器。一种应用于晶圆定位的激光发生器，它包括直流电源、光强调节电路、光强稳定电路、激光驱动电路、激光二极管、光学镜组件；其特征在于：所述的光强稳定电路分别与光强调节电路和激光驱动电路相连；所述的直流电源分别与光强调节电路、光强稳定电路、激光驱动电路相连；所述的激光驱动电路与激光二极管相连；所述的激光二极管安装在光学镜组件上方。还包括所述的激光二极管的型号为LT022PD；还包括所述的光强调节电路中包含有型号为3314G-50K的可调电阻；还包括所述的激光驱动电路中包含有型号为2N3906的三极管。与现有技术相比，本技...
【技术保护点】
一种应用于晶圆定位的激光发生器，它包括直流电源、光强调节电路、光强稳定电路、激光驱动电路、激光二极管、光学镜组件；其特征在于：所述的光强稳定电路分别与光强调节电路和激光驱动电路相连；所述的直流电源分别与光强调节电路、光强稳定电路、激光驱动电路相连；所述的激光驱动电路与激光二极管相连；所述的激光二极管安装在光学镜组件上方。
【技术特征摘要】
1.一种应用于晶圆定位的激光发生器，它包括直流电源、光强调节电路、光强稳定电路、激光驱动电路、激光二极管、光学镜组件；其特征在于：所述的光强稳定电路分别与光强调节电路和激光驱动电路相连；所述的直流电源分别与光强调节电路、光强稳定电路、激光驱动电路相连；所述的激光驱动电路与激光二极管相连；所述的激光二极管安装在光学镜组件上方。2.根据权利要求1所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘旭亮，
申请(专利权)人：上海陛通半导体能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31
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