半导体设备移动支撑装置制造方法及图纸

半导体设备移动支撑装置，包括支撑平板、滚珠法兰和滚珠组成。所述的滚珠与滚珠法兰相连；所述的支撑平板与多个滚珠法兰相连。支撑平板一面与多个滚珠法兰相连，另一面用于支撑半导体设备；滚珠放入滚珠法兰内部圆槽内，通过螺钉固定在滚珠法兰和支撑平板之间。根据需移动设备重量不同，可增加或减少支撑平板上固定的滚珠数量。本实用新型专利技术优点：设备结构简单，易于安装，灵活小巧，可承载较重的半导体设备。

【技术实现步骤摘要】
半导体设备移动支撑装置
本技术涉及半导体设备领域，尤其涉及半导体设备移动支撑装置。
技术介绍
半导体集成电路制造领域是国家近年来大力发展的行业，是国家未来经济支柱产业。其中，涉及到的半导体设备种类繁多，且多数半导体设备重量较重，净化间厂房中受空间大小限制，多数情况下无法使用吊车进行移动。如何设计一款灵活小巧，载重能力强的移动支撑设备尤为重要。
技术实现思路
为实现上述目的，本技术所提供的技术方案是：半导体设备移动支撑装置，包括支撑平板、滚珠法兰和滚珠组成。所述的滚珠与滚珠法兰相连；所述的支撑平板与多个滚珠法兰相连。支撑平板一面与多个滚珠法兰相连，另一面用于支撑半导体设备；滚珠放入滚珠法兰内部圆槽内，通过螺钉固定在滚珠法兰和支撑平板之间；根据需移动设备重量不同，可增加或减少支撑平板上固定的滚珠数量；所述的支撑平板一面上有多个圆形槽，用于与滚珠接触；所述的滚珠法兰四边有四个孔洞，用于固定螺钉，其上有凸起的椭圆槽，椭圆槽内有球形镂空，用于放置滚珠；滚珠法兰椭圆槽顶面镂空圆孔直径小于滚珠直径，以防止滚珠滑落；所述的滚珠的材料，采用硬度较高不锈钢材料；使用时：先将滚珠分别放置在滚珠法兰圆槽中，然后将装配好的设备与支持平板上圆槽一一对应，最后通过螺钉固定。将组装好的设备滚轮朝下，放置在需要移动的半导体设备下。此时滚轮可360度自由滑动，以便于半导体设备向多个方向移动；本技术优点：设备结构简单，易于安装，灵活小巧，可承载较重的半导体设备。附图说明图1为半导体设备移动支撑装置整体装配示意图；图2为半导体设备移动支撑装置支撑平板示意图；图3为半导体设备移动支撑装置滚珠法兰示意图；1.支撑平板；2.滚珠法兰；3.滚珠。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术做进一步说明，本技术较佳实施例为：参见附图1、附图2和附图3。本技术所提供的技术方案是：半导体设备移动支撑装置，包括支撑平板1、滚珠法兰2和滚珠3组成。所述的滚珠3与滚珠法兰2相连；所述的支撑平板1与多个滚珠法兰2相连。所述的支撑平板1一面上有多个圆形槽，用于与滚珠2接触，支撑平板1一面与多个滚珠法兰2相连，另一面用于支撑半导体设备；滚珠3放入滚珠法兰2内部圆槽内，通过螺钉固定在滚珠法兰2和支撑平板1之间。根据需移动设备重量不同，可增加或减少支撑平板1上固定的滚珠3数量；使用时：先将滚珠3分别放置在滚珠法兰2圆槽中，然后将装配好的的设备与支持平板1上圆槽一一对应，最后通过螺钉固定。将组装好的半导体设备一定支撑装置滚轮3朝下，放置在需要移动的半导体设备下。此时滚轮3可360度自由滑动，以便于半导体设备向多个方向移动；以上所述实例只为本技术之较佳实例，并非以此限制本技术的实施范围。故凡依本技术的形状、原理所做的变化，均应涵盖在本技术保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.半导体设备移动支撑装置，包括支撑平板、滚珠法兰和滚珠组成；所述的滚珠与滚珠法兰相连；所述的支撑平板与多个滚珠法兰相连；支撑平板一面与多个滚珠法兰相连，另一面用于支撑半导体设备；滚珠放入滚珠法兰内部圆槽内，通过螺钉固定在滚珠法兰和支撑平板之间。

【技术特征摘要】
1.半导体设备移动支撑装置，包括支撑平板、滚珠法兰和滚珠组成；所述的滚珠与滚珠法兰相连；所述的支撑平板与多个滚珠法兰相连；支撑平板一面与多个滚珠法兰相连，另一面用于支撑半导体设备；滚珠放入滚珠法兰内部圆槽内，通过螺钉固定在滚珠法兰和支撑平板之间。2.根据权利要求1所述的半导体设备移动支撑装置，其特征在于：所述的支撑平...

【专利技术属性】
技术研发人员：张德培，
申请(专利权)人：上海陛通半导体能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31