日本株式会社日立高新技术科学专利技术

日本株式会社日立高新技术科学共有183项专利

  • 本发明提供热分析装置,当在加热炉中拆装透明的炉管时能够使两者的轴心一致并以同心圆状正确地固定。该热分析装置(100)具备:透明的炉管(9);试样支架(41),其配置于炉管的内部,保持试样容器(51);筒状的加热炉(3),其从外侧包围至少...
  • 本发明提供一种热分析装置用摄像装置及具备它的热分析装置,在对热分析装置内部的被加热的试样经观察窗进行拍摄时,能拍摄鲜明的图像,并且抑制热对摄像机构造成的损伤。是从设置在热分析装置主体部(150)上的观察窗(W)对内部的被加热的试样(S)...
  • 提供一种能够消除试样的偏移并使试样与X射线管的距离为一定、进而能够对应于各种各样的形状的试样的X射线分析用试样保持器及在将试样向该保持器安设时使用的试样设置用夹具。具备第1环状部件(3)、第2环状部件(4)和第3环状部件(5);所述第2...
  • 本发明提供热分析装置,能够观察热分析中的试样的变化,并减少从加热炉对炉管内的试样直接放射的辐射热而提高了热分析的测量精度。热分析装置(100)具备:由透明材料形成的炉管(9)、配置在炉管的内部并将分别收容测量试样(S1)及参照试样(S2...
  • 本发明提供一种测量数据电子化装置和测量数据电子化方法,其能够将测量数据容易地电子化为数值数据。测量数据电子化装置(90)基于图像数据(300)使测量数据电子化,该测量数据电子化装置具备:从图像数据抽出直线的直线抽出处理部(90A);取得...
  • 修正装置
    本发明公开一种修正装置,其对于试样的损伤较小,在长时间内稳定且效率良好地进行掩膜等的细微部位的修正。修正装置(10)至少具备:气体电场电离离子源,其具有锐化的针尖;冷却单元,其冷却针尖;离子束镜筒(11),其使在气体电场电离离子源产生的...
  • 铱针尖、及使用铱针尖的离子源、电子源、显微镜和装置
    本发明提供铱针尖、及使用铱针尖的离子源、电子源、显微镜和装置。本发明能够位置再现性良好地制作形成于铱针尖的前端部的前端为1个原子的角锥结构,既能够使得杂质不易附着,又能够长时间保持前端的1个原子。铱针尖在锐化的<210>方位的单晶的前端...
  • 本发明提供荧光X射线分析装置,其能够检测载置于落下防止板上的异物。该荧光X射线分析装置具有:试样台,其在X射线照射位置处具有孔部,能够在孔部上设置试样;X射线源,其从下方对试样照射原级X射线(X1);检测器,其相对于孔部配置在下方,对从...
  • 异物检测装置
    本发明提供异物检测装置,其能够检测在连续流动的试样中包含的特定金属异物。该异物检测装置具有:X射线源(2),其对在一定方向上移动的试样(S)照射原级X射线(X1);平行多毛细管(3),其是至少在试样的移动方向上排列多个毛细管(3a)而构...
  • 本发明提供ICP发光分光分析装置,其利用光纤将原子发光线引导到分光器内且光学特性优异。ICP分析装置(1)由感应耦合等离子体装置(10)、光纤(20)、分光器(30)、安装部件(40)和光出射孔(41)构成。光纤(20)配置在感应耦合等...
  • 致动器的位置计算装置和位置计算方法
    本发明提供一种致动器的位置计算装置和位置计算方法,即使移动量检测传感器的分辨率比移动机构的最小移动量小,也可以高精度地计算移动机构的位置,可以实现致动器的成本降低。具有与每最小移动量ΔM生成的控制信号Ma~Mc、M0~M11成比例地朝一...
  • 本发明提供荧光X射线分析装置,其能够通过比较简单的结构和控制来抑制输出强度的变动。该荧光X射线分析装置(1)具有:X射线源(2),其对试样S照射原级X射线;聚光元件(3),其会聚从X射线源照射的原级X射线,减小对于试样的照射面积;检测器...
  • 软化点测定装置及热传导测定装置
    提供一种软化点测定装置及热传导测定装置,以在使用具有发热部的悬臂来对样品局部加热以测定样品的软化点或热传导时,通过仅在探针与样品的接触部进行热交换,不给测定点的周边部带来热影响,而可以进行仅在接触部的软化点测定及热传导测定。在以探测显微...
  • 荧光X射线分析方法和荧光X射线分析装置。在利用了荧光X射线分析的有害元素的质量管理中,对样本分析所需的时间进行优化并实现判断的自动化。作为解决手段,提供如下的X射线分析方法和采用了该方法的X射线分析装置:将多个分析条件和对象元素的管理基...
  • 感应耦合等离子体装置、分光分析装置以及质量分析装置
    提供感应耦合等离子体装置、分光分析装置以及质量分析装置。感应耦合等离子体装置大幅降低等离子气体的消耗量。作为解决手段,该感应耦合等离子体装置具有:圆筒形状的罩,其与等离子体炬是分离的,具有足够包围到生成等离子体火焰的前端部的高度,该罩外...
  • 本发明提供了一种截面加工和观察装置。该截面加工和观察装置包括控制部,用于重复地执行处理,该处理包括利用离子束的切割处理和利用从通过切割处理形成的截面发射的二次电子的SIM图像的获取处理,其中,控制部将观察图像划分为多个区域,并且当在多个...
  • 本发明涉及带电粒子束设备和样本输送设备。一种带电粒子束设备包括:样本室;样本架;电子束照射系统,所述电子束照射系统用于利用电子束照射所述样本;聚焦离子束照射系统,所述聚焦离子束照射系统用于利用聚焦离子束照射所述样本;样本架驱动单元,所述...
  • 本发明提供了一种聚焦离子束装置和调整离子束光学系统的方法。聚焦离子束装置包括控制部,其用于预先在聚束电压表中存储针对多个孔阑中的所有孔阑的用于获得基准束电流的聚束电压的计算值;对于基准孔阑获得用于获得基准束电流的聚束电压的实验值;通过从...
  • 荧光X射线分析装置和荧光X射线分析方法
    荧光X射线分析装置和荧光X射线分析方法。本发明的目的是提供如下功能:关于在测定中发生了移动的试样,根据试样图像的变化而自动检测发生了移动的情况。作为解决手段,具有拍摄被测定物的试样图像的摄像部,具有临时保存测定开始时刻的试样图像并与测定...
  • 本发明提供了一种样本制备装置和样本制备方法。样本制备装置包括样本台,用于支撑样本;聚焦离子束镜筒,用于将聚焦离子束施加到样本并且处理样本;以及照射区域设置单元,用于设置聚焦离子束照射区域,该聚焦离子束照射区域包括第一照射区域和第二照射区...