聚焦离子束装置和调整离子束光学系统的方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种聚焦离子束装置和调整离子束光学系统的方法。聚焦离子束装置包括控制部，其用于预先在聚束电压表中存储针对多个孔阑中的所有孔阑的用于获得基准束电流的聚束电压的计算值；对于基准孔阑获得用于获得基准束电流的聚束电压的实验值；通过从用于基准孔阑的实验值减去为基准孔阑存储的计算值来获得聚束电压的校正值；通过将校正值与为各孔阑存储的计算值相加来获得聚束电压的设置值；以及将所获得的设置值存储在聚束电压表中。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种聚焦离子束装置，所述聚焦离子束装置包括：离子源，所述离子源用于提供离子；聚束透镜，所述聚束透镜被构造为对从所述离子源提取的离子束进行聚束，所述聚束透镜包括双电位透镜，所述双电位透镜包括：第一电极，所述第一电极被构造为响应于所述第一电极与所述离子源之间的提取电压的施加从所述离子源提取所述离子束，以及第二电极，所述第二电极被构造为响应于所述第二电极与所述离子源之间的聚束电压的施加对从所述离子源提取的所述离子束进行聚束；多种类型的孔阑，所述多种类型的孔阑具有不同的孔阑直径并且被构造为减小所聚束的离子束的束径；以及控制部，所述控制部包括聚束电压表并且被构造为基于所述聚束电压表设置所述聚束电压，所述...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：杉山安彦，麻畑达也，土井利夫，大庭弘，
申请(专利权)人：日本株式会社日立高新技术科学，
类型：发明
国别省市：