【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种半导体集成电路的制造工艺设备，由驱动系统和机械手两部分所组成。电子束曝光机是制造大规模和超大规模集成电路的关键设备，而自动输片系统又是该关键设备的主要装置。此类设备的最新制造技术国际上是严格保密的，国内检索到一篇“CN85 2 04855”专利文献，该专利虽然避免了日本专利特开昭“58-77239”直接抓片易使片子碎裂的危险，又避免了日本专利特开昭“58-118124”结构复杂，操作繁琐的缺点，但是从该专利附图1上看到，其传送杆机械手的悬臂极长，从附图2看到机械手和扁平叉直接抬住被输送的基片，又要经过比较长距离的送去和取回。再从该专利说明书所述内容来看，也只能适于等离子刻蚀、反应离子刻蚀、化学气相沉积和磁控溅射等加工工艺的要求，而不能适用于电子束曝光工艺所需的高精度要求。本技术的目的在于制造一种适于电子束曝光机使用的精度很高，输送片平稳、结构简练、制造工艺容易的自动输送片装置。本技术采用机械手推动片夹，片夹装载被加工基片进行输送的方案予以解决。以下结合附图予以具体说明附图1为驱动机构示意图。由微机控制的步进电机(1)通过联轴器使锥齿轮a(4)带动与其啮合的锥齿轮b(7)。使轴(5)转动，以驱使直齿轮(8)移动，直齿轮带动内滑板(12)和导轨(11)、外滑板(10)移动。滑轮(9)起移动灵便和平稳的作用。附图2为机械手示意图。当外滑块(10)从片库推出片夹(28)送往激光定位工件台时，拉簧(18)促使两枚抓片钩(20)上的两个轴承(19)压迫内滑板(12)尖锥体不能向前，抓片钩处于放开状态。到位后定位块a(25)碰行程开关a(17)，全部...
【技术保护点】
一种由驱动系统和机械手所组成的自动送取片装置，其特征在于机械手滑板由滑板（１２）、两条导轨（１１）和外滑板（１０）所组成，在导轨和内滑板之间有钢球（１３）若干。
【技术特征摘要】
1.一种由驱动系统和机械手所组成的自动送取片装置，其特征在于机械手滑板由内滑板(12)、两条导轨(11)和外滑板(10)所组成，在导轨和内滑板之间有钢球(13)若干。2.根据权利要求1所述的自动送取片装置，其特征在于内滑板头部是锥形，固定有定位叉(21)，叉上有钩槽，尾部固定有定位块b(26)和后锁紧钩挡块。3.根据权利要求1所述的自动送取片...
【专利技术属性】
技术研发人员：王静汉，罗正全，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：实用新型
国别省市：51[中国|四川]
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