本发明公开了一种基于外差干涉的真空温度测量装置，用于非接触、高精度地测量封闭隔热空间中的微小温度波动，属于精密测量技术领域。所述装置包括双频外差干涉仪、隔热箱体、容置隔热箱体的真空腔和置于隔热箱体内的铝管。位于真空腔外部的干涉仪出射的双...

本发明公开了一种基于光斑质心位置偏移的测距通信融合系统及方法，属于光学测距与光通信一体化技术领域。该系统发射两路激光信号并进行PPM调制，调制后的信号经光学聚焦后在阵列探测器成像面形成空间上可区分的光斑；采集光斑空间位置信息与光子到达时...

本公开提供了一种利用杂化光刻胶制备纳米多孔图形的方法，包括：配制包含杂化光刻胶的光刻胶溶液；将光刻胶溶液在可控环境下静置老化预设时间段，以诱导光刻胶溶液中形成金属团簇分子，得到老化后的光刻胶溶液；对老化后的光刻胶溶液进行过滤，筛选出具有...

本发明公开了一种由浮动标定驱动的光瞳稳定闭环控制系统及方法，属于自适应光学技术领域，该方法设计包括两级倾斜镜的双级倾斜镜联调闭环控制架构并搭建对应的由浮动标定驱动的光瞳稳定闭环控制系统；通过第一和第二光轴探测模块配合完成系统标定；根据预...

本公开提供了一种基于图形处理器的莫尔条纹对准偏差快速提取方法、装置及设备，该方法包括：接收两组莫尔条纹信号，莫尔条纹信号通过解析表示对准状态的两组莫尔条纹图样获得；利用图形处理器对两组莫尔条纹信号进行并行协同的快速傅里叶变换，分别得到两...

本发明公开了一种超声振动辅助抛光液磨粒分散获得超光滑表面的方法，属于加工技术领域，包括：S110，通过超声发生器对抛光液中的磨粒进行分散处理；S120，将分散后的抛光液输送至熔石英工件表面；S130，通过加工工具进行熔石英工件的超光滑加...

本申请提供一种超表面结构加工方法、超表面结构，涉及光电和微纳加工技术领域。该方法包括：提供包括套刻对准标记的基底层；通过薄膜沉积工艺，在基底层上沉积与超表面结构的工作波长相匹配的第一目标介质材料，形成第一介质材料层；通过基于掩膜的并行图...

本公开提供了一种增强高阶衍射光的双层套刻误差测量标记的优化方法，可应用于半导体制造工艺中的计量与检测技术领域，该方法首先构建包含两层相同光栅结构的标记，每层光栅的周期单元内均设有主光栅脊和次光栅脊。基于标量衍射理论分别确定主、次光栅脊的...

本申请公开了一种基于混合多阶衍射透镜的图像融合方法、介质和程序产品，涉及图像处理与光学工程技术领域。主要通过获取混合多阶衍射透镜输出的第一衍射成像数据，并将第一衍射成像数据输入复原网络得到复原后的第二衍射成像数据，从而弥补衍射成像的缺陷...

本发明公开了基于欧拉‑伯努利梁理论的重力倾斜指向误差补偿方法，属于光通信与光机控制技术领域。所述方法，首先将方位轴简化为受重力作用的悬臂梁，基于欧拉‑伯努利梁理论推导出自由端倾角变化与姿态角的解析关系，并定义倾斜因子；接着，利用惯性测量...

本发明涉及精密加工技术领域，具体涉及一种面形实时矫正方法及系统。面形实时矫正方法，包括：S1、测量待矫正面，获取面形数据；S2、控制运算，根据面形数据生成控制参数；S3、物理矫正，根据控制参数对面形进行矫正。在S2中，将待矫正面的面形数...

本发明公开了一种基于深度学习模型的离轴四反光学系统智能装调方法，属于离轴反射式系统的装调技术领域。所述方法包括：通过光学设计软件接口构建失调量与全视场泽尼克(Zernike)系数矩阵的数据集；利用Transformer神经网络训练得到能...

本公开提供了一种光敏型ArF树脂单体、树脂及其制备方法以及光刻胶组合物，可应用于微纳加工和光刻胶技术领域。该树脂单体基于胆酸邻硝基苄酯结构，具有在193nm波长下直接发生光解反应的特性，实现非化学放大机制，从而避免了传统化学放大胶中酸扩...

本公开提供了一种扫描电子显微镜图像轮廓的提取方法及工艺仿真方法。提取方法包括：对扫描电子显微镜图像进行预处理，得到二值图像；对二值图像中的连通区域进行几何特性分析，以识别目标轮廓；目标轮廓由一组有序的坐标点表征；对目标轮廓进行校准，得到...

本发明公开了一种多阶旋转变焦衍射透镜系统设计及其实现方法，涉及光学透镜技术领域，该系统包括第一多阶衍射光学元件和叠加了场镜相位的第二多阶衍射光学元件，二者的光轴在同一直线上，组合后的光焦度随着其相对旋转角度的变化而变化且在整个调谐范围内...

本公开提供了一种原位检测与照明系统及微纳加工方法，可应用于曝光照明技术领域。该系统包括物镜、紫外照明组件、可见光照明组件、成像观测组件和原位检测组件，通过第一分光镜、第二分光镜和第三分光镜将多路光耦合至同一物镜。紫外照明组件用于曝光，可...

本公开提供了一种基于表面等离子体光刻的刻蚀增强方法，包括：在基底上依次形成层叠的光刻胶膜层和金属增强层；对光刻胶膜层进行表面等离子体光刻后，去除金属增强层，显影后在光刻胶膜层中形成光刻图形；对形成有光刻图形的光刻胶膜层进行泛曝光并硬掩模...

本发明公开了一种基于相位量化快速锁定异步数据的1553B总线解码器设计方法，属于信息处理技术领域。该方法将一个周期时间固定的采样时钟信号量化后存入LUT表中，当异步随机数据来临时，解码器获取异步随机信号的边沿，同时计算出边沿信号的上升沿...

本发明公开了一种基于人工智能的光电系统数字样机功能模型生成方法及装置，属于人工智能与光电系统数字样机技术领域，包括：输入人工智能模型的训练数据进行语义解析、标记、提取关键参数操作，形成知识图谱；建立参数间的逻辑关联与约束关系；利用解析的...

本公开提供了一种基于嵌段共聚物的导向自组装方法及图案化结构，方法包括：在金属衬底上形成引导模板；将形成有引导模板的金属衬底置于无规聚合物溶液中，使无规聚合物溶液中的无规聚合物通过化学键在金属衬底表面形成中性界面层，得到形成有中性界面层的...