一种可偏转微机械系统包括：可偏转元件；第一锚定电极和第二锚定电极；具有可变形区域并将可偏转元件联接到第一锚定电极的第一弹簧；以及具有可变形区域并将可偏转电极联接到第二锚定元件的第二弹簧。第一弹簧和第二弹簧中的至少一个是压阻式的，并且当第...