自动传送片机构制造技术

本实用新型专利技术《自动传送片机构》是关于半导体工艺设备中传送片机构的改进，属于半导体制造工艺设备。它通过传送杆机械手和升降顶片杆与微机相连，能自动直接送片，片子处理加工完成后亦可连续取回。整个传送机构简单、操作方便，无碎片现象。处理加工后的片子均匀一致。本传送片机构适用于半导体制造工艺中需要传送片的等离子刻蚀、反应离子刻蚀、化学气相沉积和磁控溅射等设备。（*该技术在1995年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种半导体工艺设备中包括机械叉、升降顶片杆、片盒、机械传送杆和控温工作平台的传送片机构，其特征在于有一个由传动装置带动的传送杆与机械叉连成一体的可自动直接传送片的传送杆机械手〔２〕和一个其上面有多个由升降顶片杆〔１４〕顶起或降下的载片座〔１５〕的可转光控定位控温工作平台〔１０〕。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：严金龙，汤德余，沈国雄，吴钰铭，蔡根寿，
申请(专利权)人：中国科学院上海冶金研究所，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]